本发明专利技术提供一种飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件，其能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。本发明专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件
本专利技术涉及飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件。详细而言，涉及用于在飞行时间二次离子质谱分析装置(T0F — SIMS:Time — of — Flight Secondary 1nMass Spectrometry)中固定测定对象试样的部件。
技术介绍
飞行时间二次离子质谱分析装置(T0F - SIMS)是用于调查在固体试样的表面存在何种成分(原子、分子)的装置，能够检测PPm级的极微量成分，能够适用于有机物、无机物。另外，根据飞行时间二次离子质谱分析装置(T0F — SMS)，还能够调查存在于固体试样的最表面的成分的分布(例如，参照专利文献I)。 飞行时间二次离子质谱分析装置中，通过在高真空中使高速的离子束(一次离子)轰击固体试样的表面，通过溅射现象将表面的构成成分弹飞。此时产生的带有正或负电荷的离子(二次离子)通过电场在一个方向上飞散，在离开一定距离的位置检测。在溅射时，根据固体试样表面的组成，产生具有各种质量的二次离子，越轻的离子越以快的速度飞散，越重的离子越以慢的速度飞散，因此，如果测定二次离子从产生到被检测到的时间(飞行时间)，就能够计算产生的二次离子的质量。这是飞行时间二次离子质谱分析装置的原理。 在飞行时间二次离子质谱分析装置中，使成为测定对象的固体试样固定于粘合剂或粘接剂等固定部件而进行测定。但是，在使用现有的粘合剂或粘接剂等固定部件的情况下，来自固定部件的有机成分附着于固体试样，而产生固体试样的污染。这种污染在固体试样为粉体等情况下特别显著。飞行时间二次离子质谱分析装置中，由于检测固体试样表面的ppm级的极微量成分，因此，存在该固体试样表面的极少的污染会妨碍二次离子的产生而不能进行准确检测的问题。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2008 - 175654号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题 本专利技术的课题在于提供一种飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件，其能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。 用于解决课题的方法 本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含:具备多个长度200 μ m以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。 在优选的实施方式中，本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件在室温的相对于玻璃面的剪切粘接力为lON/cm2以上。 在优选的实施方式中，上述纤维状柱状结构体为具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多个层，该碳纳米管的层数分布的分布宽度为10层以上，该层数分布的最频值的相对频度为25%以下。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多个层，该碳纳米管的层数分布的最频值存在于层数10层以下，该最频值的相对频度为30%以上。 在优选的实施方式中，本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含基材。 专利技术的效果 根据本专利技术，能够提供能够防止固体试样的污染、能够稳定地固定固体试样并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测的飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件。 【附图说明】 图1是本专利技术优选的实施方式中的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件的一例的概略剖面图； 图2是本专利技术优选的实施方式中的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含碳纳米管集合体时的该碳纳米管集合体的制造装置的概略剖面图。 【具体实施方式】 《飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件》 本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含具备多个长度200 μ m以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件通过包含具备多个长度200 μ m以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体，能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件可以是仅由上述纤维状柱状结构体构成的部件，也可以是由上述纤维状柱状结构体和可以适用于固定飞行时间二次离子质谱分析装置用试样的任意恰当的材料构成的部件。 本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件是用于在飞行时间二次离子质谱分析装置中粘接固定测定试样的部件，其大小、形状可以根据使用的飞行时间二次离子质谱分析装置的种类适当选择。 上述纤维状柱状结构体是具备多个纤维状柱状物的集合体。上述纤维状柱状结构体优选是具备长度L的多个纤维状柱状物的集合体。图1中表示本专利技术优选的实施方式中的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件的一例的概略剖面图。 图1中，纤维状柱状结构体10具备基材I和多个纤维状柱状物2。纤维状柱状物2的一端2a固定于基材I。纤维状柱状物2按照长度L的方向取向。纤维状柱状物2优选按照与基材I大致垂直的方向取向。在此，“大致垂直的方向”是指，相对于基材I的面的角度优选为90° ±20°，更优选为90° ±15°，进一步优选为90° ±10°，特别优选为90° ±5°。此外，纤维状柱状结构体10也可以是与本图示例不同的仅由多个纤维状柱状物2构成的集合体。即，纤维状柱状结构体10也可以不具备基材I。在该情况下，多个纤维状柱状物2可以相互通过例如范德华力而作为集合体存在。 上述长度L为200 μπι以上，优选为200 μπι?2000 μ m，更优选为300 μ m?1500 μ m，进一步优选为400μπι?1000 μ m，特别优选为500 μ m?1000 μ m，最优选为600 μ m?1000 μ m。通过上述长度L落在上述范围内，本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。此外，上述长度L可以通过后述的方法测定。 本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件中，室温的相对于玻璃面的剪切粘接力优选为lON/cm2以上，更优选为lON/cm2?200N/cm2，进一步优选为15N/cm2?200N/cm2,特别优选为20N/cm2?200N/cm2,最优选为25N/cm2?200N/cm2。通过上述剪切粘接力落在上述范围内，本专利技术的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件能够更稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的更准确的检测。此外，上述剪切粘接力可通过后述的方法测定。 作为上述纤维状柱状物的材料，可以采用任意恰当的材料。例如，可以列举:铝、铁等金属；娃等无机材料；碳纳米纤维、碳纳米管等碳材料；工程塑料、超级工程塑料等高模量的树脂等。作为树脂的具体例，可以列举:聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、乙酰基纤维素、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚酰胺等。就树脂的分子量等各项物性而言，可以在能够实现本专利技术目的的范围内采用任意恰当的物性。 作为上述基材，可以根据目的采用任意恰当的基材。例如可以列举:石英玻璃、硅(硅晶片等本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件，其特征在于，包含：具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.02.03 JP 2012-0217121.一种飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件，其特征在于，包含: 具备多个长度200 μ m以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。2.如权利要求1所述的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件，其特征在于: 室温的相对于玻璃面的剪切粘接力为lON/cm2以上。3.如权利要求1或2所述的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件，其特征在于: 所述纤维状柱状结构体为具备多个碳纳米管的...
【专利技术属性】
技术研发人员：前野洋平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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