【技术实现步骤摘要】
—种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法
本专利技术属于微机电系统(MEMS)热管的制造和封装领域,涉及一种MEMS热管的工质灌注与封装方法。
技术介绍
MEMS热管作为一种新型的传热装置,可将IC器件、LED器件中的点热源快速传导为面热源,再与后续的热沉等连用,形成高效的散热结构。Kang等人研究发现,真空度是影响微热管性能的重要因素【Kang S W,et al.Metallic micro heat pipe heat spreaderfabrication, 2004】,真空度越高,热管内的不凝性气体减少,热管的导热性能就越好。【谢添锦等,微沟槽热管传热性能试验研究,机械设计与制造】,此外,提高真空度还能够降低微热管两端温差,优化等温性能【胡忠海等,真空度对微热管性能影响的实验研究,现代制造工程,2013】。MEMS热管内的容积有限,通常体积在几十到几百微升。而现有的工质灌注方法通常针对微热管而言,热管容积可以达到几毫升甚至十几毫升以上,【陆龙生等,微热管的灌注抽真空制造技术,机械工程学报,2009】,因此对灌注系统的精度要求高。所以,其工质的灌注量和热管内真空度的保持直接影响了 MEMS热管的传热性能,工质的灌注与封装成为MEMS热管制造的关键技术。为了保证MEMS热管内处于特定真空环境,工质的灌注不能破坏其真空度,进一步提高了灌注和封装的难度。因此,在MEMS热管的制造过程中,必须合理确定灌注方法和工艺流程,搭建灌注与封装装置,保证MEMS热管内的高真空度和精准的工质灌注比。
技术实现思路
本专利技术是针对微小型的MEMS热管, ...
【技术保护点】
一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置,包括真空泵、微量进样器、进样器长针、液封、软橡胶密封塞、三通、玻璃管、MEMS热管、阀和真空计;其特征在于,三通的一端是加工成倒锥形接头,称为倒锥形端,便于放置软橡胶密封塞;三通的另一端与倒锥形端保证同轴,加工成宝塔形接头,称为宝塔形端;第三端的最后一端,称为位置任意端;真空泵通过胶管连接阀,再连接三通的位置任意端;在真空泵与阀之间有真空计,MEMS热管与玻璃管连接,玻璃管通过胶管与三通的宝塔形端;三通的倒锥形端内部用软橡胶密封塞,在软橡胶密封塞的上部加液封,微量进样器与进样器长针通过卡扣连在一起,进样器长针在灌注工质时先后穿过液封和软橡胶密封塞沿三通和玻璃管到达MEMS热管空腔。
【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置,包括真空泵、微量进样器、进样器长针、液封、软橡胶密封塞、三通、玻璃管、MEMS热管、阀和真空计;其特征在于,三通的一端是加工成倒锥形接头,称为倒锥形端,便于放置软橡胶密封塞;三通的另一端与倒锥形端保证同轴,加工成宝塔形接头,称为宝塔形端;第三端的最后一端,称为位置任意端;真空泵通过胶管连接阀,再连接三通的位置任意端;在真空泵与阀之间有真空计,MEMS热管与玻璃管连接,玻璃管通过胶管与三通的宝塔形端;三通的倒锥形端内部用软橡胶密封塞,在软橡胶密封塞的上部加液封,微量进样器与进样器长针通过卡扣连在一起,进样器长针在...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗怡,王晓东,刘刚,李聪明,刘继光,
申请(专利权)人:大连理工大学,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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