钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜、制备方法及其应用技术

一种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为；其中，MeInO3是基质，且x为0.03～0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。该钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的电致发光光谱（EL）中，在530nm波长区有很强的发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明专利技术还提供该钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法及其应用。

【技术实现步骤摘要】
钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜、制备方法及其应用
本专利技术涉及发光材料领域，尤其涉及一种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜、其制备方法、薄膜电致发光器件及其制备方法。
技术介绍
薄膜电致发光显示器(TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，开发多波段发光的材料，是该课题的发展方向。但是，可应用于薄膜电致发光显不器的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，仍未见报道。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜、其制备方法、使用该钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的薄膜电致发光器件及其制备方法。 一种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为 Mei_xln03:xTi4+ ； 其中，Meln03是基质，且 x 为 0.03 ?0.12，Me 为 Y、La、Gd 或 Lu。 在优选的实施例中，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的厚度为60nm?400nm。 —种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，包括以下步骤: 根据Μθι_χ1η03:xTi4+各元素的化学计量比称取Me203、Ιη203和Ti02粉体并混合均匀在900°C?1300°C下烧结制成靶材，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd*Lu ； 将衬底及所述靶材与所述装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并调整所述真空腔体的真空度为1.ο X l(T3Pa?1.0 X l(T5Pa ;及 调整工作气体的流量为lOsccm?30sccm，工作气体的压强为0.2Pa?4.5Pa，所述靶材与所述衬底的间距为50mm?100mm，所述衬底的温度为250°C?750°C，溅射功率为60W?300W，在所述衬底上磁控溅射得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Mei_xln03:xTi4+，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。 在优选的实施例中，还包括步骤:在得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜后，将所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜在0.0OlPa?0.lPa、500°C?800°C下退火1小时?3小时。 在优选的实施例中，磁控溅射的操作中，工作气体的流量为25SCCm，工作气体的压强为2Pa，所述靶材与所述衬底的间距为75mm，所述衬底的温度为600°C，所述溅射功率为150W。 在优选的实施例中，所述衬底为ΙΤ0衬底；所述工作气体为氩气。 在优选的实施例中，磁控溅射的操作中，通过控制磁控溅射的时间为lOmin?40min,得到厚度为60nm?400nm的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜。 一种薄膜电致发光器件，包括依次层叠的基底、阳极层、发光层以及阴极层，所述发光层为钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为 Me1-JnO3:xTi4+ ； 其中，MeInO3是基质，且 X 为 0.03 ?0.12，Me 为 Y、La、Gd 或 Lu。 一种薄膜电致发光器件的制备方法，包括以下步骤: 提供衬底，所述衬底包括层叠的基底和阳极层； 在所述阳极层上形成发光层，所述发光层为钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Mei_xln03:xTi4+，其中，MeInO3是基质，且x为 0.03 ?0.12，Me 为 Y、La、Gd 或 Lu ; 在所述发光层上形成阴极层。 在优选的实施例中，所述发光层的制备包括以下步骤: 根据Μθι_χ1η03:xTi4+各元素的化学计量比称取Me203、In2O3和T12粉体并混合均匀在900°C?1300°C下烧结制成靶材，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu ； 将衬底及所述靶材与所述装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并调整所述真空腔体的真空度为1.0X KT3Pa?1.0X KT5Pa ;及 调整工作气体的流量为1sccm?30sccm，工作气体的压强为0.2Pa?4.5Pa，所述靶材与所述衬底的间距为50mm?100mm，所述衬底的温度为250°C?750°C，溅射功率为60W?300W，在所述衬底上磁控溅射得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Me1-JnO3:xTi4+，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。 上述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜(Mei_xln03:xTi4+)的电致发光光谱(EL)中，在530nm波长区有很强的发光峰，这种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜能够应用于薄膜电致发光器件。 【附图说明】 图1为一实施方式的薄膜电致发光器件的结构示意图； 图2为实施例1得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的EL光谱图； 图3为实施例1得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的XRD图。 【具体实施方式】 为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。 一实施方式的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，该钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Me1-JnO3:xTi4+0 其中，MeInO3是基质，Ti元素是激活元素，且x为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。 掺杂元素Ti是发光体系中的激活元素，在结构组成中进入了 In3+离子的晶格。 优选的，X为0.1。 优选的，钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的厚度为60nm?400nm。 上述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜(Mei_xln03:xTi4+)的电致发光光谱(EL)中，在530nm波长区有很强的发光峰，这种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜能够应用于薄膜电致发光器件。 上述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，包括如下步骤: S11、根据Μθι_χ1η03:xTi4+各元素的化学计量比称取Me203、Ιη203和Ti02粉体并混合均匀在900°C?1300°C下烧结制成靶材。 X 为 0.03 ?0.12，MeSY、La、Gd*Lu。优选的，x 为 0.1。 优选的，将Me203、Ιη203和Ti02粉体混合均匀在1250°C下烧结制成靶材。 优选的，制成的祀材的直径为50mm,厚度为2mm。 S12、将靶材与衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并调整真空腔体的真空度为 1.0 X l(T3Pa ?1.0 X l(T5Pa。 优选的，衬底为氧化铟锡(ΙΤ0)玻璃，玻璃层作为基层，ΙΤ0层作为导电层。 优选的，衬底在使用前先进行预处理，预处理的操作为:用丙酮、无水乙醇和去离子水依次超声清洗衬底，接着对衬底进行氧等离子处理。 优选的，真空腔体的真空度为5.0X 10_4Pa。 S13、调整工作气体的流量为lOsccm?30sccm，工作气体的压强为0.2Pa?4.5Pa，靶材与衬底的间距为50mm?100mm，衬底的温本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，其特征在于，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Me1‑xInO3：xTi4+；其中，MeInO3是基质，且x为0.03～0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。

【技术特征摘要】
1.一种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，其特征在于，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Mei_xln03:xTi4+ ； 其中，Meln03是基质，且x为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。2.如权利要求1所述的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，其特征在于，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的厚度为60nm?400nm。3.—种钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 根据Μθι_χ1η03:xTi4+各元素的化学计量比称取Me203、Ιη203和Ti02粉体并混合均匀在900。。?1300°C下烧结制成靶材，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu ; 将衬底及所述靶材与所述装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并调整所述真空腔体的真空度为 1.0X l(T3Pa ?1.0X l(T5Pa ;及 调整工作气体的流量为lOsccm?30sccm，工作气体的压强为0.2Pa?4.5Pa，所述靶材与所述衬底的间距为50mm?100mm，所述衬底的温度为250°C?750°C，溅射功率为60W?300W，在所述衬底上磁控溅射得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜，所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的材料的化学通式为Mei_xln03:xTi4+，其中，X为0.03?0.12，Me为Y、La、Gd或Lu。4.根据权利要求3所述的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，还包括步骤:在得到钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜后，将所述钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜在0.0OlPa?0.lPa、500°C?800°C下退火1小时?3小时。5.根据权利要求3所述的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，磁控溅射的操作中，工作气体的流量为25sCCm，工作气体的压强为2Pa，所述靶材与所述衬底的间距为75mm，所述衬底的温度为600°C，所述溅射功率为120W。6.根据权利要求3所述的钛掺杂铟酸稀土盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述衬底为IT0衬底；所述工作气体为...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明杰，陈吉星，王平，冯小明，
申请(专利权)人：海洋王照明科技股份有限公司，深圳市海洋王照明技术有限公司，深圳市海洋王照明工程有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44