【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种复合中空纤维膜，其具有有气体透过性能的非多孔质均质层和支撑该均质层的多孔质支撑层，其特征在于，在该复合中空纤维膜中非多孔质均质层是疎水性的，构成多孔质支撑层的聚烯烃类树脂含有亲水性添加剂，由此可提供一种亲水性且水蒸气透过性高、并可解决在多孔质内因凝结水导致的气体透过性能下降的问题的脱气用复合中空纤维膜。【专利说明】复合中空纤维膜及中空纤维膜组件
本专利技术涉及用于对溶解气体进行脱气的聚烯烃类脱气用复合中空纤维膜，其由多孔质构成的外表面具有亲水性，同时具有气体透过性能的非多孔质均质层的耐水性良好。
技术介绍
为了从半导体用硅基板、液晶用玻璃基板、光掩模用石英基板等的电子材料的表面去除微颗粒、有机物、金属等，通过气体溶解装置将特定的气体溶解在超纯水中，并且根据需要添加微量药品来制备的功能性洗涤水正在逐渐代替高浓度药液来使用。作为功能性洗涤水所使用的特定的气体，除了二氧化碳、氢气、氧气、臭氧以外，还有稀有气体等非活性气体等。其中，对使二氧化碳、氢气溶解的方法进行了种种研究。 特别是，为了对被洗涤物表面进行清洗而不使被洗涤物、喷...
【技术保护点】
一种复合中空纤维膜，其具有有气体透过性能的非多孔质均质层和支撑该均质层的多孔质支撑层，其特征在于，非多孔质均质层是疎水性的，构成多孔质支撑层的聚烯烃类树脂中含有亲水性添加剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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