一种平台清扫机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平台清扫机，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。本实用新型专利技术的平台清扫机可以高精确、智能化地对平台进行异物清理，可避免吹扫方式产生的二次污染。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种平台清扫机
本技术有关一种平台清扫机，特别是指一种用于对真空度、水氧环境有较高要求的内部作业平台的平台清扫机。
技术介绍
目前在半导体行业、机械制造产业等真空腔室内部或者一般设备内、外部，在生产过程中偶有碎屑产生，如:贴干燥片工序时干燥片碎屑，点胶工序产生的溢胶等，残留在封装片上；因整个作业过程是在真空环境下进行，不容易被发现，进行压合时会将这些异物带入压合平台，在压合时容易产生玻璃碎屑，从而降低封装压合良率。因此需要对平台进行清洁、清扫，业界内通常会使用气体吹扫的方式进行异物清理，但是使用气体吹扫的方式有很多条件限制，如使用环境、异物大小等，另外，气体吹扫方式有可能产生二次污染。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种使用方便、且可避免二次污染的平台清扫机。为达到上述目的，本技术提供一种平台清扫机，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。所述清扫机构包括设于所述平台上方的至少一个摇摆手臂及驱动该摇摆手臂平行于平台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平台清扫机，其特征在于，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。

【技术特征摘要】
1.一种平台清扫机，其特征在于，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。2.如权利要求1所述的平台清扫机，其特征在于，所述清扫机构包括设于所述平台上方的至少一个摇摆手臂及驱动该摇摆手臂平行于平台做钟摆运动的驱动件。3.如权利要求2所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述控制设备连接的气缸。4.如权利要求2所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述摇摆手臂连接的丝杠及驱动丝杆的电机。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴贵斌，
申请(专利权)人：昆山维信诺显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32