本发明专利技术提供作为预处理能够避免大量的水的使用和排水处理，并且能够除去含有过氟化物的气体中的固体成分，过滤器等难以堵塞的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气进行预处理的预处理装置（21）；对装置入口排气以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置于加热单元的前段以及后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；和将酸成分干式除去的酸成分除去装置（232），预处理装置（21）具备：对装置入口排气进行加热，使装置入口排气中所含有的液体的水蒸发的入口加热器（211）；和从装置入口排气除去固体成分的过滤器（212、212a）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及例如为了分解处理过氟化物而使用的过氟化物处理装置等。
技术介绍
例如，在半导体器件、液晶器件的制造工艺中，为了形成微细图案，有时进行蚀刻、 清洗（cleaning)。此时，使用过氟化物的情况较多。另外，过氟化物一般较稳定，大多对人 体无害，所以除此之外还被用于例如空调的制冷剂等。 但是，在这些过氟化物中，当被释放到大气中时，对地球环境造成较大影响的过氟 化物较多。即，由于在大气中长时间稳定地存在，具有地球温室化系数大的性质，因此会成 为地球温室化的一个因素。并且，如上述那样，过氟化物一般较稳定，其影响长时间持续的 情况较多。 因而，为了不对地球环境造成影响，需要分解所使用过的过氟化物，使其成为对地 球环境无害的状态而向大气中释放。 在专利文献1中公开了一种含氟化合物的分解处理方法，S卩：在水蒸气的存在下 使包含作为卤素仅含有氟的氟化合物的气流与如由A1和Ni、Al和Ζη、Α1和Ti形成的催化 剂那样含有A1的催化剂在约200?800°C接触，将气流中的氟转化为氟化氢。 另外，在专利文献2中公开了一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：过氟化 物分解装置，其设置有催化剂层，被供给含有过氟化物的排气(废气)，分解过氟化物；和酸 性物除去装置，其除去在从过氟化物分解装置排出的排气中所含有的酸性物质与Ca盐反 应而生成的第1反应生成物。 此外，专利文献3公开了一种催化式PFC分解处理方法，其特征在于，是用催化剂 分解含有与水反应生成固形物的气体成分、并且含有PFC的气流中的PFC的方法，至少具 有：使气流与水接触，生成固形物的固形物生成工序；除去生成的固形物的固形物捕集工 序；以及PFC的催化分解工序。 在先技术文献 专利文献1 :日本特开2001-224926号公报 专利文献2 :日本特开2008-246485号公报 专利文献3 :日本特开2005-111423号公报
技术实现思路
在从半导体器件、液晶器件的制造工艺排出的气体中，除了过氟化物之外还包含 固体成分和/或与水接触而生成固体成分的物质。而且，之外分解过氟化物之前的预处理， 有下述的以往方法：使气体与水或者碱水溶液接触，生成卤化硅之类的固体成分，由此除去 酸性气体。但是，该情况下，当为了除去生成的固体成分而使用过滤器等时，存在水分在过 滤器等中凝结、容易使过滤器等在短期间内堵塞的问题。 本专利技术是鉴于现有技术存在的上述问题而完成的。 即，本专利技术的目的在于提供一种过氟化物处理装置，其中，作为预处理，不需要通 过使含有过氟化物的气体与水或者碱水溶液接触而生成固体成分来除去酸性气体的工序， 能够避免多量的水的使用和排水处理，并且在含有过氟化物的气体中，除了过氟化物之外， 即使还含有水分，过滤器等也难以堵塞。 这样，根据本专利技术，提供一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：对含有过氟化 物的气体进行预处理的预处理单元；对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预 先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体的加热单元；配置于加热单 元的前段以及后段，在流入加热单元之前的含有过氟化物的气体以及水与从加热单元流出 后的分解气体之间进行热交换的热交换单元；和从自热交换单元流出后的分解气体干式除 去酸成分的酸成分除去单元，预处理单元具备：对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过 氟化物的气体中所含有的液体的水蒸发的预热单元；和从利用预热单元使液体的水蒸发了 的含有过氟化物的气体除去固体成分的固体成分除去单元。 在此，优选预热单元在含有过氟化物的气体的流通路径中配有翅片（翼片：fin)。 进而，优选：在预热单元和固体成分除去单元之间导入空气，并使被导入了空气的含有过氟 化物的气体在固体成分除去单元中通过。 另外，优选：热交换单元使水混合到流入加热单元之前的含有过氟化物的气体中。 进而，优选：固体成分除去单元具备：用于除去固体成分的第1过滤器、和在进行 第1过滤器的更换时代替第1过滤器来除去固体成分的第2过滤器；优选：在含有过氟化物 的气体的流通路径下游侧具备用于采用压缩空气进行反洗的压缩空气口。 另外，根据本专利技术，提供一种过氟化物处理方法，其特征在于，具备：对含有过氟化 物的气体进行预处理的预处理工序；对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预 先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体的加热工序；配置于加热工 序的前段以及后段，在流入加热工序之前的含有过氟化物的气体以及水与从加热工序流出 后的分解气体之间进行热交换的热交换工序；和从自热交换工序流出后的分解气体干式除 去酸成分的酸成分除去工序，预处理工序具备：对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过 氟化物的气体中所含有的液体的水蒸发的预热工序；和从通过预热工序使液体的水蒸发了 的含有过氟化物的气体除去固体成分的固体成分除去工序。 通过预处理单元具备：对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过氟化物的气体 中所含有的液体的水蒸发的预热单元；和从利用预热单元使液体的水蒸发了的含有过氟化 物的气体除去固体成分的固体成分除去单元，在含有过氟化物的气体中，除了过氟化物之 夕卜，即使还含有水分，固体成分除去单元也难以堵塞。 通过在预热单元的含有过氟化物的气体的流通路径中配置翅片，含有过氟化物的 气体在预热单元内部被搅拌，能够将热充分传递到含有过氟化物的气体。 通过在预热单元和固体成分除去单元之间导入空气，并使被导入了空气的含有过 氟化物的气体在固体成分除去单元中通过，在加热单元中能够抑制一氧化碳的生成，并且 对于空气中所含有的固体成分也能够除去。 通过热交换单元使水混合到流入第1加热单元之前的含有过氟化物的气体中，由 此，能够使用于过氟化物的水解的水更均匀地混合到含有过氟化物的气体中。 通过固体成分除去单元具备：用于除去固体成分的第1过滤器、和在进行第1过滤 器的更换时代替第1过滤器来除去固体成分的第2过滤器，即使是对第1过滤器进行更换 时，通过使用第2过滤器，也能够不停止装置的运行来进行更换。 通过固体成分除去单元在含有过氟化物的气体的流通路径下游侧具备用于采用 压缩空气进行反洗的压缩空气口，能够不停止过氟化物的处理来继续运行，并且能够延长 过滤器等的更换时期。 通过预处理工序具备：对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过氟化物的气体 中所含有的液体的水蒸发的预热工序；和从通过预热单元使液体的水蒸发了的含有过氟化 物的气体除去固体成分的固体成分除去工序，在含有过氟化物的气体中，除了过氟化物之 夕卜，即使还含有水分，固体成分除去单元也难以堵塞。 【附图说明】 图1是对应用本实施方式的过氟化物处理装置的半导体制造车间的总体构成进 行说明的图。 图2是对本实施方式的过氟化物处理装置的概略构成进行说明的图。 图3是表示构成本实施方式的过氟化物处理装置的各设备的图，是对入口加热器 211的内部结构进行说明的图。 图4 (a)?（b)是对入口加热器的内部结构进行说明的图。 图5是说明反应温度与过氟化物的分解率的关系的图。 图6是对过氟化物处理本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：预处理单元，其对含有过氟化物的气体进行预处理；加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体；热交换单元，其配置于所述加热单元的前段以及后段，在流入该加热单元之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热单元流出后的分解气体之间进行热交换；和酸成分除去单元，其从自所述热交换单元流出后的分解气体干式除去酸成分，所述预处理单元具备：预热单元，其对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过氟化物的气体中所含有的液体的水蒸发；和固体成分除去单元，其从利用所述预热单元使液体的水蒸发了的含有过氟化物的气体除去固体成分。
【技术特征摘要】
2013.03.19 JP 2013-0573831. 一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备： 预处理单元，其对含有过氟化物的气体进行预处理； 加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水 解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体； 热交换单元，其配置于所述加热单元的前段以及后段，在流入该加热单元之前的含有 过氟化物的气体以及水与从该加热单元流出后的分解气体之间进行热交换；和 酸成分除去单元，其从自所述热交换单元流出后的分解气体干式除去酸成分， 所述预处理单元具备： 预热单元，其对含有过氟化物的气体进行加热，使含有过氟化物的气体中所含有的液 体的水蒸发；和 固体成分除去单元，其从利用所述预热单元使液体的水蒸发了的含有过氟化物的气体 除去固体成分。2. 根据权利要求1所述的过氟化物处理装置，其特征在于，所述预热单元在含有过氟 化物的气体的流通路径中配有翅片。3. 根据权利要求1或者2所述的过氟化物处理装置，其特征在于，在所述预热单元与所 述固体成分除去单元之间导入空气，并使被导入了空气的含有过氟化物的气体在该固体成 分除去单元中通过。4. 根据权利要求1或者2所述的过氟化物处理装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：鸟巢纯一，早坂裕二，加藤健一，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。