【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种架台,具备使射束轨道偏向的偏向电磁铁、使射束轨道在第一方向上扫描的第一扫描电磁铁、使射束轨道在第二方向上扫描的第二扫描电磁铁,该架台特征在于,具备多个上述第一扫描电磁铁,多个上述第一扫描电磁铁在设相位差为180n度±θ时,被配置在θ为90度以下的位置,上述偏向电磁铁被配置在多个上述第一扫描电磁铁之间,其中,n为自然数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:野田文章,山田贵启,
申请(专利权)人:株式会社日立制作所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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