基于像素级模数转换的紫外焦平面读出电路制造技术

本专利公开一种基于像素级模数转换的紫外焦平面读出电路。紫外焦平面读出电路包括：前端电荷积分模块，用于对紫外探测器的微弱光生电流进行积分，实现电流到电压的转换；像素级模数转换模块，实现在像素内量化模拟电压，并锁存量化结果；行/列选择控制电路实现对焦平面上每一个单元的选择；感应放大器感应像素内量化结果，进行放大并送到输出总线；输出级缓冲器用于增大电路的输出驱动能力，把输出信号依次串行输出。本专利的读出电路，将紫外探测器信号直接转换成数字信号，通过减小模拟信号传输路径来降低噪声对信号的干扰，实现片上模数转换，有效提高了紫外焦平面芯片的信噪比，可以应用于微弱紫外信号的检测与成像。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于像素级模数转换的紫外焦平面读出电路，包括：集成在M行×N列像素阵列中的M行×N列像素单元电路模块、行选择控制电路模块、列选择控制电路模块、驱动信号模块、感应放大器和输出级缓冲器模块，其特征在于：所述的M行×N列像素单元电路模块中，每个单元电路由前端电荷积分模块和模数转换模块构成；同一列像素单元数字信号输出由行选择控制电路模块控制，连接在同一条列总线上，并与列共享感应放大器相连，感应放大器的输出经过控制晶体管连接到输出总线，然后通过输出级缓冲器连接输出端口，列选择控制电路模块的输出与控制晶体管相连，控制各列感应放大器的输出；所述的前端电荷积分模块包括复位晶体管、积分电容、运算放大器A1、...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐斌，袁永刚，李向阳，马丁，叶柏松，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31