本发明专利技术涉及阀，尤其为真空阀，具体而言，在该阀(1)中封闭机构(3)在其关闭位置中在中间置入有密封件(4)的情况下靠着阀座(6)密封通过开口(2)并且借助于在封闭机构和支撑机构(5)之间的相对运动可被带到关闭位置中，其中支撑机构在封闭机构的关闭位置中支撑在配合支座(7)处并且阀附加地具有至少一个接地元件(8)以用于在封闭机构的关闭位置中使关闭位置电接地，其中接地元件固定在阀的支架构件处并且该支架构件是封闭机构或者支撑机构或者阀座或者配合支座，其中接地元件具有接触元件(9)和与接触元件连接的支承元件(10)并且接触元件和支承元件由互相不同的材料或者材料组合物制成并且接触元件比支承元件更软。
【技术实现步骤摘要】
,尤其为真空的制作方法【专利摘要】本专利技术涉及，尤其为真空，具体而言，在该(1)中封闭机构(3)在其关闭位置中在中间置入有密封件(4)的情况下靠着座(6)密封通过开口(2)并且借助于在封闭机构和支撑机构(5)之间的相对运动可被带到关闭位置中，其中支撑机构在封闭机构的关闭位置中支撑在配合支座(7)处并且附加地具有至少一个接地元件(8)以用于在封闭机构的关闭位置中使关闭位置电接地，其中接地元件固定在的支架构件处并且该支架构件是封闭机构或者支撑机构或者座或者配合支座，其中接地元件具有接触元件(9)和与接触元件连接的支承元件(10)并且接触元件和支承元件由互相不同的材料或者材料组合物制成并且接触元件比支承元件更软。【专利说明】，尤其为真空
本专利技术涉及一种，尤其为真空，带有至少一个通过开口和至少一个封闭机构和至少一个密封件和至少一个支撑机构和至少一个座以及至少一个配合支座(Gegensitz)，其中封闭机构在其关闭位置中在中间置入有密封件的情况下靠着座密封通过开口并且借助于在封闭机构和支撑机构之间的相对运动可被带到关闭位置中，其中在封闭机构的关闭位置中支撑机构支撑在配合支座处并且附加地具有至少一个接地元件以用于使封闭机构在其关闭位置中电接地，其中该接地元件固定在的支架构件处并且该支架构件为封闭机构或者支撑机构或者座或者配合支座。
技术介绍
尤其地在真空技术中已知，在其关闭位置封闭的通过开口的封闭机构在关闭位置中接地，以便在封闭机构上不会导致不期望的电加载以及因此伴随的不希望的后果例如电火花以及诸如此类。这种类型的在文件EP I 739 718 Al中公开。为避免金属与金属连接并且由此金属微粒的进入引起的危险，在该文件中建议由可导电的弹性体制成的接地元件。由此虽然降低不期望发生的微粒进入到处理腔中，该处理腔的通过开口应借助于封闭。但是这种类型的接地如何地持久有效似乎存在问题。
技术实现思路
因此本专利技术的目的是，提供一种以上提及类型的，该以可选的方式实现封闭机构持久起作用的接地。 为此根据本专利技术建议，接地元件具有至少一个接触元件和至少一个与接触元件优选地持续地连接的支承元件并且接触元件和支承元件由互相不同的材料或者材料组合物制成并且接触元件比支承元件更软。 因此本专利技术的基本思想是，至少两部分地构建接地元件，即包括至少一个接触元件和至少一个支承元件，其中这两个元件由不同的材料或材料组合物制成并且硬度不同。通过更软的接触元件可尤其地还进一步降低在真空技术中由于在打开和闭合时的磨损引起的不期望的颗粒形成。更硬的支承元件负责使接地元件持久地可备使用并且其形状可在较长的使用时段内保持在起作用的状态中。就此而言还指出，支承元件不是支架构件的部件而是与接地元件关联的元件，其与接触元件优选地在的整个运行期间持续地且稳定地连接。但是支承元件可在优选的设计方式中利用与接触元件相对的侧边优选地在的整个运行期间持续地且稳定地固定或者至少支撑在支架构件处。接触元件可为接地元件的部件，该部件在封闭机构的关闭位置中以导电的方式贴靠在的配合构件处以用于使封闭机构接地，而该部件在封闭机构的至少一个与关闭位置不同的打开位置中从配合构件上升起。配合构件在此是的与支架构件不同的构件。但是其也可与支架构件一样涉及封闭机构、支撑机构、座或者配合支座。因此在此不同的配对是可行的。例如，配合构件可为座而支架构件可为封闭机构或者反之亦然。其它配对例如为支架构件为支撑机构，而配合构件为配合支座。这种组件以相反的方式也是可行的。与现有技术不同无论如何有利地设置成，在专利技术中接触元件不是直接布置或固定在支架构件上。 封闭机构可在其关闭位置中通过接地元件以导电的方式与的相应的接地的构件连接并且由此自身接地。的相应的接地的构件可为的壳体。座和/或配合支座可为的壳体的一部分。 封闭机构和/或者支撑机构在优选的设计方式中可以板件的形式实施。在优选的设计方式中根据本专利技术的为所谓的转移(Transferventil)，其用作在过程腔中封闭通过开口，在过程腔中高度灵敏的构件如例如电路板(Platinen)和诸如此类在一定的处理环境下并且尤其地在低压或真空下加工。