一种ZnO-MgO-TiO2系LTCC材料制造技术

本发明专利技术公开了一种ZnO-MgO-TiO2系LTCC材料及其制备方法,本发明专利技术材料由ZnO-MgO-TiO2系材料及占其重量百分比为0.25％～5％的锌硼硅玻璃组成，ZnO-MgO-TiO2系材料成分为(Zn1-xMgx)TiO3-yTiO2，其中0.05≤x≤0.15，0≤y≤0.3，锌硼硅玻璃成分按摩尔百分比为40％～70％ZnO，25％～45％B2O3，5％～15％SiO2。本发明专利技术制备的LTCC材料在850℃～900℃烧结良好，介电常数εr＝20～27，Q×f＝40000～70000GHz，谐振频率温度系数τf＝-80～+10ppm/℃，可广泛应用于谐振器、滤波器、介质基片、介质天线、介质导波回路等微波器件，尤其适用于器件高频化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ZnO‑MgO‑TiO2系LTCC材料，其特征在于：其原料组成为ZnO‑MgO‑TiO2系材料及占其重量百分比为0.25％～5％的锌硼硅玻璃；所述ZnO‑MgO‑TiO2系材料组成为(Zn1‑xMgx)TiO3‑yTiO2，其中：0.05≤x≤0.15，0≤y≤0.3；所述锌硼硅玻璃组成按摩尔百分比为：40％～70％ZnO，25％～45％B2O3，5％～15％SiO2。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李恩竹，王京，邹蒙莹，段舒心，张树人，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51