靶材放置货架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材放置货架。所述靶材放置货架包括至少一层靶材搁置层，一层靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂，以用于放置靶材；所述至少三根悬臂的设置使得一块靶材的下方，至少形成三个支撑点，以提高靶材的支撑力度，以及受力均匀度，以降低靶材出现形变概率；而且在一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少包括两个同一朝向的开口的间隙，以便于铲车的铲齿进入所述靶材的下方，从而提高靶材存放的便捷度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种靶材放置货架。所述靶材放置货架包括至少一层靶材搁置层，一层靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂，以用于放置靶材；所述至少三根悬臂的设置使得一块靶材的下方，至少形成三个支撑点，以提高靶材的支撑力度，以及受力均匀度，以降低靶材出现形变概率；而且在一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少包括两个同一朝向的开口的间隙，以便于铲车的铲齿进入所述靶材的下方，从而提高靶材存放的便捷度。【专利说明】靶材放置货架
本技术涉及溅射靶材制造领域，尤其是涉及一种靶材放置货架。
技术介绍
液晶显示器(IXD)以其无辐射、省电、所占空间小等优点逐渐取代传统CRT显示器，其已经广泛应用到生产、生活的各个领域，比如电脑显示器、笔记本电脑、平板电脑、手机、电视、监控设备、工业控制仪表等。而且据统计显示，液晶显示器仍以每年10%以上增长以顺应市场需求。 为了满足发展的需要，LCD的生产技术也进行着日新月异的更新，在短短的数年时间内，IXD已经历了数代发展。而每一世代IXD的更替，都代表在用于制备IXD的玻璃基板面积的又一次跃进。而基于LCD的玻璃基板面积越来越大，为得到良好的镀膜品质，对于LCD制备起重要作用的靶材尺寸也随之增大。 随着靶材尺寸增大，靶材体积、重量随之增加，现有靶材的存放往往需要通过铲车工作完成。然而在靶材存放的实际操作过程中，当将靶材放入货架，或是由货架上取出时，靶材极易出现磕碰情况而造成损伤；此外，在靶材存放过程中，基于靶材自身重量增加，靶材会出现形变等缺陷，从而造成靶材变形，进而在使用过程中造成靶材的安装稳定性差，并且在靶材溅射过程中，形变后的靶材会影响镀膜的均匀性。 为此，如何提高靶材放置的稳定性，减小靶材形变，以及提高靶材存放的便捷度，以降低靶材在存放过程中出现损伤等缺陷是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种靶材放置货架，以提高靶材放置的稳定性，减小靶材形变，并且可提高靶材存放的便捷度，以降低靶材存放过程中出现损伤。 为解决上述问题，本技术提供的靶材放置货架包括: 至少一层靶材搁置层； 所述靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂； 同一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少两个间隙具有朝向相同的开口。 可选地，同一靶材搁置层的各悬臂为梳齿状结构排列。 可选地，同一靶材搁置层悬臂间的间隙宽度相同。 可选地，位于同一靶材搁置层上相邻两根悬臂之间的间隙宽度为20?100cm。 可选地，靶材放置货架包括多层所述靶材搁置层，且在各靶材搁置层下方均形成有空置区域。 可选地，在各搁置层上设有靶材限位组件。 可选地，在所述悬臂的上表面设有耐高温保护层。 可选地，所述耐高温保护层为硅胶层。 可选地，同一靶材搁置层上，相距最远的两根悬臂之间的距离大于或等于200cm。 可选地，具有朝向相同的开口两个间隙之间的距离为50?70cm。 与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点: 一层靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂，以用于放置靶材；所述至少三根悬臂设置使得一块靶材的下方，至少形成三个支撑点，以提高靶材的支撑力度，以及受力均匀度，以降低靶材出现形变概率；而且在一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少包括两个同一朝向的开口的间隙，以便于铲车的铲齿进入所述靶材的下方，从而提高靶材存放的便捷度。 进一步地，在悬臂的表面形成耐高温保护层，从而避免靶材放置在悬臂上，以及在存放过程中，靶材磕碰后出现损伤。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术靶材放置货架一实施例的结构示意图； 图2为图1中靶材放置货架放置靶材后的结构示意图； 图3为本技术靶材放置货架另一实施例的结构示意图； 图4为本技术靶材放置货架又一实施例的结构示意图。 【具体实施方式】 如
技术介绍
所述，诸如LCD液晶制备领域等大面积镀膜工艺需要，靶材的尺寸不断增大，而基于靶材尺寸增加后，靶材体积、重量的增加使得靶材在存放时容易出现形变，此外，大尺寸靶材在存放、取出过程中容易出现磕碰等情况而造成靶材损伤。 为此，本技术提供了一种靶材放置货架，包括至少一层靶材搁置层。所述靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂，所述悬臂的延伸方向与各悬臂的排列方向交叉设置，以用于放置靶材。所述至少三根悬臂设置使得一块靶材的下方，至少形成三个支撑点，以提高靶材的支撑力度，以及受力均匀度，以降低靶材出现形变的概率；而且在一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少包括两个同一朝向的开口的间隙，以便于铲车的铲齿进入所述靶材的下方，便于靶材存放，降低靶材出现损伤概率。 为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的【具体实施方式】做详细的说明。 图1?图2是本技术互连结构的形成方法一实施例的结构示意图，其中，图2是图1中承载靶材后的结构示意图。 先参考图1所示，本实施例靶材放置货架包括支撑架和固定在所述支撑架上的靶材搁置层20，所述靶材搁置层20用于放置承载靶材。 本实施例中，所述靶材搁置层20平行于水平面，从而提高放置的靶材的稳定性。 本实施例中，所述靶材搁置层20包括三根悬臂21、22和23。所述三根悬臂21、22和23位于同一平面上，且所述三根悬臂21、22和23延伸方向与三根悬臂21、22和23的排列方向呈交叉设置，从而形成用于承载靶材的放置平面。 本实施例中，所述三根悬臂21、22和23呈梳齿状排列。具体结构包括:所述三根悬臂21、22和23平行放置，相邻两根悬臂之间形成空隙；而且，所述三根悬臂21、22和23的同一端固定在所述支撑架上，而另一端悬空设置，使得在所述三根悬臂21、22和23间形成的两个空隙朝向相同的开口。 本实施例中，相距最远的两根悬臂，即悬臂21和23之间的距离大于或等于200cm，从而适用于放置大尺寸的靶材。 结合参考图2所示，在使用过程中，靶材平置在所述三根悬臂21、22和23形成的靶材搁置层20上。本实施例中，所述靶材为长条形结构，所述悬臂21和23分别位于长条形靶材沿长度方向的两端，另一根悬臂22位于所述靶材的中间区域，上述结构在沿长条形靶材的长度方向，位于靶材的下方形成三个支点，从而提高靶材放置稳定性同时，提高靶材放置时的受力度均匀性，有效缓解基于靶材自身重量而出现弯曲等缺陷。 本实施中，所述三根悬臂21、22和23均匀排列，即所述三根悬臂21、22和23两两之间的距离相同，以提高靶材支撑力度，和靶材放置时的受力度均匀性，以及靶材放置的稳定性。 此外，如
技术介绍
所述，现有靶材的存放往往需要通过铲车工作完成，本实施例中，铲车的铲齿可由三根悬臂21、22和23间形成的两个空隙的开口进入所述靶材放置货架，完成靶材的存放，从而提高靶材放置、取出的便捷性。 在本实施例中，若相邻的悬臂之间距离(即相邻的悬臂之间的间隙宽度)过大，使得沿靶材的长度方向的支撑点距离过大，基于靶材自身重力影响，可能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材放置货架，其特征在于，包括：至少一层靶材搁置层；所述靶材搁置层包括至少三根位于同一平面的悬臂；同一靶材搁置层上的各悬臂之间形成间隙，且各相邻悬臂之间所形成的间隙中，至少两个间隙具有朝向相同的开口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，相原俊夫，大岩一彦，潘杰，王学泽，李健成，周伟君，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33