尤其地根据本专利技术的应用在所谓的真空技术中并且因此称作为真空。通常在带有小于或者等于0.0Olmbar (毫巴)或者0.1帕斯卡的压强的运行状态时称之为真空技术。 接地元件在运行期间有利地持续地固定在支架构件处。这意味着，无论封闭机构是处于关闭位置中还是打开位置中，接地元件一直固定在支架构件处。但这不意味着，该接地元件不可松开地固定在支架构件处，例如为了执行维修工作或者更换工作。就此而言优选的设计方式设置为，接地元件的支承元件拧紧或者夹住在支架构件处。有利地，接触元件和支承元件在运行期间同样地独立于封闭机构的位置同样地持续地互相连接。特别地优选的设计方式设置为，接触元件硫化到支承元件上。但是也可设想，接触元件以其它方式例如通过粘合、夹紧、拧紧等固定在支承元件上。 有利地，支承元件具有金属或者由金属制成。在此金属的概念原则上也包括金属合金。对于该使用目的尤其优选的金属是铝或者优质钢(Edelstahl)或者不锈钢。有利地支承元件的抗拉强度处于200和700 N/mm2之间，有利地支承元件的布式硬度处于至少65HB,优选地超出65HB。为确保接地元件的期望的接地效果，支承元件有利地具有小于5 X10_50hm*cm,优选地小于5 xl0_6 Ohm*cm的比欧姆电阻(有时成为欧姆电阻率)。 为了相应地软地构造接触元件，优选的设计方式设置为，该接触元件具有弹性体或者由弹性体制成。为了使接触元件装备成带有相应的良好的导电性以用于期望的接地效果可设置成，接触元件为由至少一个弹性体和至少一个用于提供接触元件的低的比欧姆电阻的附加材料形成的混合物。比欧姆电阻有利地小于100hm*cm,优选地小于50hm*cm。特别优选地，接触元件的比欧姆电阻处于0.002和50hm*cm之间的范围中。优选使用橡胶或者硅酮作为接触元件的弹性体。特别优选的橡胶是氟橡胶(FKM)或者全氟橡胶(FFKM)。附加材料可例如为金属粉末或者含碳的粉末。在此合适的金属是银，铝，镍，镀银的铜等等。有利地该含碳的粉末由碳纳米管或者煤纤维确切说碳纤维制成。为了设计带有合适的软性度的接触元件，接触元件有利地具有从40 Shore A到90 Shore A，特别优选地从70 Shore A到90 Shore A的肖氏硬度。接触元件可作为相对薄的层构造在支承元件上。在这种意义下优选的方案设置成，接触元件至少在主负载方向上具有在0.4_和3_之间的厚度。在此该主负载方向是这样的方向，即在封闭机构压靠在座处时在该方向上最大的力从外部作用到接触元件上。 所有上面提到参数数据涉及标准条件。 在本专利技术的特别优选的设计方式中不仅接地作用而且支撑作用涉及接地元件。就此而言特别优选的方案设置成，支撑机构在封闭机构的关闭位置中借助于接地元件或者多个接地元件支撑在配合支座处。 【专利附图】【附图说明】 根据下面的附图描述来解释本专利技术的优选的设计方式的其它特征和细节。其中: 图1到3显示了的根据本专利技术的第一实施例，其中图1显示了关闭位置，图2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种阀(1)，尤其为真空阀，带有至少一个通过开口(2)和至少一个封闭机构(3)和至少一个密封件(4)和至少一个支撑机构(5)和至少一个阀座(6)以及至少一个配合支座(7)，其中所述封闭机构(3)在其关闭位置中在中间置入有密封件(4)的情况下靠着所述阀座(6)密封所述通过开口(2)并且借助于在封闭机构(3)和支撑机构(5)之间的相对运动可被带入到所述关闭位置中，其中所述支撑机构(5)在所述封闭机构(3)的关闭位置中支撑在所述配合支座(7)处并且所述阀(1)附加地具有至少一个接地元件(8)以用于在所述封闭机构(3)的关闭位置中使所述封闭机构(3)电接地，其中所述接地元件(8)固定在所述阀(1)的支架构件处，并且所述支架构件是所述封闭机构(3)或者所述支撑机构(5)或者所述阀座(6)或者所述配合支座(7)，其特征在于，所述接地元件(8)具有至少一个接触元件(9)和至少一个与所述接触元件(9)优选地持久地连接的支承元件(10)并且所述接触元件(9)和所述支承元件(10)由互相不同的材料或者材料组合物制成并且所述接触元件(9)比所述支承元件(10)更软。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：H伯哈特，O梅尔，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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