涂覆装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂覆装置。该涂覆装置包括蒸发部、热分解部、沉积室、真空泵和排气管。沉积室包括上部分、面对上部分的下部分以及将下部分和上部分彼此连接的侧壁部分，该侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。排气管包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管、以及连接到中间管的主管。真空泵被配置为通过排气管从沉积室排出沉积材料的单体中的没有被沉积的部分。

【技术实现步骤摘要】
涂覆装直
本专利技术的示例性实施方式涉及一种涂覆装置。更具体地，本专利技术的示例性实施方式涉及聚对二甲苯涂覆装置。
技术介绍
通常，例如，诸如印刷电路板、医疗设备、显示面板等的制造品包括用于增加制造品的抗腐蚀性、防潮性能、防氧化性能等的保护层。保护层可以用作制造品的最外层。 保护层可以根据其区域而具有不同的厚度。保护层的厚度的差异会导致关于保护层的弱点。例如，腐蚀和氧化会发生在制造品的其中保护层的厚度相对薄的区域中。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施方式提供一种能够形成均匀保护层的涂覆装置。 本专利技术的示例性实施方式提供一种涂覆装置，该涂覆装置包括蒸发部、热分解部、沉积室、真空泵和排气管。蒸发部被配置为蒸发沉积材料的二聚物，热分解部被配置为使蒸发的沉积材料的二聚物热分解为单体。 沉积室包括上部分、面对上部分的下部分以及使上部分和下部分彼此连接的侧壁部分。多个对象设置在下部分上并被配置为在其上接收沉积材料的单体，侧壁部分包括设置在下部分和上部分之间的入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。 排气管包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管、以及连接到中间管的主管。真空泵被配置为在蒸发部和排气管之间提供用于沉积材料的流体路径，并被配置为通过排气管从沉积室排出沉积材料的单体中的没有被沉积的部分。 对象基本上平行于下部分，并在下部分和上部分之间以规则的间距彼此间隔开。 对象分别被多个支座支撑。冷却器件分别设置在支座处以控制支座周围的沉积温度。 入口面对第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。扩散板面对入口设置在沉积室内部,并且扩散板包括面对入口的弯曲部分。 中间管具有比第一辅助管的截面面积和第二辅助管的截面面积更大的截面面积，并且主管具有比中间管的截面面积更大的截面面积。第一辅助管、第二辅助管和中间管的每个形成为弯曲形状并具有至少一个弯曲部分。 根据本专利技术的示例性实施方式，提供一种涂覆装置。该涂覆装置包括：原材料供应部；蒸发部，配置为蒸发由原材料供应部以粉末形式供应到其的沉积材料的二聚物，其中原材料供应部通过第一连接管连接到蒸发部；热分解部，通过第二连接管连接到蒸发部并配置为使蒸发的沉积材料的二聚物热分解为单体；沉积室，通过第三连接管连接到热分解部。沉积室包括：下部分；面对下部分的上部分；侧壁部分，使下部分和上部分彼此连接；平台，设置在下部分上且包括固定到其上的多个支座，该多个支座配置为分别支撑多个对象，该多个对象配置为在其上接收沉积材料的单体；多个冷却器件，提供到支座并被配置为降低支座周围的温度；以及加热器件，设置在沉积室的侧壁部分处。侧壁部分包括设置在下部分与上部分之间的入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。 此外，涂覆装置还包括:空气冷却器件，设置在蒸发部的外表面上，并被配置为冷却蒸发部且在其中包括多个排气孔；第四连接管，包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管以及连接到中间管的主管；冷阱(cold trap)，配置为冷却从沉积室排出的被蒸发的沉积材料的单体并通过第四连接管的主管连接到沉积室；以及真空泵，通过第五连接管连接到冷阱。真空泵配置为通过第四连接管从沉积室排出沉积材料的单体的没有被沉积的部分，并被配置为通过排出沉积材料的单体的部分而在蒸发部与排气管之间产生用于沉积材料的流体路径。 此外，涂覆装置还包括可操作地连接到原材料供应部、热分解部、蒸发部和真空泵中的每个的控制部。控制部被配置为控制蒸发部和热分解部的温度，并被配置为控制来自原材料供应部的二聚物的供应。此外，控制部被配置为控制真空泵的抽吸强度。根据以上，排气管形成均匀的排放路径而与沉积室的区域无关。由于该涂覆装置，保护层均匀地形成在对象上，而与对象的位置无关。 设置在平台上的冷却器件防止对象被加热并控制平台周围的温度以提高聚对二甲苯单体的沉积效率。设置在沉积室上的冷却器件防止聚对二甲苯单体沉积在沉积室的内侧壁上。 扩散板将通过沉积室的入口进入的聚对二甲苯单体扩散到沉积室的整个空间。 【附图说明】 当结合附图考虑时，本专利技术的示例性实施方式能够从以下的详细描述被更详细地理解，附图中: 图1是示出根据本专利技术示例性实施方式的涂覆装置的方框图； 图2是示出根据本专利技术示例性实施方式的沉积室和排气管的透视图； 图3是示出图2所示的沉积室的流体路径的视图； [0021 ] 图4是图2所示的沉积室的局部切除透视图； 图5是示出图4所示的用于沉积的对象的透视图； 图6是示出根据本专利技术示例性实施方式的排气管的视图； 图7A至图7C是示出根据本专利技术示例性实施方式的沉积室的入口区域的视图； 图8A和图8B是示出根据本专利技术示例性实施方式的扩散板的视图；和 图9是示出根据本专利技术示例性实施方式的蒸发部的透视图。 