【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微型喷射装置,包括:基体;设置在所述基体上的保护膜;形成在所述保护膜上的加热电阻;与所述加热电阻的边缘相接触的电极层,所述电极层用于将电能提供给所述加热电阻;形成在所述加热电阻和保护膜上的加热腔室阻挡层,所述加热腔室 阻挡层限定了与所述加热电阻对齐的加热腔室,所述加热腔室用于容纳工作液体;形成在所述加热腔室阻挡层上并跨过所述加热腔室的隔膜,所述隔膜包括:由第一种聚酰亚胺成分制成的第一有机薄膜层,所述第一有机薄膜层形成在所述加热腔室阻挡层上并跨过所 述加热腔室;和由第二种聚酰亚胺成分制成的第二有机薄膜层,所述第二种聚酰亚胺成分的化学结构与所述第一种聚酰亚胺成分不同,所述第二有机薄膜层形成在所述第一有机薄膜层上;由所述第一种聚合物成分制成的液体腔室阻挡层,所述液体腔室阻挡层形成在 所述第二有机薄膜层上,所述液体腔室阻挡层限定了与所述加热腔室对齐的液体腔室;和形成在所述液体腔室阻挡层上的喷嘴板,所述喷嘴板具有与所述液体腔室对齐的喷嘴。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:安秉善,朱科夫A阿莱克桑德罗维奇,达尼夫B尼科莱维奇,
申请(专利权)人:三星电子株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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