处理多晶硅尾气的系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种处理多晶硅尾气的系统，包括：冷凝装置；吸收装置，具有混合气体入口、氯硅烷入口、混合物出口；第一加热装置，具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口；第二加热装置，具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口；解析装置，具有高温氯硅烷出口，高温氯硅烷出口与第二壳程进料口相连；水冷装置；纯化装置，具有尾气入口、第二液态氯硅烷出口和氯化氢出口；换热装置，具有管程物料入口、管程物料出口、壳程物料入口和壳程物料出口，管程物料入口与第一壳程出料口相连，壳程物料入口与氯化氢出口相连；深冷装置，深冷装置分别与管程物料出口和氯硅烷入口相连。

【技术实现步骤摘要】
处理多晶硅尾气的系统
本技术属于多晶硅生产领域，具体而言，本技术涉及一种处理多晶硅尾气的系统。
技术介绍
在改良西门子法生产多晶硅的工艺流程中，还原、热氢化尾气一般采用⑶I干法尾气回收工艺，即由四级冷凝、吸收、解析、吸收、再生和冷冻工序组成。在氯化氢吸收塔中，经过四级冷凝后的尾气(不凝气部分)与_40°C的氯硅烷液体流接触，尾气中绝大部分的氯化氢被吸收，吸收氯化氢的氯硅烷进入氯化氢解析塔，利用精馏原理，对氯化氢进行提纯、分离，-35?_30°C的液态氯化氢由塔顶直接输送至三氯氢硅合成工序，进行回收利用。 然而，现有的处理多晶硅尾气技术中存在能耗较大等问题，使得多晶硅尾气处理成本较高，不适合现如今节能降耗的发展趋势，因此，现有的处理多晶硅技术有待进一步改盡口 ο
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种处理多晶硅尾气的系统，该系统可以起到节能降耗，并显著降低多晶硅生产成本的作用。 在本技术的一个方面，本技术提出了一种处理多晶硅尾气的系统，包括: 冷凝装置，所述冷凝装置具有多晶硅尾气入口、第一液态氯硅烷出口和混合气体出口 ； 吸收装置，所述吸收装置具有混合气体入口、氯硅烷入口、氢气出口和混合物出口，所述混合气体入口与所述混合气体出口相连； 第一加热装置，所述第一加热装置具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口，所述第一物料入口与所述第一液态氯硅烷出口和混合物出口相连； 第二加热装置，所述第二加热装置具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口，所述第二物料入口与所述第一物料出口相连； 解析装置，所述解析装置具有进料口、尾气出口和高温氯硅烷出口，所述进料口与所述第二物料出口相连，所述高温氯硅烷出口与所述第二壳程进料口相连； 水冷装置，所述水冷装置具有水冷物料入口和水冷物料出口，所述水冷物料入口与所述第二壳程出料口相连，所述水冷物料出口与所述第一壳程进料口相连； 纯化装置，所述纯化装置具有尾气入口、第二液态氯硅烷出口和氯化氢出口，所述第二液态氯硅烷出口与所述解析装置相连，所述尾气入口与所述尾气出口相连； 换热装置，所述换热装置具有管程物料入口、管程物料出口、壳程物料入口和壳程物料出口，所述管程物料入口与所述第一壳程出料口相连，所述壳程物料入口与所述氯化氢出口相连；以及 深冷装置，所述深冷装置具有深冷物料入口和深冷物料出口，所述深冷物料入口与所述管程物料出口相连，所述深冷物料出口与所述氯硅烷入口相连。 根据本技术实施例的处理多晶硅尾气的系统通过将过程中产生的热量和冷量循环使用，从而可以达到能量的综合利用和节能降耗的作用。 另外，根据本技术上述实施例的处理多晶硅尾气的系统还可以具有如下附加的技术特征: 在本技术的一些实施例中，所述处理多晶硅尾气的系统进一步包括:三氯氢硅合成装置，所述三氯氢硅合成装置与所述壳程物料出口相连。 在本技术的一些实施例中，所述冷凝装置为四级冷凝器。由此，可以显著提高尾气的冷凝效率。 在本技术的一些实施例中，所述第一加热装置为五级换热器。由此，可以显著提高换热效率。 本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。 【附图说明】 本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中: 图1是根据本技术一个实施例的处理多晶硅尾气的系统结构示意图； 图2是根据本技术又一个实施例的处理多晶硅尾气的系统结构示意图； 图3是利用本技术一个实施例的处理多晶娃尾气的系统实施处理多晶娃尾气的方法流程示意图； 图4是利用本技术又一个实施例的处理多晶硅尾气的系统实施处理多晶硅尾气的方法流程示意图。 【具体实施方式】 下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。 在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。 在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。 在本技术的一个方面，本技术提出了一种处理多晶硅尾气的系统。下面参考图1?2对本技术实施例的处理多晶硅尾气的系统进行详细描述。根据本技术的实施例，该系统包括: 冷凝装置100:根据本技术的实施例，冷凝装置100具有多晶硅尾气入口101、第一液态氯硅烷出口 102和混合气体出口 103，且用于将多晶硅尾气进行冷凝处理，从而可以得到第一液态氯硅烷和含有氯化氢、氢气、氯硅烷的混合气体。根据本技术的实施例，冷凝处理的条件并不受特别限制，根据本技术的具体实施例，冷凝处理可以在-50?-30摄氏度的温度和0.3?0.5MPa的压力条件下进行。专利技术人发现，该条件下进行的冷凝处理可以显著优于其它条件提高尾气的冷凝效率。具体地，冷凝装置可以为四级冷凝器。 吸收装置200:根据本技术的实施例，吸收装置200具有混合气体入口 201、氯硅烷入口 202、氢气出口 203和混合物出口 204，混合气体入口 201与混合气体出口 103相连，且用于将以上所得到的含有氯化氢、氢气、氯硅烷的混合气体与氯硅烷进行吸收处理，从而可以分别得到氢气和含有氯化氢、氯硅烷的混合物。根据本技术的实施例的，吸收处理的条件并不受特别限制，根据本技术的具体实施例，吸收处理可以在-50?-35摄氏度的温度和1.1?1.3MPa压力条件下进行。专利技术人发现，该条件下进行的吸收处理可以显著优于其它条件提高吸收处理效率。根据本技术的实施例，进行吸收处理的氯硅烷的温度可以为-50?_30°C，含有氯化氢、氯硅烷的混合物可以为-45?-40摄氏度。该步骤中，具体地，低温的液体氯硅烷通过从吸收塔的顶部进行喷淋，与含有氯化氢、氢气、氯硅烷的混合气体逆向接触，使得混合气体中氯化氢和氯硅烷被低温氯硅烷吸收，从而使得氢气得以从混合气体中分离。 第一加热装置300:根据本技术的实施例，第一加热装置300具有第一物料入口 301、第一物料出口 302、第一壳程进料口 303和第一壳程出料口 304，第一物料入口301与第一液态氯硅烷出口 102和混合物出口 204相连，且用于将得到的第一液态氯硅烷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，包括：冷凝装置，所述冷凝装置具有多晶硅尾气入口、第一液态氯硅烷出口和混合气体出口；吸收装置，所述吸收装置具有混合气体入口、氯硅烷入口、氢气出口和混合物出口，所述混合气体入口与所述混合气体出口相连；第一加热装置，所述第一加热装置具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口，所述第一物料入口与所述第一液态氯硅烷出口和所述混合物出口相连；第二加热装置，所述第二加热装置具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口，所述第二物料入口与所述第一物料出口相连；解析装置，所述解析装置具有进料口、尾气出口和高温氯硅烷出口，所述进料口与所述第二物料出口相连，所述高温氯硅烷出口与所述第二壳程进料口相连；水冷装置，所述水冷装置具有水冷物料入口和水冷物料出口，所述水冷物料入口与所述第二壳程出料口相连，所述水冷物料出口与所述第一壳程进料口相连；纯化装置，所述纯化装置具有尾气入口、第二液态氯硅烷出口和氯化氢出口，所述第二液态氯硅烷出口与所述解析装置相连，所述尾气入口与所述尾气出口相连；换热装置，所述换热装置具有管程物料入口、管程物料出口、壳程物料入口和壳程物料出口，所述管程物料入口与所述第一壳程出料口相连，所述壳程物料入口与所述氯化氢出口相连；以及深冷装置，所述深冷装置具有深冷物料入口和深冷物料出口，所述深冷物料入口与所述管程物料出口相连，所述深冷物料出口与所述氯硅烷入口相连。...

【技术特征摘要】
1.一种处理多晶硅尾气的系统，其特征在于，包括: 冷凝装置，所述冷凝装置具有多晶硅尾气入口、第一液态氯硅烷出口和混合气体出Π ； 吸收装置，所述吸收装置具有混合气体入口、氯硅烷入口、氢气出口和混合物出口，所述混合气体入口与所述混合气体出口相连； 第一加热装置，所述第一加热装置具有第一物料入口、第一物料出口、第一壳程进料口和第一壳程出料口，所述第一物料入口与所述第一液态氯硅烷出口和所述混合物出口相连； 第二加热装置，所述第二加热装置具有第二物料入口、第二物料出口、第二壳程进料口和第二壳程出料口，所述第二物料入口与所述第一物料出口相连； 解析装置，所述解析装置具有进料口、尾气出口和高温氯硅烷出口，所述进料口与所述第二物料出口相连，所述高温氯硅烷出口与所述第二壳程进料口相连； 水冷装置，所述水冷装置具有水冷物料入口和水冷物料出口，所述水冷物料入口与所述第二壳程出料口相连，所述水...

【专利技术属性】
技术研发人员：易忠海，陆大军，罗平，李俊朝，杨斌，黄雷，陆大春，袁川江，张贵春，李文静，
申请(专利权)人：昆明冶研新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53