紫外线灯制造技术

本发明专利技术提供一种紫外线灯，其能够将期望的波长的紫外线从放电容器内向外部射出，并且能够在放电容器中的与光射出部对应的整个区域内防止由短波长的紫外线引起的玻璃的劣化。该紫外线灯具备：放电容器(1)；一对电极(2)，其在所述放电容器(1)的外表面处以夹着密封空间(13)的方式对置形成；光射出部(3)，其使在所述密封空间(13)内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜(5)，其供波长λ以上的紫外线透过，并且发射或吸收不足波长λ的紫外线，至少形成在所述放电容器(1)的内表面中的与所述光射出部(3)对应的区域内。

【技术实现步骤摘要】
紫外线灯
本专利技术涉及一种紫外线灯，其构成为将在玻璃制的放电容器内产生的紫外线从光射出部向外部射出。
技术介绍
例如，为了基板的清洗、墨的固化等这样的用途而使用有用于照射紫外线的紫外线灯。作为这样的紫外线灯100A的一个例子，如专利文献I及图6所示而具有如下结构，即，紫外线灯100A具备:大致扁平长方体形状的放电容器1A，其在内部具有封入有稀有气体的密封空间13A ;及网眼状的一对电极2A，它们设置为与放电容器IA的外表面IlA对置，将在所述放电容器IA中设有一方的网眼状电极22A的面设为光射出部3A，将在内部产生的紫外线向放电容器IA外取出。另外，该结构设置为将在放电容器IA产生的紫外线仅从所述光射出部3A射出，为了提高光的取出效率，在放电容器IA的内表面12A中的除与光射出部3A对应的部分以外形成有由S12构成的紫外线反射膜4A。 然而，在放电容器IA内产生的紫外线不仅产生符合基板的清洗、墨的固化等这样的目的所期望的波长区域的紫外线，还一并产生与其相比短波长的紫外线。并且，该短波长的紫外线被形成在放电容器IA的内表面12A的紫外线反射膜4A反射，因此仅向放电容器IA的内表面12A中的与光射出部3A对应的部分照射。 当该短波长的紫外线向形成放电容器IA的玻璃照射时，玻璃的劣化逐渐加剧，首先降低紫外线的透过率，使紫外线的取出效率下降。进而，当玻璃的劣化加剧时，在放电容器IA产生裂缝且形成灯故障，需要更换。 近年来，期望提高运转率而使灯整体降低成本，因此谋求通过消除该光射出部3A中的因短波长的紫外线引起的玻璃的劣化、或缓解该劣化以能够降低灯的更换频率。 为了防止这样的光射出部3A中的形成放电容器IA的玻璃的劣化，在专利文献2所示的具备双重圆筒管构造的放电容器IA的紫外线灯100A中，形成为在放电容器IA的内表面12A形成的紫外线反射膜4A覆盖到光射出部3A的一部分为止。 具体来说，该结构设为，如图7所示，在放电容器IA的内侧管的内表面IlA形成第一固体电极21A，在放电容器IA的外侧管的外表面IlA以横向剖视观察下呈C字状的方式形成第二固体电极22A，将没有形成第二固体电极22A的开口部分作为光射出部3A。并且，在放电容器IA的外侧管的内表面12A中的与第二固体电极22A对应的部分、及在放电容器IA的外侧管的内表面12A中的第二固体电极22A附近、即所述光射出部3A的一部分形成有紫外线反射膜4A。 S卩，在专利文献2中，通过将光射出部3A中的特别容易产生由紫外线引起的玻璃的劣化的、外侧管的内表面12A的第二固体电极22A附近的一部分由紫外线反射膜4A来覆盖，从而能够实现长寿命化。 然而，在上述结构中，对于在光射出部3A中没有形成紫外线反射膜4A的区域来说，由于受到短波长的紫外线的照射，因此无法完全地防止光射出部3A中的劣化。反过来说，当为了防止光射出部3A中的整个区域内的由短波长引起的紫外线的劣化，当在放电容器IA中的与光射出部3A对应的部分全部将紫外线反射膜4A形成于内表面12A时，无法实现将在放电容器IA的内部产生的紫外线经由光射出部3A而向外部大部分取出，无法发挥紫外线灯10A原本的功能。 在先技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2012-243435号公报 专利文献2:日本特开2010-218833号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题 本专利技术是鉴于上述那样的问题而完成的，其目的在于提供一种紫外线灯，作为紫外线灯，能够将期望的波长的紫外线从放电容器内向外部射出，并且在放电容器中的与光射出部对应的整个区域内防止由短波长的紫外线引起的玻璃的劣化，能够消除或进一步缓解紫外线的取出效率的降低、裂缝的产生等。 解决方案 S卩，本专利技术的紫外线灯的特征在于，所述紫外线灯具备:放电容器，其由透光性玻璃构成，并在内部具有封入有规定气体的密封空间；至少一对电极，它们形成在所述放电容器的外表面；光射出部，其使在所述密封空间内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜，其供波长λ以上的紫外线透过，并且反射或吸收不足波长λ的紫外线，所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域内。 根据这样的结构，由于供波长λ以上的紫外线透过、并且反射或吸收不足波长λ的紫外线的放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内，因此将必要波长λ以上的紫外线向外部取出，并且不会向放电容器中的与光射出部对应的部分直接照射不足波长λ的紫外线。 S卩，能够利用所述放电容器保护膜来防止如下所述的情况:对无法防止现有玻璃的劣化加剧的放电容器中的与光射出部对应的区域照射短波长的紫外线即不足波长λ的紫外线。因而，与以往相比，能够在长期间内防止在放电容器中的与光射出部对应的部分处的紫外线的透过率的降低、裂缝的产生。 如此，根据本专利技术，能够保持紫外线灯原本的功能，并且防止形成放电容器的玻璃的劣化，实现长寿命化。因而，减少紫外线灯的更换频率，例如提高生产线的运转率。 为了使在所述密封空间内产生且想向外部取出的波长λ以上的紫外线向所述光射出部集中而提高取出效率，并且不会使在所述密封空间内产生的短波长的紫外线到达至放电容器，能够防止针对放电容器中的任何部分产生由短波长紫外线弓I起的玻璃的劣化，进行如下设置即可:所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内，所述紫外线灯还具备紫外线反射膜，该紫外线反射膜反射紫外线，形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部以外的部分对应的区域内。 作为例如将适用于基板的清洗的波长区域的紫外线从所述光射出部射出、并且用于能够防止形成所述放电容器的玻璃的劣化的波长λ的具体例，举出所述波长λ是165nm以上且175nm以下的波长。 作为在所述紫外线反射膜中用于不使从光射出部射出且期望的波长区域的紫外线透过而被反射、并且使形成放电容器的玻璃劣化的短波长的紫外线也被反射的具体的结构例，举出所述紫外线反射膜由颗粒直径大于所述波长λ的S12形成的例子。 作为在所述放电容器保护膜中用于反射或吸收使玻璃劣化的短波长的紫外线中的、特别是比使劣化加剧的波长要短的波长的紫外线、并且作为期望的波长区域的紫外线而仅供具有比波长λ要长的波长的紫外线透过的具体结构例，只要所述放电容器保护膜由颗粒直径小于所述波长λ且颗粒直径为160nm以上的S12形成即可。 在所述放电容器保护膜中，为了使比波长λ要长的波长的紫外线透过、并且使比波长λ要短的波长的紫外线被吸收，只要所述放电容器保护膜是由Al2O3形成的紫外线透过膜即可。 作为所述放电容器保护膜的其他形态，在所述放电容器保护膜中，为了使比波长λ要长的波长的紫外线透过，并且使比波长λ要短的波长的紫外线被反射，只要所述放电容器保护膜是由MgO、CaF2 *MgF2中的任一者形成的单层反射膜即可。 专利技术效果 如此，根据本专利技术的紫外线灯，对于所述放电容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域，形成有供波长λ以上的紫外线透过、并且反射或吸收不足波长λ的紫外线的所述放电容器保护膜，能够防止现有未被保护的光射出部中的形成放电容器的玻璃的劣化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外线灯，其特征在于，所述紫外线灯具备：放电容器，其由透光性玻璃构成，并在内部具有封入有规定气体的密封空间；至少一对电极，它们形成在所述放电容器的外表面；光射出部，其使在所述密封空间内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜，其供波长λ以上的紫外线透过，并且反射或吸收不足波长λ的紫外线，所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域内。

【技术特征摘要】
2013.03.28 JP 2013-070441;2014.03.12 JP 2014-048451.一种紫外线灯，其特征在于， 所述紫外线灯具备: 放电容器，其由透光性玻璃构成，并在内部具有封入有规定气体的密封空间； 至少一对电极，它们形成在所述放电容器的外表面； 光射出部，其使在所述密封空间内通过放电产生的光向所述放电容器外射出；及放电容器保护膜，其供波长λ以上的紫外线透过，并且反射或吸收不足波长λ的紫外线，所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的至少与所述光射出部对应的区域内。2.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中， 所述放电容器保护膜形成在所述放电容器的内表面中的与所述光射出部对应的区域内， 所述紫外线灯还具备紫外线反射膜，该紫外线反射膜反射紫...

【专利技术属性】
技术研发人员：细谷浩二，片桐毅，畑濑和也，
申请(专利权)人：株式会社杰士汤浅国际，
类型：发明
国别省市：日本;JP