成膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种成膜装置。该成膜装置能够将所涂覆的膜准确地形成于基材。该成膜装置包括载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构，载物台用于放置基材；涂覆构件包括泵和与泵相连的喷嘴；涂覆构件以喷嘴对着载物台的方式支承在支架上，并能够在支架上调整位置；位移计用于检测喷嘴与从喷嘴涂覆于基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定膜的厚度；膜厚控制机构用于控制所涂覆的膜的厚度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本技术涉及一种成膜装置，详细地说涉及一种用于将清漆涂覆在基材上来形成膜的成膜装置。
技术介绍
以往，公知有各种用于将含有树脂的清漆涂覆在基材上来形成膜的装置。例如，提出有一种缝模涂覆装置，该缝模涂覆装置具有形成有用于向涂覆基材供给涂覆液的狭缝的缝模，狭缝与涂覆基材相对，与涂覆基材相对的狭缝的剖面形成为在其两端部相对地抑制涂覆液的供给的形状(例如，参照下述专利文献I)。在专利文献I的缝模涂覆装置中，在清漆为非牛顿流体的情况、或清漆与要被涂覆清漆的基材之间的亲和性较低的情况下，能够有效地抑制所涂覆的膜(涂膜)的两端部比中央部隆起的隆起部分的产生。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004 - 305955号公报但是，在专利文献I所记载的缝模涂覆装置中，有时不能够将膜准确地形成于基材。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够将所涂覆的膜准确地形成于基材的成膜装置。本技术的成膜装置的特征在于，包括:载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构，所述载物台用于放置基材；所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴；所述涂覆构件以所述喷嘴对着所述载物台的方式支承在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置；所述位移计用于检测所述喷嘴与从所述喷嘴涂覆于所述基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定所述膜的厚度；所述膜厚控制机构用于控制所涂覆的所述膜的厚度。根据该成膜装置，能够利用位移计检测喷嘴与从喷嘴涂覆于基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定膜的膜厚，并能够根据该距离和/或膜厚在支架上调整涂覆构件的位置，并且能够利用膜厚控制机构控制所涂覆的膜的厚度。因此，能够将所涂覆的膜准确地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述位移计为激光位移计。根据该成膜装置，能够利用激光位移计更准确地检测喷嘴与从喷嘴涂覆于基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定膜的膜厚，而且，能够在线检测、即连续地检测刚涂覆后的膜。另外，优选的是，本技术的成膜装置还包括:标记形成装置，其用于在所述基材上形成对准标记；以及对准装置，其用于根据所述对准标记进行对准。根据该成膜装置，能够利用对准装置根据对准标记将喷嘴对准基材。因此，能够将所涂覆的膜更准确地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述标记形成装置为冲头，所述冲头冲压所述基材形成所述对准标记；所述对准装置为照相机。根据该成膜装置，能够利用标记形成装置简单地形成对准标记，并根据该对准标记，利用对准装置简单地将喷嘴对准基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述对准标记形成在所述基材的沿涂覆方向的两侧。根据该成膜装置，能够根据对准标记高精度地调整膜的涂覆方向的长度。另外，优选的是，本技术的成膜装置还包括测向装置，用于确认所述喷嘴的运行方向。根据该成膜装置，能够利用测向装置检测喷嘴的运行方向，因此能够准确地调整喷嘴相对于基材的涂覆方向。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述测向装置为照相机。根据该成膜装置，能够利用照相机简单地检测喷嘴的运行方向。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述载物台为吸附式载物台。根据该成膜装置，如果在吸附式载物台上放置基材，并使吸附式载物台运行，则能够将基材可靠地固定于吸附式载物台。因此，能够将膜进一步准确地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述载物台的平坦度在1500mm的涂覆行程中保持在50 μ m以下。根据该成膜装置，由于载物台的平坦度为上述上限以下，因此能够将喷嘴准确地相对于基材配置，由此，能够将膜高精度地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述泵为蛇形泵，所述混合器为静态混合器。根据该成膜装置，能够利用作为蛇形泵的泵向混合器定量地供给用于构成膜的清漆，并且能够利用作为静态混合器的混合器静态地进行搅拌。因此，能够高精度地形成膜。另外，本技术的成膜装置的特征在于，包括:载物台、支架、涂覆构件、标记形成装置以及对准装置，其中，所述载物台用于放置基材；所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴，所述涂覆构件以喷嘴对着所述载物台的方式设置在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置；所述标记形成装置用于在所述基材上形成对准标记；所述对准装置用于根据所述对准标记进行对准。根据该成膜装置，能够利用标记形成装置在基材上形成对准标记，能够一边调整涂覆构件的位置，一边利用对准装置根据对准标记将喷嘴对准基材。