【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】聚光镜加热炉
本专利技术是一种使用于材料加工等的加热炉,涉及用于由红外线进行加热的聚光镜加热炉。
技术介绍
如专利文献I至3所记载,作为用于制造单晶的装置,已知有一种聚光镜加热炉,通过朝向成为对象的氧化铝等的烧结体和晶种使红外线聚光而进行加热。这种聚光镜加热炉在沿垂直方向移动的载物台上设置氧化铝等的烧结体和晶种,在沿水平方向包围该晶种的位置上设置由旋转椭圆面构成的反射镜,在该旋转椭圆面的一个焦点上设置卤素灯等的光源,使烧结体和晶种位于旋转椭圆面的另一个焦点。而且,其为以使从光源放射的红外线直接或介由反射镜的反射面,而使焦点正中该烧结体和晶种的方式进行聚光并进行加热的加热炉,以及在加热时通过使该载物台下降而使单晶生长的装置。另外,如专利文献4所记载,已知有在内面为旋转椭圆面的反射面的一个焦点上放置被加热物台,将设置在反射面内的加热器作为面光源,通过使所放射的红外线直接以及被该椭圆面反射而加热该被加热物台上的被加热物。而且,如专利文献5所记载,作为使用于半导体制造的加热炉,已知有将硅片放在石英板上,从石英板对其进行加热的电阻加热型炉。但是,即使在热源为红外线时,也由于将石英板插入炉内,因此该炉内的尺寸是能够对晶片以上的尺寸的物体进行加热的尺寸,电阻加热也在升温之前需要较长时间,一个加热工序无法在短时间内得以操作。而且,还已知有一种加热处理装置,在加热晶片表面时,为了对可充分覆盖晶片口径的范围进行红外线照射,与晶片表面平行地设置如下面,即在与所放置的晶片表面相对的晶片的垂直上方位置上设置多个红外线灯而成的面,通过这种装置加热晶片表面。专利文献1:日本国特 ...
【技术保护点】
一种用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于,照射于被加热物表面的光并未相对于该被加热物表面垂直地进行照射。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.02 JP 2011-2649391.一种用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于, 照射于被加热物表面的光并未相对于该被加热物表面垂直地进行照射。2.一种用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于, 反射镜装置由一次反射镜及二次反射镜构成,使从光源放射的光依次被一次反射镜及二次反射镜反射而照射于被加热物,由该二次反射镜反射而照射于被加热物表面的光并未相对于该被加热物表面垂直地进行照射。3.一种聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于, 具有I个以上在内部设置有光源的反射镜装置, 该反射镜装置组合2个将旋转椭圆体的内面作为反射面的旋转椭圆体镜而成,使其中一个旋转椭圆体镜为一次反射镜,使另一个为二次反射镜, 将光源设置于一次反射镜,使光源位于一次反射镜的一个焦点,同时使设置于一次反射镜的开口部和设置 于二次反射镜的开口部相互连接,使另一个焦点位于与二次反射镜的一个焦点相同的位置,设置反射镜装置,使二次反射镜的另一个焦点位于放置在加热炉内的被加热物的被加热面的中心点,在二次反射镜的另一个焦点侧设置有可以朝向被加热面使光通过的开口部,使光照射于被加热面, 构成二次反射镜的椭圆的长轴并未相对于该被加热面垂直。4.一种聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于, 具有I个以上在内部设置有光源的反射镜装置, 该反射镜装置组合2个将旋转椭圆体的内面作为反射面的旋转椭圆体镜而成,使其中一个旋转椭圆体镜为一次反射镜,使另一个为二次反射镜, 将光源设置于一次反射镜,使光源位于一次反射镜的一个焦点,同时使设置于一次反射镜的开口部和设置于二次反射镜的开口部相互连接,使另一个焦点位于与二次反射镜的一个焦点相同的位置,设置反射镜装置,使二次反射镜的另一个焦点位于与放置在加热炉内的被加热物的被加热面的中心点不同的位置,在二次反射镜的另一个焦点侧设置有可以朝向被加热面使光通过的开口部,使光照射于被加热面, 构成二次反射镜的椭圆的长轴并未相对于该被加热面垂直。5.一种聚光镜方式加热炉,是通过反射镜装置反射从光源放射的光而照射于被加热物,用于加热被加热物的聚光镜方式加热炉,其特征在于, 具有I个以上在内部设置有光源的反射镜装置, 该反射镜装置组合2个将旋转椭圆体的内面作为反射面的旋转椭圆体镜而成,使其中一个旋转椭圆体镜为一次反射镜,使另一个为二次反射镜, 将光源设置于一次反射镜,使光源位于一次反射镜的一个焦点,同时使设置于一次反射镜的开口部和设置于二次反射镜的开口部相互连接,使另一个焦点位于与二次反射镜的一个焦点相同的位置,设置反射镜装置,使二次反射镜的另一个焦点位于经过放置在加热炉内的被加热物的被加热面的中心点的法线上,在二次反射镜的另一个焦点侧设置有可以朝向被加热面使光通过的开口部,使光照射于被加热面, 构成二次反射镜的椭圆体的长轴相对于该被加热面的该法线倾斜定位。6.根据权利要求3至5中任意一项所述的聚光镜方式加热炉,其特征在于,构成一次反射镜的椭圆的长径相对于短径的比为构成二次反射镜的椭圆的长径相对于短径的比以下。7.根据权利要求3至6中任意一项所述的聚光镜方式加热炉,其特征在于,连接一次反射镜和二次...
【专利技术属性】
技术研发人员:池田伸一,原史朗,三原孝则,羽深等,坤邦·索玛万,
申请(专利权)人:独立行政法人产业技术综合研究所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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