一种IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法技术方案

本发明专利技术涉及一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统，包括曲线绘制系统加载模块、曲线参数配置模块、曲线数据采集模块、曲线显示及操作模块，曲线数据导出模块。本发明专利技术还涉及一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统的设计方法，采用该设计方法，用户可以在不用修改程序代码的情况下，通过修改对IC装备多数据源曲线绘制系统的有效配置既能实现历史曲线绘制功能又能实现实时曲线绘制功能。另外用户可以对曲线参数的采集参数进行配置以实现从不同的数据源采集数据，用户还可以对曲线参数的显示参数进行配置实现不同的绘制效果。本发明专利技术可降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性、可维护性和易操作性。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统，包括曲线绘制系统加载模块、曲线参数配置模块、曲线数据采集模块、曲线显示及操作模块，曲线数据导出模块。本专利技术还涉及一种灵活的IC装备多数据源曲线绘制系统的设计方法，采用该设计方法，用户可以在不用修改程序代码的情况下，通过修改对IC装备多数据源曲线绘制系统的有效配置既能实现历史曲线绘制功能又能实现实时曲线绘制功能。另外用户可以对曲线参数的采集参数进行配置以实现从不同的数据源采集数据，用户还可以对曲线参数的显示参数进行配置实现不同的绘制效果。本专利技术可降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性、可维护性和易操作性。【专利说明】
本专利技术属于1C装备控制
，具体说是一种灵活的1C装备多数据源曲线绘 制系统及其设计方法。
技术介绍
目前国内半导体厂投资已朝向12英寸晶圆发展，其晶圆生产工序日渐复杂，加工 生产过程中产生的数据量也越来越大。如何从大量的数据中获取更多更直观的信息成为1C 软件开发中的一个技术问题。 现有的1C装备控制软件中大多以报表的形式提供给用户，这种数据形式不够直 观而且也无法反应数据的变化趋势。少量的1C装备控制软件提供曲线显示功能，但功能并 不完备，而且灵活性差，很难根据用户的需求进行灵活的配置，往往需要设计人员对程序进 行修改，增加了开发成本，而且根据数据源的不同往往需要重新开发软件，增加了二次开发 的成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种灵活的1C装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法， 通过该设计方法设计的1C装备多数据源曲线绘制系统，可以通过配置数据源属性来实现 多数据源曲线的绘制功能，另外可以对曲线参数信息进行配置，使曲线的显示更为灵活。 本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种1C装备多数据源曲线绘制系 统，包括曲线绘制系统加载模块、曲线参数配置模块、曲线数据采集模块、曲线显示及操作 模块和曲线数据导出模块； 所述曲线绘制系统加载模块，用于在所述曲线绘制系统初始化时，根据用户的定 制加载相应的模块； 所述曲线参数配置模块，用于用户根据1C装备中实际连接设备，配置相应的曲线 参数的采集信息和曲线参数的显示信息，生成曲线参数配置文件，通过对曲线参数配置文 件的修改实现对曲线参数的添加、删除或修改； 所述曲线数据采集模块，提供各个模块间的接口，接收所述曲线参数配置模块的 逻辑命令，根据所述的逻辑命令，实现对与数据采集设备的通信并获取数据采集设备中的 采集参数； 所述曲线显示及操作模块，用于将所述曲线数据采集模块采集到的数据进行编 辑，形成相应的曲线并显示，并提供对曲线进行操作的平台； 所述曲线数据导出模块，用于对曲线参数的数据进行导出。 所述曲线数据导出模块以文本文件或Excell文件的形式对曲线数据进行导出。 一种1C装备多数据源曲线绘制系统的设计方法，包括以下步骤： 系统初始化，根据用户的定制加载系统中相应的模块； 生产曲线参数配置文件，采集曲线参数； 对曲线参数进行编辑并显示。 所述根据用户的定制加载系统中相应的模块，具体为： 为系统中的每个模块均设计一个类型属性，通过配置所述类型属性动态加载相应 模块，完成实时曲线和历史曲线的切换，实现定制功能。 所述生产曲线参数配置文件，采集曲线参数，具体为： 采用线程的方式设计，根据模块类型不同，连接不同的底层服务模块，所述线程提 供各个模块间的接口，根据应用程序的逻辑命令实现对数据采集状态控制，包括数据采集 的开启控制和关闭控制。 所述对曲线参数进行编辑并显示，具体为： 将曲线参数分为组基本信息和曲线参数特定信息，所述组基本信息包括组名、组 显示名、X轴坐标名称、X轴小步长、X轴大步长、X轴显示长度、X轴总容量和刷新时间；所述 曲线参数特定信息包括变量名称、所属模块名称、曲线名称、变量的最小值、变量的最大值、 Y轴小步长、Y轴大步长、标志和曲线颜色； 将同一组曲线设置为相同的组基本信息，每组曲线的曲线参数特定信息不同； 将组基本信息和曲线参数特定信息保存，并供显示时读取。 本专利技术可降低软件的二次开发成本，提高软件的可扩展性、可维护性和易操作性， 具体具有以下优点及有益效果： 1.本专利技术使系统可根据用户需要进行定制。 2.本专利技术提供的数据采集模块的设计方法，可根据曲线类型，动态链接数据源，也 可根据用户需要控制采集模块的启动与停止。 3.本专利技术提供的对曲线参数编辑的方法，曲线参数信息以xml文件的形式进行存 储，用户可通过对曲线参数的编辑对曲线参数信息进行读取和配置。 4.通过本专利技术提供的曲线绘制系统，具有曲线类型的定制功能，曲线参数的配置 功能，数据源的选择功能，这样可以更加灵活的根据用户需求完成曲线的绘制及显示功能。 【专利附图】【附图说明】 图1是多数据源曲线绘制系统的架构图； 图2是1C装备多数据源曲线绘制系统的加载方法示意图； 图3是采集模块的程序流程图； 图4是曲线参数编辑的程序流程图。 【具体实施方式】 下面结合附图及实施例对本专利技术做进一步的详细说明。 为了解决1C装备控制软件中曲线绘制系统功能不完备，灵活性差的问题，本专利技术 提供一种灵活的1C装备多数据源曲线绘制系统的设计方法，通过本方法可以提高软件的 可扩展性、可维护性和易操作性。 下面结合图1-图4对本专利技术作进一步详细说明。 本专利技术设计的1C装备多数据源曲线绘制系统，其架构如图1所示。首先由曲线绘 制系统加载模块进行系统初始化，根据用户的定制加载相应的曲线模块，完成系统的初始 化。接下来曲线参数配置模块负责对曲线参数的采集信息和显示信息进行配置。然后启动 曲线数据采集模块根据曲线参数的采集信息从不同的数据源进行数据采集。曲线显示及操 作模块根据曲线采集模块采集到的数据以及曲线参数的显示信息进行曲线的绘制，以及实 现对曲线的各种操作功能，最后曲线数据导出模块负责把曲线数据导出。 本专利技术的设计方法如下： 首先设计1C装备多数据源曲线绘制系统的加载方法，在晶圆加工过程中会产生 大量的数据，数据的类型又分为实时数据和历史数据两种，对两种类型的曲线的显示方式 及配置方式也不同，系统需要根据曲线的类型动态的加载相应的模块，为此需要把每个程 序模块都设计一个类型属性，通过配置模块的类型属性，系统启动时根据类型属性来动态 加载相应模块，实现定制功能。如图2所示。 接下来是数据采集模块的设计方法，由于晶圆加工过程中会产生大量数据，数据 采集会耗费时间，为了使曲线采集模块不影响曲线显示模块，使曲线显示流畅，曲线采集模 块需要采用线程的方式进行设计，根据模块类型不同，连接底层服务模块也不同。该线程提 供外部接口，接收外部应用程序的逻辑命令，根据所述的逻辑命令，实现对数据采集状态控 制，包括数据采集的开启控制和关闭控制。如图3所示。 如图4所示，曲线参数编辑的设计方法，其曲线参数信息分为组基本信息和曲线 参数特定信息，组基本信息包括组名，组显示名，X轴坐标名称，X轴小步长，X轴大步长，X 轴显示长度，X轴总容量，刷新时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种IC装备多数据源曲线绘制系统，其特征在于，包括曲线绘制系统加载模块、曲线参数配置模块、曲线数据采集模块、曲线显示及操作模块和曲线数据导出模块；所述曲线绘制系统加载模块，用于在所述曲线绘制系统初始化时，根据用户的定制加载相应的模块；所述曲线参数配置模块，用于用户根据IC装备中实际连接设备，配置相应的曲线参数的采集信息和曲线参数的显示信息，生成曲线参数配置文件，通过对曲线参数配置文件的修改实现对曲线参数的添加、删除或修改；所述曲线数据采集模块，提供各个模块间的接口，接收所述曲线参数配置模块的逻辑命令，根据所述的逻辑命令，实现对与数据采集设备的通信并获取数据采集设备中的采集参数；所述曲线显示及操作模块，用于将所述曲线数据采集模块采集到的数据进行编辑，形成相应的曲线并显示，并提供对曲线进行操作的平台；所述曲线数据导出模块，用于对曲线参数的数据进行导出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金妮，徐皑冬，刘明哲，王锴，王晨曦，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21