【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有纳米微腔结构的金属银薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）将金属银靶和玻璃基片分别放入清洁装置中浸泡清洗，去除去除金属银靶和玻璃基片表面的油污；2）将基片放入直流溅射沉积系统中，控制直流溅射沉积系统工作功率、预溅时间、薄膜沉积时间，将金属银均匀的沉积在玻璃基底表面，从而在玻璃表面形成一层均匀的金属银薄膜，将沉积好的银薄膜取出备用；3）将金属银薄膜放入离子束刻蚀系统，设定系统电流、电压，以及离子束轰击金属银薄膜的表面角度、轰击时间后，进行轰击，形成表面具有纳米微腔结构的金属银薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁亮亮，洪瑞金，脱文刚，宋晓，张大伟，陶春先，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。