低温泵制造技术

本发明专利技术提供一种低温泵，其适于氢气等非冷凝性气体的高速排气。低温泵（10）具备：低温板总成（20），具备在两表面上具有吸附区域（48）的多个低温板；放射屏蔽件（30），形成包围低温板总成（20）的气体接收空间（50）；及放射罩（32），配设于吸气口（12）。放射罩（32）具备：主板（52），配置于吸气口（12）的与低温板总成（20）对应的位置；及百叶窗部（54），配置于吸气口（12）的与气体接收空间（50）对应的位置。放射罩（32）也可不具备百叶窗部（54）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低温泵，其特征在于，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板；放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，且具备：主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥走，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP