氟化钙的制造方法和氟化钙的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。【专利说明】氟化钙的制造方法和氟化钙的制造装置
本专利技术涉及例如将过氟化物作为原料来生成氟化钙的氟化钙的制造方法等。
技术介绍
例如，在半导体器件、液晶器件的制造工艺中，为了形成微细图案，有时进行蚀刻、 清洗（cleaning)。此时，使用过氟化物的情况较多。另外，过氟化物一般较稳定，大多对人 体无害，所以除此之外还被用于例如空调的制冷剂等。 但是，在这些过氟化物中，当被释放到大气中时，对地球环境造成较大影响的过氟 化物较多。即，由于在大气中长期间稳定地存在，具有地球温室化系数大的性质，因此会成 为地球温室化的一个因素。并且，如上述那样，过氟化物一般较稳定，其影响长期间持续的 情况较多。 因而，为了不对地球环境造成影响，需要分解所使用过的过氟化物，使其成为对地 球环境无害的状态而向大气中释放。 在专利文献1中公开了一种含氟化合物的分解处理方法，S卩：在水蒸气的存在下 使包含作为卤素仅含有氟的氟化合物的气流与如由A1和Ni、Al和Ζη、Α1和Ti形成的催化 剂那样含有A1的催化剂在约200?800°C接触，将气流中的氟转化为氟化氢。 另外，在专利文献2中公开了一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：过氟化 物分解装置，其设置有催化剂层，被供给含有过氟化物的排气(废气)，分解过氟化物；和酸 性物除去装置，其除去在从过氟化物分解装置排出的排气中所含有的酸性物质与Ca盐反 应生成的第1反应生成物。 在先技术文献 专利文献1 :日本特开2001-224926号公报 专利文献2 :日本特开2008-246485号公报
技术实现思路
在此，有时在通过水解过氟化物而生成的分解气体中包含HF等的酸成分。而且， 希望不废弃酸成分而有效地利用。 本专利技术是鉴于现有技术具有的上述问题而完成的，其目的在于提供一种不废弃而 有效地利用分解气体中所包含的酸成分，由该酸成分制造氟化钙的方法。 这样，根据本专利技术，提供一种氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序，其 对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气 体的分解气体；热交换工序，其在流入加热工序之前的含有过氟化物的气体以及水与从加 热工序流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序，其使从热交换工序流出 后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。 在此，优选的是，在氟化钙生成工序中，从上方供给钙盐，并且从下方排出生成后 的氟化钙，分解气体从下方导入，并且从上方排出。 另外，优选：还具备预处理工序，其在加热工序之前对含有过氟化物的气体进行预 处理，在预处理工序中具备：预热工序，其对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过氟化 物的气体中所含的液体的水蒸发；和固体成分除去工序，其从利用预热工序使液体的水蒸 发了的含有过氟化物的气体中除去固体成分。 进而，优选：还具备空气导入工序，其在预热工序与固体成分除去工序之间导入空 气。 另外，根据本专利技术，提供一种氟化钙的制造装置，其特征在于，具备：加热单元，其 对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气 体的分解气体；热交换单元，其在流入加热单元之前的含有过氟化物的气体以及水与从加 热单元流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成单元，其使从热交换单元流出 后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。 在此，优选：还具备：药剂供给单元，其从氟化钙生成单元的上方供给用于与酸成 分反应的钙盐；和药剂排出单元，其从该氟化钙生成单元的下方排出已生成的氟化钙，向氟 化钙生成单元导入的分解气体从氟化钙生成单元的下方导入，并且从氟化钙生成单元的上 方排出。 通过具备本专利技术的加热工序、热交换工序、和氟化钙生成工序，能提供一种难以产 生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。 在氟化钙生成工序中，从上方供给钙盐，并且从下方排出生成后的氟化钙，分解气 体通过从下方导入并且从上方排出，由此能够容易地进行钙盐的更换，并且能够生成纯度 更高的氟化钙。 通过具备本专利技术的预处理工序，即使在含有过氟化物的气体中除了过氟化物之外 还含有水分，也变得在固体成分除去工序中很难发生堵塞。 通过进一步具备在预热工序与固体成分除去工序之间导入空气的空气导入工序， 能够抑制在加热工序中的一氧化碳的生成。 通过具备本专利技术的加热单元、热交换单元、和氟化钙生成单元，能提供一种很难产 生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造装置。 通过具备从氟化钙生成单元的上方供给钙盐的药剂供给单元、和从氟化钙生成单 元的下方排出已生成的氟化钙的药剂排出单元，且分解气体从氟化钙生成单元的下方导入 并且从氟化钙生成单元的上方排出，采用利用重力而落入这样的简便的系统，能够进行钙 盐的更换，并且能够生成纯度更高的氟化钙。 【专利附图】【附图说明】 图1是对本实施方式的氟化钙的制造方法的总体流程进行说明的图。 图2是说明反应温度与过氟化物的分解率的关系的图。 图3是对本实施方式的氟化钙的制造装置的概略构成进行说明的图。 图4是示出了构成本实施方式的氟化钙的制造装置的各设备的图。 图5是对氟化钙的制造装置的动作进行说明的流程图。 附图标记说明 1…氟化钙的制造装置、21···预处理装置、22…过氟化物分解装置、23…氟化钙生 成装置、24···控制装置、211…入口加热器、212…过滤器、221…第1加热器、222…第2加热 器、231…热交换器、232…氟化钙生成装置、233…排出器、234…药剂供给装置、235…药剂 排出装置、236…HF浓度传感器、K1…预处理工序、K2…加热工序、K3...热交换工序、K4".氟 化钙生成工序、K5···后处理工序。 【具体实施方式】 以下，对实施本专利技术的方式详细地说明。再者，本专利技术并不限于以下的实施方式， 能够在其主旨的范围内进行各种变形来实施。另外，使用的附图是用于说明本实施方式的 图，并不表示实际的大小。 <氟化钙的制造方法的总体说明> 图1是对本实施方式的氟化钙的制造方法的总体流程进行说明的图。 如图所示，本实施方式的氟化钙的制造方法具备预处理工序K1、加热工序K2、热 交换工序K3、氟化钙生成工序K4、和后处理工序K5。 在本实施方式的氟化钙的制造方法中，作为原料使用过氟化物。该过氟化物包含 在例如从进行半导体的制造的半导体制造设备排出的蚀刻排气(蚀刻废气）中。 在半导体制造设备中具备：蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序，该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序，该工序在流入所述加热工序之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热工序流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序，该工序使从所述热交换工序流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：鸟巢纯一，早坂裕二，加藤健一，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP