【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种水洗腔室的排液方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供水洗腔室;步骤2、设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通;步骤3、在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度;步骤4、根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李嘉,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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