【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学冷加工
，具体涉及一种光学元件铣磨用真空夹具。
技术介绍
投影光刻物镜等高精度光学仪器中使用的诸如透镜之类的光学元件在铣磨过程中，平面和球面元件普遍采用金刚石杯形磨轮进行加工，非球面元件采用金刚石碟形磨轮进行加工，光学元件的装夹通常采用真空吸附的夹具，国防工业出版社于2008年出版的“现代光学制造技术”一书(舒朝濂主编)P119页公开了一种真空吸附夹具的技术方案，参见附图1，该真空吸附夹具包括真空夹具本体2和橡胶垫8，该夹具对光学元件直径公差要求严格，一般在-0.05～-0.10mm之间，直径过大，放不进去，直径过小，则易产生偏心；另外该真空夹具本体缺少对光学元件中心的支撑，一些较薄光学元件铣磨过程中容易产生变形。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种光学元件铣磨用真空夹具，解决现有技术存在的对光学元件直径公差要求严格和较薄光学元件铣磨过程中容易产生变形的问题。为实现上述目的，本专利技术的一种光学元件铣磨用真空夹具包括真空夹具本体、密封圈、保护层、保护块和止动螺丝；所述真空夹具本体为圆柱形一体式结构，所述真空夹具本体轴线处开有抽气中心孔，该真空夹具本体的支撑面与光学元件接触面形状相同，所述支撑面上设置有环形槽；所述密封圈设置在所述环形槽内，真空夹具本体的支撑面通过保护层与光学元件接触，所述保护层通过胶粘到真空夹具本体的支撑面上。所述真空夹具本体侧面周向均布...
【技术保护点】
一种光学元件铣磨用真空夹具，包括真空夹具本体(2)，其特征在于，还包括密封圈(3)、保护层(4)、保护块(5)和止动螺丝(7)；所述真空夹具本体(2)为圆柱形一体式结构，该真空夹具本体(2)的轴线处开有抽气中心孔(201)，该真空夹具本体(2)的支撑面(202)与光学元件(1)接触面形状相同，所述支撑面(202)上设置有环形槽(203)；所述密封圈(3)设置在所述环形槽(203)内，真空夹具本体(2)的支撑面(202)通过保护层(4)与光学元件(1)接触，所述真空夹具本体(2)侧面周向均布多个保护块(5)，所述保护块(5)上方设置有螺纹孔Ⅱ(502)，所述止动螺丝(7)与所述螺纹孔Ⅱ(502)配合顶住光学元件(1)侧面。
【技术特征摘要】
1.一种光学元件铣磨用真空夹具，包括真空夹具本体(2)，其特征在于，
还包括密封圈(3)、保护层(4)、保护块(5)和止动螺丝(7)；
所述真空夹具本体(2)为圆柱形一体式结构，该真空夹具本体(2)的轴
线处开有抽气中心孔(201)，该真空夹具本体(2)的支撑面(202)与光学元
件(1)接触面形状相同，所述支撑面(202)上设置有环形槽(203)；
所述密封圈(3)设置在所述环形槽(203)内，真空夹具本体(2)的支撑
面(202)通过保护层(4)与光学元件(1)接触，所述真空夹具本体(2)侧
面周向均布多个保护块(5)，所述保护块(5)上方设置有螺纹孔Ⅱ(502)，所
述止动螺丝(7)与所述螺纹孔Ⅱ(502)配合顶住光学元件(1)侧面。
2.根据权利要求1所述的一种光学元件铣磨用真空夹具，其特征在于，所
述真空夹具本体(2)下表面均布四个螺纹孔Ⅰ(204)...
【专利技术属性】
技术研发人员：马占龙，张健，彭利荣，王飞，隋永新，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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