微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种微镜，其具有第一层(200)和第二层(300)，所述第一层具有第一主延伸层面，所述第二层具有第二主延伸层面，其中所述第一主延伸层面与所述第二主延伸层面相互平行地设置；其中所述第一层(200)与所述第二层(300)通过至少一个连接区域(23)局部地相互连接；其中在所述第一层(200)中构造有至少一个弹簧元件(202)；其中在所述第二层(300)中构造有可移动地悬挂的镜板(305)；其中所述镜板(305)在平行于所述主延伸层面的第一侧(30)上具有镜面并且在相对置的第二侧(20)上通过所述连接区域(23)与所述弹簧元件(202)的固定部(210)连接：其中所述弹簧元件(202)的一部分能够相对于所述镜板(305)移动地设置在所述镜板(305)的第二侧(20)上。本发明专利技术也涉及一种具有这样的微镜的2镜系统。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微镜
技术介绍
对于借助逐行描绘投影面(英语:“flying spot:飞点”)的图像结构而言，至少在一个轴线上需要具有高频率的运动。为了使需要的频率达到10千赫兹以上直至50千赫兹，仅仅考虑谐振装置。近些年提出了大量的微镜。一部分实现了在仅仅一个轴线上振动的镜，一部分开发了万向悬挂的镜，其或者在两个轴线方向上谐振振动或者在一个方向上准静态地工作。在公开文献“MEMSScanners for Display and Imaging Applications” (SPIE会议记录，第5604卷)中描述了由镜大小和偏转的乘积(所谓的西塔D乘积(Theta-D-Produkt))和频率对于微扫描仪的图像质量的意义。除三个参数——镜大小、偏转和频率以外，在高频率的情况下振荡的微镜的镜变形仅仅是所使用的激光的波长的约1/10。在更大的变形的情况下，点可能扩大，这使图像的分辨率变差。由于镜自身的惯性和作用在镜板上的反力(如由在偏转镜时张紧的弹簧施加反力)，这是很难满足的要求。迄今，通过悬挂点的优化试图在镜板的尽可能小的动态变形方面优化由板的自身惯性引起的变形和由弹簧配合引起的变形。对于微镜的反射表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微镜，其具有第一层(200)和第二层(300)，所述第一层具有第一主延伸层面，所述第二层具有第二主延伸层面，其中，所述第一主延伸层面与所述第二主延伸层面相互平行地设置；其中，所述第一层(200)与所述第二层(300)通过至少一个连接区域(23)局部地相互连接；其中，在所述第一层(200)中构造有至少一个弹簧元件(202)；其中，在所述第二层(300)中构造有可移动地悬挂的镜板(305)；其中，所述镜板(305)在平行于所述主延伸层面的第一侧(30)上具有镜面并且在相对置的第二侧(20)上通过所述连接区域(23)与所述弹簧元件(202)的固定部(210)连接；其中，所述弹簧元件(202)的一...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.22 DE 102011089514.01.一种微镜，其具有第一层(200)和第二层(300)，所述第一层具有第一主延伸层面，所述第二层具有第二主延伸层面， 其中，所述第一主延伸层面与所述第二主延伸层面相互平行地设置； 其中，所述第一层(200)与所述第二层(300)通过至少一个连接区域(23)局部地相互连接； 其中，在所述第一层(200)中构造有至少一个弹簧元件(202)； 其中，在所述第二层(300)中构造有可移动地悬挂的镜板(305)； 其中，所述镜板(305)在平行于所述主延伸层面的第一侧(30)上具有镜面并且在相对置的第二侧(20)上通过所述连接区域(23)与所述弹簧元件(202)的固定部(210)连接； 其中，所述弹簧元件(202)的一部分能够相对于所述镜板(305)移动地设置在所述镜板(305)的第二侧(20)上。2.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述连接区域(23)由所述第一层(200)与所述第二层(300)之间的中间层构成。3.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述连接区域(23)由所述第一层(200)的和/或所述第二层(300)的经结构化的部分区域构成。4.根据以上权利要求中任一项所述的微镜，其特征在于，所述固定部(210)设置在所述镜板(305)的面重心下方。5.根据以上权利要求中任一项所述的微镜，其特征在于，所述弹簧元件(202)具有垂直于所述第一主延伸层面的第一延展和平行于所述第一主延伸层面的第二延展，其中，所述第一延展以因数2、优选以因数10大于所述第二延展。6.根据以上权利要求中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：H·尼切，F·恩吉卡姆恩吉蒙齐，W·朔克，Z·莱什詹，J·穆霍，H·格鲁茨埃克，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE