流量自动监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种流量自动监控装置，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；流量传感器用于感应流量计内浮子的高度；信号放大器用于放大流量传感器信号；电磁阀用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号；信号收集处理单元用于监控流量传感器和电磁阀的信号，在检测到流量异常时，触发互锁报警装置；互锁报警装置包括报警灯和互锁开关电路，用于在收到报警信号后，发出报警声，并停止硅片处理。本实用新型专利技术通过在流量计上加装光电传感器，监控流量计内浮子的高度，实现了对流量计流量的自动监控；同时在流量不足时自动报警，强制设备停止硅片处理，有效保障了产品的工艺品质。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
流量自动监控装置
本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及光刻区涂胶显影装置中所用药液的流量监控。
技术介绍
目前，在半导体制造领域，光刻区的涂胶显影装置中，大量使用光刻胶溶剂对硅片进行去边、背面清洗及对硅片表面进行润湿等处理。涂胶显影装置自身针对部分药液有流量监控功能，但如要追加其它药液的流量监控功能，需要修改涂胶显影装置本体的软件设置，费用比较昂贵(例如，对硅片表面进行润湿处理，由于是新开发的工艺，没有药液流量监控功能配置)。如果部分药液的流量计没有进行实时有效的监控，会影响产品的工艺品质。如去边的流量太小，无法完全去除硅片周边的光刻胶，并会产生毛刺或光刻胶残留等不良。又如对硅片表面进行润湿的流量不充分，会导致光刻胶不能完全覆盖到硅片表面，产生不良涂层。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种流量自动监控装置，它可以自动有效地监控药液流量计内浮子的变化，实现自动监控流量的功能。为解决上述技术问题，本技术的流量自动监控装置，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；其中:流量传感器，加装在药液流量计上，用于感应流量计内浮子的高度；信号放大器，与流量传感器连接，用于放大流量传感器输出的信号；电磁阀，连接在涂胶显影设备主机与气动阀之间，并与信号收集处理单元连接，用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号；信号收集处理单元，连接在信号放大器与涂胶显影设备主机之间，用于监控流量传感器的信号和电磁阀的信号，并进行计算比对，判定药液流量是否正常，并在检测到流量异常时，触发互锁报警装置；互锁报警装置，安装在涂胶显影设备主机上，包括报警灯和互锁开关电路，报警灯用于发出报警声，互锁开关电路用于在收到流量异常报警信号后，停止硅片处理。本技术通过在流量计上加装光电传感器，感应流量计内浮子的高度变化，实现了对药液流量计流量的自动有效监控，同时，在流量不足时的自动报警，强制设备停止硅片处理，有效地保障了产品的工艺品质。【附图说明】图1是流量自动监控装置的配置图。图2是信号收集处理单元的内部电气组件配置图。图3是互锁报警装置外观图。【具体实施方式】为对本技术的
技术实现思路
、特点与功效有更具体的了解，现结合图示的实施方式，详述如下:本实施例的流量自动监控装置参见图1所示，外接于涂胶显影装置，包括有流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置。所述流量传感器为光电传感器，加装在药液流量计上，用于感应流量计内浮子的上下动作。所述信号放大器与流量传感器连接，用于放大流量传感器输出的信号。所述电磁阀连接在涂胶显影设备主机与气动阀之间，并与信号收集处理单元连接，用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号。所述信号收集处理单元连接在信号放大器与涂胶显影设备主机之间，包括两个监控单元、控制模块、直流开关电源、面板显示模块和报警输出模块。两个监控单元分别用于监控电磁阀的信号(监控单元I)和流量传感器的信号(监控单元2)。所述控制模块用于对监控单元监控到的电磁阀和流量传感器的信号进行计算比对，判定药液流量是否正常。所述直流开关电源用于为所述控制模块供电。所述面板显示模块用于显示所述控制模块对药液流量正常与否的判定结果。所述报警输出模块用于在所述控制模块判定药液流量异常时，向涂胶显影设备输出报警信号。所述互锁报警装置包括报警灯和互锁开关电路。所述报警灯用于在收到所述信号收集处理单元的报警信号后，发出蜂鸣声报警。所述互锁开关电路用于在收到所述信号收集处理单元的报警信号后，停止硅片处理程序。以下对上述流量自动监控装置的工作方式进行详细地说明:启动涂胶显影设备,设备主机向电磁阀输出药液吐出信号，电磁阀一方面向气动阀提供药液吐出信号，另一方面向信号收集处理单元提供流量侦测启动信号，触发信号收集处理单元开始监控电磁阀和流量计的信号。气动阀收到药液吐出信号，开始将药液吸入管道，药液流经流量计，带动流量计内的浮子上、下动作。加装在流量计上的流量传感器不断地检测流量计内浮子的高度。当在一定的药液吐出时间内，流量传感器检知到流量计内浮子上升到了预先所设定的高度，则输出信号。信号放大器对流量传感器输出的信号加以放大后，传输给信号收集处理单元。信号收集处理单元收到流量传感器的信号，将流量判定为正常。反之，若在一定的药液吐出时间内，流量传感器未检知到流量计内的浮子上升到了预先所设定的高度，则流量传感器不输出信号，信号收集处理单元未收到流量传感器的信号，将流量判定为异常，并将流量异常信号输出给涂胶显影设备上的互锁报警装置，触发互锁开关电路，使涂胶显影设备强制停止硅片处理，同时报警灯发出报警蜂鸣声。本文档来自技高网...

【技术保护点】
流量自动监控装置，其特征在于，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；其中：流量传感器，加装在药液流量计上，用于感应流量计内浮子的高度；信号放大器，与流量传感器连接，用于放大流量传感器输出的信号；电磁阀，连接在涂胶显影设备主机与气动阀之间，并与信号收集处理单元连接，用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号；信号收集处理单元，连接在信号放大器与涂胶显影设备主机之间，用于监控流量传感器的信号和电磁阀的信号，并进行计算比对，判定药液流量是否正常，并在检测到流量异常时，触发互锁报警装置；互锁报警装置，安装在涂胶显影设备主机上，包括报警灯和互锁开关电路，报警灯用于发出报警声，互锁开关电路用于在收到流量异常报警信号后，停止硅片处理。

【技术特征摘要】
1.流量自动监控装置，其特征在于，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；其中: 流量传感器，加装在药液流量计上，用于感应流量计内浮子的高度； 信号放大器，与流量传感器连接，用于放大流量传感器输出的信号； 电磁阀，连接在涂胶显影设备主机与气动阀之间，并与信号收集处理单元连接，用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号； 信号收集处理单元，连接在信号放大器与涂胶显影设备主机之间，用于监控流量传感器的信号和电磁阀的信号，并进行计算比对，判定药液流量是否正常，并在检测到流量异常时，触发互锁报警装置； 互锁报警装置，安装在涂胶显影设备主机上，包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐哲峰，陈伯良，施建，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31