本发明专利技术提供盖开闭装置。盖开闭装置(1)具有：装置主体(2)，其供具备容器主体(71)、形成相对于容器主体能够开闭的底部的盖部(72)、进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构(74)的荚盒(70)载置；多个移动部(31)，其使与该锁机构卡合的卡合销(35)移动，由此进行用于使该锁机构进行开锁的开锁动作以及用于使该锁机构进行上锁的上锁动作；联动部(32)，其在使该锁机构进行开锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行开锁动作，当使该锁机构进行上锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行上锁动作；一个气缸(33)，其同时驱动移动部以及联动部。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供盖开闭装置。盖开闭装置(1)具有：装置主体(2)，其供具备容器主体(71)、形成相对于容器主体能够开闭的底部的盖部(72)、进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构(74)的荚盒(70)载置；多个移动部(31)，其使与该锁机构卡合的卡合销(35)移动，由此进行用于使该锁机构进行开锁的开锁动作以及用于使该锁机构进行上锁的上锁动作；联动部(32)，其在使该锁机构进行开锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行开锁动作，当使该锁机构进行上锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行上锁动作；一个气缸(33)，其同时驱动移动部以及联动部。【专利说明】 盖开闭装置
本专利技术涉及针对收纳被收纳物的收纳容器进行盖部相对于容器主体的开闭的盖开闭装置。
技术介绍
在半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂的无尘室中，将半导体晶片或者玻璃基板等以收纳于收纳容器的状态进行输送。因此，当在收纳容器与各种装置之间移动放置被收纳物时，需要使用盖开闭装置进行盖部相对于容器主体的开闭。以往，为了迅速且稳定地进行盖部相对于容器主体的开闭，提出有将使收纳容器的内外的压力差平衡的压力平衡机构设置于盖开闭装置等的各种技术(例如，参照专利文献I)。 专利文献1:日本专利第3180600号公报 在上述的半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂中，由于对于各种部件的输送效率的提高要求较为苛刻，因此对于收纳容器与各种装置之间的被收纳物的移动放置而言，提高其效率也极为重要。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能够以可实现低成本化的结构迅速并且稳定地进行盖部相对于容器主体的开闭的盖开闭装置。 本专利技术的盖开闭装置，针对具备收纳被收纳物的容器主体、形成能够相对于容器主体开闭的底部并且供被收纳物载置的盖部、进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构的收纳容器，进行盖部相对于容器主体的开闭，其中，上述盖开闭装置具备:装置主体，该装置主体供收纳容器载置；多个移动部，上述多个移动部具有当收纳容器被载置于装置主体时与锁机构卡合的卡合部，通过使卡合部移动，来进行用于使锁机构进行开锁的开锁动作以及用于使锁机构进行上锁的上锁动作；联动部，该联动部在使锁机构进行开锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行开锁动作，当使锁机构进行上锁的情况下，使多个移动部联动来使多个移动部进行上锁动作；以及致动器，该致动器相对于移动部以及联动部被设置为一个，同时驱动移动部以及联动部。 在该盖开闭装置中，当在收纳容器中使锁机构进行盖部相对于容器主体的开锁的情况下，联动部使多个移动部联动来使多个移动部进行开锁动作。另一方面，当在收纳容器中使锁机构进行盖部相对于容器主体的上锁的情况下，联动部使多个移动部联动来使多个移动部进行上锁动作。这样，基于多个移动部的开锁动作以及上锁动作被同时进行，因此动作上不产生偏差，能够迅速并且确切地进行开锁动作以及上锁动作。并且，由于一个致动器同时驱动移动部以及联动部，因此能够实现低成本化。进而，在进行机构的调整时，由于只要调整致动器与被驱动部分所连接的部位即可，因此从便于维护的观点出发也能够实现低成本化。基于此，根据该盖开闭装置，能够以可实现低成本化的结构迅速并且稳定地进行盖部相对于容器主体的开闭。 也可以构成为，移动部还分别具有第I转动部件，该第I转动部件以能够转动的方式支承于装置主体，并且使卡合部移动，联动部具有第I连结部件，该第I连结部件连结至少一对第I转动部件并使该第I转动部件转动。根据该结构，能够凭借包括第I转动部件以及连结部件的连杆机构之类的简单结构，使得多个移动部分别可靠地动作。 也可以构成为，由第I连结部件连结的一对第I转动部件以当收纳容器被载置于装置主体时相对于盖部分别位于一侧以及另一侧的方式被配置有多对，联动部还具有:一对第2转动部件，上述一对第2转动部件以能够转动的方式支承于装置主体，并与第I连结部件分别连接；第2连结部件，该第2连结部件连结一对第2转动部件并使该第2转动部件转动。根据该结构，即使在以相对于盖部分别位于一侧以及另一侧的方式配置多对移动部的情况下，也能够使多个移动部分别可靠地动作。 也可以构成为，装置主体具有:凹部，移动部、联动部以及致动器的凹部配置于该凹部；顶板部，该顶板部覆盖凹部并形成供收纳容器载置的载置面，卡合部为立起设置于第I转动部件的卡合销，在顶板部设置有长孔状的开口，借助该长孔状的开口使卡合销从载置面突出且使卡合销能够在开锁动作的位置与上锁动作的位置之间移动。在直动式机构(杆等)中，伴随于体积移动而空气被推压，因此所产生的颗粒容易扩散。另一方面，转动式机构通常情况下与直动式机构相比，体积移动少(如果为正圆板则理论上为零)，另外由于容易确定滑动的部位(例如轴支承部分等)，因此对于所产生的颗粒的扩散抑制效果高。在上述结构中，作为转动式机构的第I转动部件在装置主体的凹部中位于面向顶板部的开口的位置，直动式机构从该位置分离。因此，能够确切地抑制所产生的颗粒经由开口流出装置主体外，能够防止污染周围的无尘的环境。 也可以构成为，致动器为气缸，该气缸具有:缸体部，该缸体部被安装于装置主体；杆部，该杆部的基端部被插入至缸体部内且前端部安装于第2连结部件，气缸通过气体相对于上述缸体部内的导出或导入来使上述杆部滑动。根据该结构，由于对移动部以及联动部赋予驱动力的致动器为气缸，因此与例如使用齿条齿轮机构的情况相比，能够抑制动作时的灰尘的产生，并且能够实现机构的简化。因此，能够清洁地维持装置内及其附近的气氛，能够使多个移动部分别可靠地动作。 根据本专利技术，能够提供可利用实现低成本化的结构来迅速且稳定地进行盖部相对于容器主体的开闭的盖开闭装置。 【专利附图】【附图说明】 图1为具有本专利技术的一实施方式的盖开闭装置的储料器的主视图。 图2为沿着图1的I1-1I线的储料器的剖视图。 图3为沿着图1的II1-1II线的储料器的剖视图。 图4为本专利技术的一实施方式的盖开闭装置的纵剖视图。 图5为图4的盖开闭装置的俯视图。 图6为其他状态下的图4的盖开闭装置的纵剖视图。 图7为利用图4的盖开闭装置开闭盖部的荚盒的仰视图。 图8为图7的荚盒的锁机构的放大图。 图9为沿着图4的IX-1X线的盖开闭装置的剖视图。 图10为其他状态下的图9的盖开闭装置的剖视图。 【具体实施方式】 以下，参照附图对本专利技术的优选的实施方式进行详细说明。此外，在各图中，对于相同或者相当部分标注相同附图标记，并省略重复的说明。 (储料器的结构) 图1为具有本专利技术的一实施方式的盖开闭装置的储料器的主视图。图2为沿着图1的I1-1I线的储料器的剖视图，图3为沿着图1的II1-1II线的储料器的剖视图。如图1?3所示，储料器50具有掩模(reticule)用旋转架51以及荚盒(pod)用旋转架52。掩模用旋转架51在半导体晶片或者玻璃基板等的表面保管多个在对规定的图案曝光时使用的矩形板状的掩模R。荚盒用旋转架52保管多个用于收纳掩模R并输送的处于空的状态的荚盒70。此外，用于保管掩模R的荚盒70典型具有按照作为半导体等的国际标准的SEMI标准的结构。这样的储料器5本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种盖开闭装置，针对具备收纳被收纳物的容器主体、形成能够相对于所述容器主体开闭的底部并且供所述被收纳物载置的盖部、进行所述盖部相对于所述容器主体的开锁以及上锁的锁机构的收纳容器，进行所述盖部相对于所述容器主体的开闭，所述盖开闭装置的特征在于，所述盖开闭装置具备：装置主体，该装置主体供所述收纳容器载置；多个移动部，所述多个移动部具有当所述收纳容器被载置于所述装置主体时与所述锁机构卡合的卡合部，通过使所述卡合部移动，来进行用于使所述锁机构进行所述开锁的开锁动作以及用于使所述锁机构进行所述上锁的上锁动作；联动部，该联动部在使所述锁机构进行所述开锁的情况下，使多个所述移动部联动来使多个所述移动部进行所述开锁动作，当使所述锁机构进行所述上锁的情况下，使多个所述移动部联动来使多个所述移动部进行所述上锁动作；以及致动器，该致动器相对于所述移动部以及所述联动部被设置为一个，同时驱动所述移动部以及所述联动部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：仓津德幸，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。