用于形成微型喷射装置的厚薄膜层的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于形成微型喷射装置的厚薄膜层的方法，包括在基体上形成薄薄膜层，无需附加的热处理过程，再在所述薄薄膜层上形成厚薄膜层，对顺序形成在所述基体上的薄薄膜层和厚薄膜层同时进行热处理，从而形成了单一的厚薄膜层。单一的厚薄膜层是由连续的没有受到热处理影响的涂敷过程形成的，因此消除了分层线。由此可显著提高厚薄膜层的使用寿命。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微型喷射装置和喷墨打印头，特别涉及一种在微型喷射装置的制作中形成厚薄膜层的方法。微型喷射装置通常是指一种为打印纸、人体或机动车提供预定量液体(诸如油墨、药液或石油产品)的装置，在该装置中所采用的方法是将预定量的电能或热能施加到上述液体中以使所述液体发生体积上的变化。这种方法能够将预定量的液体施加于一个特定的物体上。近年来，电子技术的进步使得这种微型喷射装置得以迅猛的发展。因此，微型喷射装置已广泛地用于人们的日常生活中。日常使用的微型喷射装置的一个例子是喷墨打印机。喷墨打印机是微型喷射装置中的一种形式，其不同于传统的点式打印机的地方在于通过使用墨盒能够以各种颜色实现印刷工作。与传统的点式打印机相比，喷墨打印机的另外的优点是噪声低、印刷质量有所提高。因此，喷墨打印机已获得极大的普及。喷墨打印机通常包括打印头，在这样的喷墨打印头中，通过接入或断开从外部装置所施加的电信号使最初处于液态的油墨转变成气泡状态。然后，呈气泡状态的油墨膨胀并被喷出，从而实现在打印纸上的打印操作。下面几篇美国专利文献描述了现有技术的几种喷墨打印头的结构和操作。授予Vaught等人的、题目为“热喷墨打印机”的美国专利No.4,490,728描述了一种基本的打印头。授予Aden等人的、题目为“用于喷墨打印头的薄膜装置以及用于制造该装置的方法”的美国专利No.4,809,428以及授予Komuro的、题目为“用于喷液记录头的基底的制造方法和由这种方法所制造的基底”的美国专利No.5,140,345描述了喷墨打印头的制造方法。授予Johnson等人的，题目为“用于喷墨打印头高温操作的油墨通道几何结构”的美国专利No.5,274,400描述了改变油墨供给通道的尺寸以设置流阻的方法。授予Keefe等人的、题目为“喷墨打印头”的美国专利No.5,420,627描述了一种特别的打印头设计形式。在这样一种传统的喷墨打印头中，例如，通常使用例如油墨或工作液体的化学物质进行打印操作。为此，用于储放化学物质的腔室区域安装在所述打印头中。因此，用于限定腔室区域的厚薄膜层形成在构成打印头的基体上。另外，化学物质(诸如油墨或工作液体)稳定地储放在由厚薄膜层所限定的腔室区域中。厚薄膜层的厚度通常为10微米或更厚，这样所述腔室区就具有足够的深度和容积，而且所述厚薄膜层是由有机物质制成的，以便获得对于油墨或工作液体的化学稳定性。在现有技术中，由有机材料制成的、具有预定厚度的薄膜层是通过旋转涂敷(spin-coating)制造的，然后对所述有机物质层进行干燥处理和热处理。从而，使基本的薄薄膜层形成在保护膜上，而所述保护膜形成在基体上。接着，重复上述用于形成薄薄膜层的过程使多个薄薄膜层连续地形成在所述基本的薄薄膜层上。例如，为了使厚薄膜层的厚度达到10微米，需要进行十次用于形成厚度为1微米的薄薄膜层的过程。因此，对于每一个重复进行的用于形成薄薄膜层的过程，都需要进行干燥处理和热处理的步骤。当多次重复这种用于形成薄薄膜层的过程时，多个所述薄薄膜层沉积下来形成多层薄膜。这样，可获得具有所需厚度的厚薄膜层，且所完成的厚薄膜层被牢固地组装到打印头的相应位置处。但是，这样一种用于形成喷墨打印头的厚薄膜层的传统方法存在几个严重的问题。如上所述，通过重复进行用于形成薄薄膜层的过程来沉积出多个薄薄膜层而获得传统的厚薄膜层。这里，构成厚薄膜层的多个薄薄膜层在相邻的薄膜层之间的界面处都形成了明显的分层线。在将所述厚薄膜层组装到打印头的特定结构的过程中，所述分层线会保留下来，这会降低打印头的使用寿命。另外，在现有技术中，为了形成厚薄膜层，必须重复进行干燥处理和热处理步骤。这将会增加制作所述装置所需的总体时间。另外，在厚薄膜层的形成过程中，由于用于形成每薄薄膜层的步骤不可能同时进行，因此，形成厚度均匀的多个薄薄膜层是非常困难的。另一个问题是，杂质(例如微粒)可能会影响用于形成所述薄薄膜层的过程。从而，大大地降低了打印头的整体性能。因此，本专利技术的目的在于提供一种用于制作微型喷射装置的改进方法。本专利技术的另一目的在于提供一种用于制作微型喷射装置的方法，该方法能够制作出装置中的改进的厚薄膜层。本专利技术的又一目的在于提供一种能够制作厚度均匀的厚薄膜层的方法。本专利技术的又一目的在于提供一种能够消除在厚薄膜中层与层之间的分层线的方法。本专利技术的又一目的在于提供一种能够防止杂质进入到厚薄膜层中的方法。本专利技术的又一目的在于提供一种用于制作微型喷射装置并能够缩短制作时间的的方法。为了达到上述目的和其它优点，在本专利技术中，将有机物质(例如由聚酰亚胺制成的液体)沉积在基体上(所述基体上形成有保护膜)，并以较高的转速旋转所述基体，例如，转速在450rpm至550rpm范围内。这样，将厚度大约为0.5微米至5微米的薄薄膜层形成在所述保护膜上。接着，无需进行热处理，将有机物质再沉积在所制成的薄膜上，并以较低的转速旋转其上形成有所述薄薄膜层的基体，例如，转速在20rpm至40rpm范围内。这样，厚度大约在18微米至22微米范围内的厚薄膜层形成在保护膜上。接着，对所述基体上的薄薄膜层和厚薄膜层同时进行热处理，从而形成了单一的、复合的厚薄膜层(single，combined thick film layer)。这里，所述单一的厚薄膜层是由一系列的涂敷方法形成的且没有受到热处理影响，因此消除了分层线。由此可显著地提高厚薄膜层的总体使用寿命。为了便于人们能够充分地理解本专利技术以及认识本专利技术所带来的各种优点，下面将参照附图对本专利技术进行详细的描述，在附图中，相同或相似的部件用相同的附图标记表示，附图中附图说明图1A至图1D是示出了本专利技术的用于形成喷墨打印头的厚薄膜层的方法的视图；图2是示出采用了本专利技术的厚薄膜的组件的局部透视图；以及图3是沿图2的I-I线所截得的剖视图，示出了采用本专利技术的厚薄膜层的喷墨打印头。下面参照附图通过优选实施例对本专利技术进行详细的描述。由于本说明书中所涉及的术语是根据本专利技术的功能进行限定的，所以根据技术人员的意愿或惯用的方式可改变这些术语，且这些术语应该根据本专利技术说明书的总体内容来限定。如图1A中所示，在第一步骤中，利用沉积装置100将由有机物质所制成的液体沉积在硅-基体1上，所述液体最好是含有聚酰亚胺的溶液，在所述硅-基体1上形成有由二氧化硅制成的保护膜，利用旋转台(未示出)使基体1沿箭头110所示方向旋转。基体1可沿着箭头110所示方向旋转或沿着与箭头110所示方向相反的方向旋转。这样，第一有机液体层31’形成在基体1的保护膜2上。聚酰亚胺液体的粘度系数最好为1.03厘泊。另外，基体1在上述第一步骤中以较高的转动速度旋转，转速最好在450rpm至550rpm的范围内，旋转时间在35秒至45秒的范围内。如果基体1以上述较高的转速旋转，那么通过沉积装置100沉积在基体1上的聚酰亚胺液体在离心力的作用下可散布在整个基体1上。这样，形成在基体1的保护膜2上的所述第一有机液体层31′的厚度比较均匀。优选的是，所述第一有机液体层31′的厚度在0.5微米至5微米的范围内，更优选的是在1微米至2微米的范围内。在第二步骤中，如图1B中所示，利用沉积装置100将由有机物质制成的液体沉积在所述第一有机液体层31′本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于形成微型喷射装置的厚薄膜层的方法，包括下列步骤：第一步骤，将第一数量的有机液体沉积在形成于基体上的保护膜上，并以第一转速旋转所述基底，从而形成第一有机液体层；第二步骤，将第二数量的有机液体沉积在所述第一有机液体层上，并以慢于 所述第一转速的第二转速旋转所述基体，从而形成了第二有机液体层；对所述第一有机液体层和第二有机液体层进行干燥处理和热处理以形成复合的厚薄膜层；对所述复合的厚薄膜层进行蚀刻以部分地露出所述保护膜，从而限定腔室区域；和将所述复合的厚薄 膜层从所述基体上分离下来。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安秉善，朱科夫A阿莱克桑德罗维奇，达尼夫B尼科莱维奇，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]