因此，能够将所涂覆的膜准确地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述标记形成装置为冲头，所述冲头冲压所述基材形成所述对准标记；所述对准装置为照相机。根据该成膜装置，能够利用标记形成装置简单地形成对准标记，并根据该对准标记，利用对准装置简单地将喷嘴对准基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述对准标记形成在所述基材的沿涂覆方向的两侧。根据该成膜装置，能够根据对准标记高精度地调整膜的涂覆方向的长度。另外，优选的是，本技术的成膜装置还包括测向装置，用于确认所述喷嘴的运行方向。根据该成膜装置，由于能够利用测向装置检测喷嘴的运行方向，因此能够准确地调整喷嘴相对于基材的涂覆方向。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述测向装置为照相机。根据该成膜装置，能够利用照相机简单地检测喷嘴的运行方向。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述载物台为吸附式载物台。根据该成膜装置，如果在吸附式载物台上放置基材，并使吸附式载物台运行，则能够将基材可靠地固定于吸附式载物台。因此，能够将膜进一步准确地形成于基材。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述载物台的平坦度在1500mm的涂覆行程中保持在50 μ m以下。根据该成膜装置，由于载物台的平坦度为上述上限以下，因此能够将喷嘴准确地相对于基材配置，由此，能够将膜高精度地形成于基材。另外，优选的是，本技术的成膜装置还包括夹设于所述泵与所述喷嘴之间的混合器。根据该成膜装置，能够利用混合器有效地对从泵向喷嘴送出的、用于构成膜的清漆进行搅拌。另外，在本技术的成膜装置中，优选的是，所述泵为蛇形泵，所述混合器为静态混合器。根据该成膜装置，能够利用作为蛇形泵的泵向混合器定量地供给用于构成膜的清漆，并且能够利用作为静态混合器的混合器静态地进行搅拌。因此，能够高精度地形成膜。根据本技术的成膜装置，能够将所涂覆的膜准确地形成于基材。【附图说明】图1表示具有本技术的成膜装置的一实施方式的片材制造装置的立体图。图2是图1所示的片材制造装置的成膜装置的立体图，表示成膜准备工序。图3是图1所示的片材制造装置的成膜装置的立体图，表示成膜处理工序。图4表示图3所示的片材制造装置的涂覆构件的立体图。图5表示图4所示的涂覆构件的俯视图。图6表示图5所示的涂覆构件的静态混合器的局部缺口主视图。图7表示图1的片材制造装置的脱泡区域的剖视图。图8表示图1的片材制造装置的加热区域的剖视图。图9表示图1的片材制造装置的冷却区域的剖视图。图10表示图4所示的成膜装置的成膜处理工序的侧剖视图。图11表示图4所示的成膜装置的成膜处理工序的主视剖视图。附图标记说明3、成膜部；7、脱模基材；11、载置台；12、支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其特征在于，包括：载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构；所述载物台用于放置基材；所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴；所述涂覆构件以所述喷嘴对着所述载物台的方式支承在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置；所述位移计用于检测所述喷嘴与从所述喷嘴涂覆于所述基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定所述膜的厚度；所述膜厚控制机构用于控制所涂覆的所述膜的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，其特征在于，包括: 载物台、支架、涂覆构件、位移计以及膜厚控制机构； 所述载物台用于放置基材； 所述涂覆构件包括泵和与所述泵相连的喷嘴； 所述涂覆构件以所述喷嘴对着所述载物台的方式支承在所述支架上，并能够在所述支架上调整位置； 所述位移计用于检测所述喷嘴与从所述喷嘴涂覆于所述基材的膜的被涂覆面之间的距离，和/或测定所述膜的厚度； 所述膜厚控制机构用于控制所涂覆的所述膜的厚度。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述位移计为激光位移计。3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括: 标记形成装置，其用于在所述基材上形成对准标记；以及 对准装置，其用于根据所述对准标记进行对准。4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，所述标记形成装置为冲头，所述冲头冲压所述基材形成所述对 准标记； 所述对准装置为照相机。5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于， 所述对准标记形成在所述基材的沿涂覆方向的两侧。6.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括测向装置，用于确认所述喷嘴的运行方向。7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，所述测向装置为照相机。8.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台为吸附式载物台。9.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述载物台的平坦度在1500_的涂覆行程中保持在50 μ m以下。10.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：塚原大祐，鹈饲贵司，西胁谦一郎，长滨利一，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP