【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
硅基MEMS阵列式推进器,其特征在于，主要包括分别位于硅片上、下表面的喷嘴阵列部分和电路部分；喷嘴阵列为硅片上表面内凹形成的空腔阵列组成，各喷嘴内填充油燃料；电路部分由硅片下表面溅射的点火电阻2阵列、点火导线3和焊盘4组成，所述点火电阻2通过点火导线3与焊盘4连接；各点火电阻2与各喷嘴1位置相对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谢建兵，申强，屈贝妮，常洪龙，苑伟政，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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