本实用新型专利技术提供了一种靶材翻转机，包括：基座、翻转机构，以及夹持组件。翻转机构包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，翻转支架可沿第一轴线翻转；夹持组件通过第二转转轴活动安装在翻转支架上，且可绕第二转轴旋转。夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材后，由翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材绕第一转轴翻转特定角度，离开原先位置；在将夹持组件绕第二转轴旋转，使靶材基材翻转一定角度后，如翻转180°，调整靶材基材绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材涂覆有焊料的表面贴合在背板上，并进行焊接等工艺。靶材翻转机可提高靶材基材翻转效率，以及靶材基材翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的靶材焊接的质量。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种靶材翻转机，包括：基座、翻转机构，以及夹持组件。翻转机构包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，翻转支架可沿第一轴线翻转；夹持组件通过第二转转轴活动安装在翻转支架上，且可绕第二转轴旋转。夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材后，由翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材绕第一转轴翻转特定角度，离开原先位置；在将夹持组件绕第二转轴旋转，使靶材基材翻转一定角度后，如翻转180°，调整靶材基材绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材涂覆有焊料的表面贴合在背板上，并进行焊接等工艺。靶材翻转机可提高靶材基材翻转效率，以及靶材基材翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的靶材焊接的质量。【专利说明】靶材翻转机
本技术涉及溅射靶材制造领域，尤其是涉及一种靶材翻转机。
技术介绍
液晶显示器(IXD)以其无辐射、省电、所占空间小等优点逐渐取代传统CRT显示器，其已经广泛应用到生产、生活的各个领域，比如电脑显示器、笔记本电脑、平板电脑、手机、电视、监控设备、工业控制仪表等。而且据统计显示，液晶显示器仍以每年10%以上增长以顺应市场需求。 为了满足发展的需要，LCD的生产技术也进行着日新月异的更新，在短短的数年时间内，IXD已经历了数代发展。而每一世代IXD的更替，都代表在用于制备IXD的玻璃基板面积的又一次跃进。而基于LCD的玻璃基板面积越来越大，为得到良好的镀膜品质，对于LCD制备起重要作用的靶材面积也随之增大。 靶材通常由符合溅射性能的靶材基材和与所述靶材基材结合、具有一定强度的背板构成。在制造过程中，液晶显示器用靶材基材在焊接、喷砂、包装过程中需要反复翻转作业。 参考图1所示，如在焊接过程中，需要先在靶材基材13和背板10放置在加热平台上，并在靶材基材13的待焊接面14，以及背板10的待焊接面上分别涂覆焊料12和15 ;在待焊料12和15熔化后，翻转靶材基材13，结合参考图2所示，使所述靶材基材13的待焊接面14和背板10的待焊接面11相对，将靶材基材13覆盖在所述背板10上，实现靶材基材13和背板10焊接，以形成靶材。 然而，随着靶材基材13面积、重量增加，靶材基材13加热后的翻转难度随之增加。现有的通过人工翻转的方式，极易导致靶材基材变形、划伤，以及靶材基材和背板对准度差等缺陷，靶材基材的翻转作业安全性和稳定性差；此外，人工翻转方式所需时间较长，在加热后的靶材基材的翻转过程中，极易出现焊料氧化等缺陷，从而造成靶材焊接强度弱，结合率差等质量问题。 因而如何在提高靶材基材翻转效率、以及翻转作业的安全性和稳定性，以提高焊接后的靶材质量是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种靶材翻转机，以提高靶材制造过程中，靶材翻转的安全性和稳定性，以及靶材的翻转效率，进而提高后续焊接后的靶材质量。 为解决上述问题，本技术提供的靶材翻转机包括: 基座； 翻转机构，包括翻转支架，所述翻转支架通过第一转轴活动连接在所述基座上，所述翻转支架能够绕所述第一转轴翻转； 夹持组件，用于夹持靶材基材或背板，所述夹持组件通过第二转轴安装在所述翻转支架上，且所述夹持组件能够绕所述第二转轴在所述翻转支架上旋转。 可选地，所述夹持组件包括两组夹板，所两组夹板能够沿第一方向相向或相背移动。 可选地，所述夹持组件还包括沿第一方向延伸的轨道，所述两组夹板安装所述轨道上。 可选地，一组所述夹板包括至少两条夹持臂。 可选地，所述夹持组件和翻转支架之间还设有旋转角度调节装置，用于调节所述夹持组件绕所述第二转轴轴向的旋转角度。 可选地，所述旋转角度调节装置包括: 固定在所述翻转支架上的限位盘，所述第二转轴一端安装在所述限位盘上； 固定在所述夹持组件上的转盘，所述转盘贴合在所述限位盘表面，所述第二转轴另一端安装在所述转盘上，且所述转盘能够绕所述第二转轴的轴向旋转； 在所述转盘和所述限位盘的贴合面上设有多个绕所述第二转轴轴向设置的定位点。 可选地，在所述转盘和所述限位盘的贴合面上至少包括两个以第二转轴为中心呈中心对称的定位点。 可选地，所述翻转机构还包括翻转角度调节装置，用于控制所述翻转支架绕所述第一转轴翻转的角度。 可选地，所述翻转角度调节装置包括伸缩气杆，所述伸缩气杆的一端安装在所述基座，另一端安装在所述翻转支架。 可选地，所述第一转轴和第二转轴垂直。 可选地，所述第一方向垂直于所述第二转轴。 可选地，所述第一转轴水平向设置。 可选地，在所述基座底部设有滚轮。 与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点: 靶材翻转机包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，所述翻转支架可绕第一轴线翻转；以及通过第二转转轴活动安装在所述翻转支架上的夹持组件，所述夹持组件可绕第二转轴旋转。使用过程中，所述夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)后，由所述翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材(或背板)绕第一转轴翻转特定角度，远离原先位置，在将所述夹持组件绕第二转轴旋转，使所述靶材基材(或背板)翻转一定角度后，如翻转180°，再通过调整所述靶材基材(或背板)绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材(或背板)的涂覆有焊料的表面贴合在所述背板(或靶材基材)上，并进行焊接等工艺。通过上述技术方案在提高所述靶材基材(或背板)翻转效率的同时，还可有效提高所述靶材基材(或背板)翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的靶材焊接的质量。 进一步地，所述第一转轴水平向设置，在使用过程中，翻转机的夹持组件夹住表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)后，所述翻转支架可绕所述水平方向旋转，从而将靶材基材(或背板)抬起；并在通过第二转轴将所述靶材基材(或背板)翻转一定角度后，如翻转180°，再通过调整所述靶材基材(或背板)绕水平向旋转，将翻转后的靶材基材(或背板)的涂覆有焊料的表面贴合在所述背板(或靶材基材)上，通过上述技术方案从而进一步提高靶材基材(或背板)翻转的稳定性。 进一步地，所述夹持组件包括两组夹板，通过所述两组夹板用于夹持表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)；而且所述两组夹板能够沿第一方向相向或相背移动，从而可调整夹持组件所固定的靶材基材(或背板)沿第一方向移动，以调整靶材基材(或背板)沿第一方向的位置，从而提高靶材基材(或背板)移动灵活性，进而提高靶材基材(或背板)移动安全性和稳定性。 【专利附图】【附图说明】 图1和图2为现有的靶材制造过程中，靶材基材和背板的焊接工艺示意图； 图3为本技术靶材翻转机一实施例的立体结构示意图； 图4为图3中靶材翻转机一侧面的结构示意图； 图5为图3中靶材翻转机的翻转支架的结构示意图； 图6为图3中靶材翻转机的夹持组件的结构示意图。 【具体实施方式】 如
技术介绍
所述，诸如LCD液晶制备领域等大面积镀膜工艺需要，靶材的尺寸不断增大，而基于靶材尺寸增加后，靶材体积、重量的增加使得制备的焊接工艺中，靶材基材(或背板)的翻转难度随之增加，现有的靶材基材(或背板)的翻转工艺容易出现靶材基材变形、划伤，靶材基材和背板对准度差等缺陷，而且靶材基材翻转效率低下，致使靶材基材和背板上的焊本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种靶材翻转机，其特征在于，包括：基座；翻转机构，包括翻转支架，所述翻转支架通过第一转轴活动连接在所述基座上，所述翻转支架能够绕所述第一转轴翻转；夹持组件，用于夹持靶材基材或背板，所述夹持组件通过第二转轴安装在所述翻转支架上，且所述夹持组件能够绕所述第二转轴在所述翻转支架上旋转。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，相原俊夫，大岩一彦，潘杰，王学泽，李健成，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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