红外线截止滤波器和摄像装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种入射角依赖性小的、具有良好红外线截止特性，而且具有高耐擦伤性和耐环境性的红外线截止滤波器。红外线截止滤波器（10）具备透明电介质基板（12）、在透明电介质基板（12）的一个面上形成的反射红外线的红外线反射层（14）、在透明电介质基板（12）的另一个面上形成的吸收红外线的红外线吸收层（16）。红外线吸收层（16）通过使红外线吸收色素内包于通过溶胶凝胶法形成的以二氧化硅为主要成分的基质中而制成。

【技术实现步骤摘要】
红外线截止滤波器和摄像装置
本专利技术涉及红外线截止滤波器和使用了该红外线截止滤波器的摄像装置。
技术介绍
数码相机等摄像装置搭载了CCD（电荷耦合元件）、CMOS（互补性氧化金属半导体）等半导体固态摄像元件。这些固态摄像元件的灵敏度跨及可见光区域到红外线区域。因此，在摄像装置中，在摄像镜头和固态摄像元件之间设置了用于阻断红外线的红外线截止滤波器。利用该红外线截止滤波器，可以将固态摄像元件的灵敏度修正为接近人的视觉灵敏度。以往，作为这种红外线截止滤波器，已知有在树脂制基板上形成由电介质多层膜构成的红外线反射层的滤波器（例如参照专利文献1）。〔现有技术文献〕〔专利文献〕专利文献1:日本特开2005-338395号公报
技术实现思路
然而，由电介质多层膜构成的红外线反射层具有红外线截止特性因入射角而发生变化这样的入射角依赖性，因此在拍摄透射过该红外线反射层的光时，可能在图像的中央部和周边部产生色调的差异。另外，红外线截止滤波器设置在固态摄像元件前面，因此要求高度的耐擦伤性、耐环境性。本专利技术鉴于这种情况而完成，其目的在于，提供不仅具有入射角依赖性小的良好红外线截止特性、同时具有较高的耐擦伤性和耐环境性的红外线截止滤波器，以及使用了该红外线截止滤波器的摄像装置。为了解决上述问题，本专利技术一种方式的红外线截止滤波器具备透明电介质基板、在透明电介质基板的一个面上形成的反射红外线的红外线反射层、以及在透明电介质基板的另一个面上形成吸收红外线的红外线吸收层，所述红外线吸收层通过使红外线吸收色素内包于经溶胶凝胶法形成的以二氧化硅为主要成分的基质中而形成。红外线反射层可以由电介质多层膜形成。当将红外线反射层的透射率达到50%的波长记作λRT50%nm，将红外线吸收层的透射率达到50%的波长记作λAT50%nm时，可以以满足λAT50%<λRT50%的方式形成红外线反射层和红外线吸收层。进而，可以以满足λAT50%-λRT50%≤-10nm的方式形成红外线反射层和红外线吸收层。进而，可以以满足λAT50%-λRT50%≤-20nm的方式形成所述红外线反射层和所述红外线吸收层。进而，可以以满足λAT50%-λRT50%≤-30nm的方式形成所述红外线反射层和所述红外线吸收层。此外，可以以满足-50nm≤λAT50%-λRT50%的方式形成红外线反射层和红外线吸收层。红外线吸收层，可以含有配比为50:50～80:20的苯基三乙氧基硅烷和四乙氧基硅烷的混合物作为原料。透明电介质基板可以由玻璃形成。红外线反射层可以以反射紫外线的方式形成。本红外线截止滤波器可以进一步在红外线吸收层上具备防止可见光线反射的防反射层。该防反射层可以具有防止紫外线透射的功能。红外线反射层可以以与透明电介质基板侧的面对置的面成为凸面的方式翘曲。本专利技术的其他方式是摄像装置。该装置具备上述红外线截止滤波器、被入射透射过红外线截止滤波器后的光的摄像元件。需要说明的是，将以上构成要素的任意组合、本专利技术的表达在方法、装置、系统等之间变换后的实施方式，作为本专利技术的方案也是有效的。〔专利技术效果〕根据本专利技术，可以提供入射角依赖性小且具有良好的红外线截止特性、同时具有高的耐擦伤性和耐环境性的红外线截止滤波器，以及使用了该红外线截止滤波器的摄像装置。附图说明图1是用于说明本专利技术实施方式的红外线截止滤波器的构成的剖面图。图2是示出溶胶凝胶原料和色素的溶解性的图。图3示出第1比较例的由电介质多层膜构成的红外线反射层的光谱透射率曲线的一例。图4示出第2比较例的红外线吸收层的光谱透射率曲线的一例。图5是示出本实施方式的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的一例的图。图6是示出苯基三乙氧基硅烷和四乙氧基硅烷的配比、以及水解所必需的水的添加量的研究结果的图。图7是示出第1～第3实施例中使用的红外线吸收层的组成的图。图8是示出第1～第3实施例的仅形成红外线吸收层的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（a）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=60nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率的图。图9（b）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=50nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率的图。图9（c）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=40nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（d）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=30nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（e）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=20nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（f）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=10nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（g）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=0nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（h）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-10nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（i）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-20nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（j）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-30nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（k）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-40nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（l）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-50nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图9（m）是示出第1实施例的λAT50%-λRT50%=-60nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（a）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=60nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率的图。图10（b）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=50nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率的图。图10（c）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=40nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（d）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=30nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（e）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=20nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（f）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=10nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（g）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=0nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（h）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=-10nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（i）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=-20nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（j）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=-30nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（k）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=-40nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（l）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50%=-50nm时的红外线截止滤波器的光谱透射率曲线的图。图10（m）是示出第2实施例的λAT50%-λRT50本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外线截止滤波器，其特征在于，具备：透明电介质基板、在所述透明电介质基板的一个面上形成的反射红外线的红外线反射层、以及在所述透明电介质基板的另一个面上形成的吸收红外线的红外线吸收层，该红外线吸收层是使红外线吸收色素内包于利用溶胶凝胶法形成的以二氧化硅作为主成分的基质中而制成的。

【技术特征摘要】
2013.04.09 JP 2013-0815451.一种红外线截止滤波器，其特征在于，具备：透明电介质基板、在所述透明电介质基板的一个面上形成的反射红外线的红外线反射层、以及在所述透明电介质基板的另一个面上形成的吸收红外线的红外线吸收层，该红外线吸收层是使红外线吸收色素内包于利用溶胶凝胶法形成的以二氧化硅作为主成分的基质中而制成的，所述红外线反射层由电介质多层膜形成，将所述红外线截止滤波器的透射率达到50％的截止波长λT50％nm与所述红外线截止滤波器的透射率达到2％的波长λT2％nm之间的差的绝对值记作λSLOPE时，λSLOPE<70nm，将入射角从0°变化到35°时的截止波长λT50％的偏移量记作ΔλT50％时，ΔλT50％<25nm。2.根据权利要求1所述的红外线截止滤波器，其特征在于，当将所述红外线反射层的透射率达到50％的波长记作λRT50％nm、将所述红外线吸收层的透射率达到50％的波长记作λAT50％nm时，以满足λAT50％<λRT50％的方式形成所述红外线反射层和所述红外线吸收层。3.根据权利要求2所述的红外线截止滤波器，其特征在于，进一步地以满足λAT50％-λRT50％≤-10nm的方式形成所述红外线反射层和所述红外线吸收层。4.根据权利要求2所述的红外线截止滤波器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保雄一郎，河津光宏，新毛胜秀，
申请(专利权)人：日本板硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP