【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜设备的衬底基座
本技术属于真空镀膜
,具体为一种用于真空镀膜设备的衬底基座。
技术介绍
真空镀膜设备中,衬底的固定非常重要,但通常镀膜设备中自带的衬底基座只能固定具有一定面积或一定形状的衬底,且位置可变动性较小,对于面积比较小、数量比较多的衬底无法固定紧实,同时采用长距离垫片又紧固不牢,另一方面对于面积较大的衬底又覆盖太多,使衬底无法达到最大化利用。专利技术目的本技术的目的在于提出一种简单实用的用于真空镀膜设备的衬底基座。本技术提出的一种真空镀膜设备的衬底基座,是由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成。该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成;衬底面板的沟槽轨道至少有两条,且轨道之间的距离至少为3 cm,沟槽轨道的宽度能容下螺丝,且螺丝杆可以在沟槽中自由移动,螺丝杆与螺母配合,螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。进一步说,所述的沟槽轨道为直线轨道或圆型轨道。进一步说,所述的金属薄垫片用来固定衬底样品,呈叶片状。进一步说,所述的螺丝杆设置有用来增加松紧度的中间有孔的圆形或方形垫片。本技术的有益效果:本技术可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定,简单方便,尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力,具有很好的实用性。【附图说明】图1本技术的一种用于真空镀膜设备的圆形衬底基座示意图。图2本技术的一种用于真空镀膜设备的方形衬底基座示意图。【具体实施方式】下面结合附图对本技术进一步描述:本技术由带沟槽的衬底面板、螺丝螺母和金属薄垫片组成。衬底面板的沟槽轨道至少有两条,可以是平行的直线轨道,也 ...
【技术保护点】
一种用于真空镀膜设备的衬底基座,其特征在于:该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成;衬底面板的沟槽轨道至少有两条,且轨道之间的距离至少为3 cm,沟槽轨道的宽度能容下螺丝,且螺丝杆可以在沟槽中自由移动,螺丝杆与螺母配合,螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜设备的衬底基座,其特征在于:该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成; 衬底面板的沟槽轨道至少有两条,且轨道之间的距离至少为3 Cm,沟槽轨道的宽度能容下螺丝,且螺丝杆可以在沟槽中自由移动,螺丝杆与螺母配合,螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。