【具体实施方式】 将理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件或层时，它可以直接在另一元件或层上、直接连接到或耦接到另一元件或层，或者可以存在居间元件或层。相同的附图标记始终指代相同的元件。当在这里使用时，术语“和/或”包括一个或多个相关所列项目的任意和所有组合。 这里使用的术语仅是为了描述特定实施方式的目的，而不意欲限制本专利技术。当在这里使用时，单数形式也旨在包括复数形式，除非上下文另外清晰地指示。还将理解，当在本说明书中使用时，术语“包括”和/或“包含”指定所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组的存在或添加。 在下文，将参照附图详细说明本专利技术的示例性实施方式。 图1是示出根据本专利技术示例性实施方式的涂覆装置的方框图。 参照图1，涂覆装置包括例如原材料供应部100、蒸发部200、热分解部300、沉积室400、冷阱500、真空泵600和控制部700。 原材料供应部100将沉积材料的粉末形式的二聚物供应到蒸发部200。在本示例性实施方式中，沉积材料可以是，但不限于，聚对二甲苯。也就是说，各种材料可以用作沉积材料，只要被蒸发的二聚物被热分解为单体。 原材料供应部100和蒸发部200通过例如第一连接管FPl彼此连接。例如，原材料供应部100以均一的量将聚对二甲苯二聚物供应到蒸发部200。聚对二甲苯二聚物的供应量通过例如计算原材料供应部100中包含的聚对二甲苯二聚物的质量变化量来控制。 蒸发部200蒸发供应到其的聚对二甲苯二聚物。蒸发部200在例如约150度至约230度的温度加热聚对二甲苯二聚物。蒸发部200和热分解部300通过例如第二连接管FP2彼此连接。蒸发部200通过第二连接管FP2将蒸发的聚对二甲苯二聚物提供到热分解部 300。 热分解部300使蒸发的聚对二甲苯二聚物热分解为聚对二甲苯单体。为了热分解反应，热分解部300在例如约650度加热被蒸发的聚对二甲苯二聚物。聚对二甲苯二聚物可以例如为二 _对二甲苯(d1-para-xylene)、一氯-对二甲苯、或二氯-对二甲苯。 热分解部300和沉积室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂覆装置，包括：蒸发部，配置为蒸发沉积材料的二聚物；热分解部，配置为使蒸发的沉积材料的所述二聚物热分解为单体；沉积室，包括下部分、面对所述下部分的上部分以及将所述下部分和所述上部分彼此连接的侧壁部分，多个对象设置在所述下部分上并被配置为在其上接收所述沉积材料的单体，所述侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口，其中所述第一出口、所述第二出口、所述第三出口和所述第四出口依次设置在所述下部分和所述上部分之间；排气管，包括连接到所述第一出口和所述第二出口的第一辅助管、连接到所述第三出口和所述第四出口的第二辅助管、连接到所述第一辅助管和所述第二辅助管的中间管、以及连接到所述中间管的主管；和真空泵，配置为通过所述排气管从所述沉积室排出所述沉积材料的所述单体的没有被沉积的部分，并被配置为通过排出所述沉积材料的所述单体的所述部分而在所述蒸发部和所述排气管之间产生用于所述沉积材料的流体路径。

【技术特征摘要】
2013.03.15 KR 10-2013-00279331.一种涂覆装置，包括: 蒸发部，配置为蒸发沉积材料的二聚物； 热分解部，配置为使蒸发的沉积材料的所述二聚物热分解为单体； 沉积室，包括下部分、面对所述下部分的上部分以及将所述下部分和所述上部分彼此连接的侧壁部分，多个对象设置在所述下部分上并被配置为在其上接收所述沉积材料的单体，所述侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口，其中所述第一出口、所述第二出口、所述第三出口和所述第四出口依次设置在所述下部分和所述上部分之间； 排气管，包括连接到所述第一出口和所述第二出口的第一辅助管、连接到所述第三出口和所述第四出口的第二辅助管、连接到所述第一辅助管和所述第二辅助管的中间管、以及连接到所述中间管的主管；和 真空泵，配置为通过所述排气管从所述沉积室排出所述沉积材料的所述单体的没有被沉积的部分，并被配置为通过排出所述沉积材料的所述单体的所述部分而在所述蒸发部和所述排气管之间产生用于所述沉积材料的流体路径。2.根据权利要求1所述的涂覆装置，其中所述第一出口、所述第二出口、所述第三出口和所述第四出口以规则的间距彼此间隔开。3.根据权利要求1所述的涂覆装置，其中所述对象基本上平行于所述下部分，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴宰彻，李忠爀，宋大镐，崔洛初，鱼庆恩，吴旻贞，李民雨，裵相钧，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，纳里技术有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR