用于构建大探测器的无缝铺排制造技术

本发明专利技术涉及用于为具有连续像素阵列的无缝探测器表面提供探测器组片的探测器组片、探测器面板布置、X射线探测器、X射线成像系统和方法。为了构建具有更小间隙外观的大面积探测器，提供了一种探测器组片(30)，其具有扁平主基板(32)和具有电路布置(36)的表面层(34)。表面层被布置于主基板的前侧(38)上，覆盖主基板。电路布置包括提供像素阵列(42)的若干探测器像素(40)，其中，至少在所述探测器组片的一个边缘处，至少一个连接开口(44)被提供于所述表面层和所述扁平主基板中，所述连接开口从所述表面层通往所述基板的后部，用于在所述探测器组片的前侧和后部之间引导电连接元件。在所述探测器组片的所有四周边缘处，所述表面层至少包括具有像素的部分(46)，所述部分延伸到所述边缘。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于构建大探测器的无缝铺排
本专利技术涉及用于为具有连续像素阵列的无缝探测器表面提供探测器组片的探测器组片、探测器面板布置、X射线探测器、X射线成像系统和方法。
技术介绍
为了创建大面积的探测器，例如大面积的X射线探测器，将若干探测器组片组合起来。例如，WO2010/058335A2描述了多组片探测器的对准。为了从每个组片的活性正面到背面形成电连接，可能将组片提供为彼此之间存在距离，导致沿着个体组片之间的相邻侧的或多或少贯通的线性间隙。然而，这样的间隙阻碍了连续的探测器表面。相反，间隙引起了整个探测器表面内的线结构。因此，例如，在医学应用中，间隙是不可接受的。
技术实现思路
可能存在对提供探测器组片以构建间隙外观减小的大面积探测器的需求。本专利技术的目的是由独立权利要求的主题解决的，其中，在从属权利要求中并入了进一步的实施例。应当指出，以下描述的本专利技术的方面也适用于用于为具有连续像素阵列的无缝探测器表面提供探测器组片的探测器组片、探测器面板布置、X射线探测器、X射线成像系统和方法。根据本专利技术的第一方面，提供了一种探测器组片，包括扁平主基板和具有电路布置的表面层。表面层被布置于主基板的前侧上，覆盖主基板。电路布置包括提供像素阵列的若干探测器像素。至少在所述探测器组片的一个边缘处，至少一个连接开口被提供于所述表面层和所述扁平主基板中，所述连接开口从所述表面层通往所述基板的后部，用于在所述探测器组片的前侧和后部之间引导电连接元件。在所述探测器组片的所有四周边缘处，所述表面层至少包括具有像素的部分，所述部分延伸到所述边缘。例如，探测器组片是用于X射线探测器的组片。根据另一范例，探测器组片例如是用于可见光范围或红外线范围中电磁波的照相机传感器的组片。术语“基板后部”是指基板后方的区域，即体积，不仅仅指基板自身的实际后侧。可以将连接开口提供为切口，例如狭槽、凹槽或狭缝，其中，提供的开口可以具有不同的开口率，例如宽或窄槽，还具有不同深度。根据范例，沿基板的一个边缘提供若干连接开口，其中，连接开口在探测器边缘方向上具有开口宽度，并且其中，以一定距离布置连接开口，该距离至少等于开口宽度。根据另一示范性实施例,在所述基板的一个边缘上提供第一数量的第一连接开口，在所述基板的相对的边缘上提供至少第二数量的第二连接开口；为所述第一数量提供第一偏移且为所述第二数量提供第二偏移；其中，所述第一偏移和所述第二偏移被布置为使得在投影到彼此之上时，第一和第二连接开口是交替的。例如，在基板的另一边缘上(例如第三边缘上)提供另一数量(例如第三数量)的其他连接开口，在基板的另一相对的边缘上(例如第四边缘上)提供至少一个其他数量(例如第四数量)的更多连接开口。根据另一示范性实施例，在第二基板布置上提供周边电子器件，其中，所述第二基板布置被布置于所述探测器组片的后部上。作为电连接元件，至少一个连接线路被提供为包括连接所述表面层上的所述电路布置与所述周边电子器件的若干电引线。所述至少一个连接线路通过至少一个连接开口引导。例如，第二基板布置可以包括一个或多个第二基板元件，例如2、3、4或更多元件。根据另一示范性实施例，至少在探测器组片的两侧上提供若干连接开口，其中，连接开口被布置为使得探测器组片可以在至少三侧，优选所有侧上毗连，以提供无缝探测器表面。根据另一示范性实施例，为所述像素阵列被提供有探测器组片网格；并且其中，沿所述探测器组片至少一侧布置的边缘像素在横向于边缘的方向上被提供有更小的尺寸，使得探测器组片的最外边缘被布置于所述像素的相应网格区域之内。这样允许彼此毗连地布置探测器组片，但仍然提供了连续的总体像素网格。根据本专利技术的第二方面，提供了一种探测器面板布置，所述探测器面板布置包括至少两个根据上述范例的探测器组片。在公共平面中彼此毗连地布置探测器组片，使得为无缝探测器表面提供连续像素阵列，其中，所述连续像素阵列仅被所述连接开口部分地中断。根据本专利技术的第三方面，提供了一种X射线探测器，其包括根据上述范例的探测器面板布置以及探测器面板前面的X射线转换层。X射线转换层被配置为在被X射线辐照时向探测器面板提供信号。所述信号适于电激活探测器组片表面层中的像素。根据示范性实施例，所述X射线转换层是直接转换型的，其中，对于表面的每个像素，X射线辐射被转换为电信号供应给相应像素。根据另一示范性实施例，所述X射线转换层是闪烁体类型的，其中，所述像素阵列中的像素均包括光感测元件，用于探测由X射线影响在闪烁体层中生成的光。根据本专利技术的第四方面，提供了一种X射线成像系统，包括X射线源，根据上述范例之一的X射线探测器以及处理单元。所述处理单元被配置为至少校正所述连续像素阵列的连接开口区域中丢失的图像信息。根据本专利技术的第五方面，提供了一种用于为具有连续像素阵列的无缝探测器表面提供探测器组片的方法，包括如下步骤：a)提供晶片，所述晶片包括扁平主基板和具有电路的表面层，所述晶片包括具有电路布置的第一部分和具有周边电子器件的至少一个第二部分，所述第一部分包括在表面层上提供像素阵列的若干探测器像素，其中，由至少一个中间部分将第一部分与至少一个第二部分分开。b)形成至少一个包括若干电引线的连接线路的图样化层，所述电引线将具有像素所述电路布置与周边电子器件相连接，其中，所述图样化层形成于桥接所述中间部分的晶片的前表面上。c)移除所述至少一个中间部分中的晶片材料。d)移除所述第一部分的晶片材料，使得在所述探测器组片至少一个边缘处，至少一个连接开口被提供于所述表面层和所述扁平主基板中，所述连接开口从所述表面层通往基板后部，用于在所述像素和所述周边电子器件之间引导电引线。e)将所述至少一个具有周边电子器件的第二部分移动到所述晶片后部，其中，所述至少一个连接线路被引导通过至少一个连接开口。根据本专利技术的一个方面，提供了一种探测器组片，其中，沿边缘提供沟道状开口，以接收线路，所述线路被提供为连接探测器组片的前侧，即包括像素阵列的电路布置与探测器组片后部上的电子线路和其他连接。于是，根据本专利技术通过毗连若干原始探测器组片可能实现连续探测器表面或探测器区域，其中，探测器组片的像素阵列形成大的像素区域，其能够提供连续图像信息，除了提供开口的位置。于是，避免了相邻探测器组片之间任何种类的间隙。通过以交替的方式提供开口，可以将像素被开口替换的区域减小到最小，使得能够通过校正算法容易地替代缺失的图像数据。根据本专利技术的又一方面，通过提供若干连接位置，即若干连接开口，可以提供若干小尺寸的引线束，使得在最优情况下，仅有一个像素被用于连接开口。根据本专利技术的再一方面，连接线路被提供为柔性结构，使得可以在通用制造流程中提供探测器组片基板层上的电路布置以及电路布置所需的周边电子器件，其中，电连接像铰链那样工作，利用其将周边电子器件附着于探测器组片自身。参考下文描述的实施例，本专利技术的这些和其他方面将变得显而易见，并将参考下文描述的实施例进行阐述。附图说明下面将参考以下附图在下文中描述本专利技术的示范性实施例：图1图示了根据本专利技术示范性实施例的X射线成像系统。图2示意性图示了根据本专利技术示范性实施例的探测器组片。图3示出了根据本专利技术的探测器组片的另一个范例。图4示出了根据本专利技术的探测器组片的另一个示范性实施例。图5示出了探测器面板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探测器组片(30)，包括：‑扁平主基板(32)；‑具有电路布置(36)的表面层(34)；其中，所述表面层被布置于所述主基板的前侧(38)，覆盖所述主基板；并且其中，所述电路布置包括提供像素阵列(42)的若干探测器像素(40)；其中，至少在所述探测器组片的一个边缘处，至少一个连接开口(44)被提供于所述表面层和所述扁平主基板中，所述连接开口从所述表面层通往所述基板的后部，用于在所述探测器组片的前侧与后部之间引导电连接元件；并且其中，在所述探测器组片的所有四周边缘处，所述表面层至少包括具有像素的部分(46)，所述部分延伸到所述边缘。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.08 US 61/556,8701.一种探测器组片(30)，包括：-扁平主基板(32)；-具有电路布置(36)的表面层(34)；其中，所述表面层被布置于所述主基板的前侧(38)，覆盖所述主基板；并且其中，所述电路布置包括提供像素阵列(42)的若干探测器像素(40)；其中，至少在所述探测器组片的一个边缘处，至少一个连接开口(44)被提供于所述表面层和所述扁平主基板中，所述连接开口从所述表面层通往所述基板的后部，用于在所述探测器组片的前侧与后部之间引导电连接元件；并且其中，在所述探测器组片的所有四周边缘处，所述表面层至少包括具有像素的部分(46)，所述部分延伸到所述边缘；其中，至少第一数量(54)的第一连接开口(56)被提供于所述基板的一个边缘(52)上，并且至少第二数量(58)的第二连接开口(60)被提供于所述基板的相对的边缘(62)上；其中，所述第一数量的第一连接开口(56)被提供有第一偏移(64)并且所述第二数量的第二连接开口(60)被提供有第二偏移(48)；其中，所述第一偏移和所述第二偏移被布置为使得在投影到彼此之上时，第一连接开口和第二连接开口是交替的。2.根据权利要求1所述的探测器组片，其中，所述至少一个连接开口用掉单个像素的面积。3.根据权利要求1或2所述的探测器组片，其中，周边电子器件(65)被提供于第二基板布置(66)上；其中，所述第二基板布置被布置于所述探测器组片的后部；其中，作为电连接元件，至少一个连接线路(68)被提供为包括连接所述表面层上的电路布置和所述周边电子器件的若干电引线(70)；其中，所述至少一个连接线路被引导通过所述至少一个连接开口。4.根据权利要求1或2所述的探测器组片，其中，若干连接开口被至少提供于所述探测器组片的两侧上；其中，所述连接开口被布置为使得所述探测器组片能够在至少三个侧面毗连，以提供无缝的探测器表面。5.根据权利要求1或2所述的探测器组片，其中，所述像素阵列被提供有探测器组片网格(75)；并且其中，沿所述探测器组片的至少一侧布置的边缘像素(77)在横向于边缘的方向上被提供有更小的尺寸，使得所述探测器组片的最外边缘被布置于所述像素的相应网格区域之内。6.一种探测器面板布置(74)，包括：-根据前述权利要求中的任一项所述的至少两个探测器组片(30)；其中，所述探测器组片被布置为在公共平面中彼此毗连，使得无缝探测器表面(76)被提供有连续像素阵列；其中，所述连续像素阵列仅被所述连接开口部分地中断。7.根据权利要求6所述的探测器面板布置，其中，相邻探测器组片每个包括相邻像素部分，所述相邻像素部分被布置为使得具有连续像素阵列子部分(80)的过渡部分(78)被提供。8.根据权利要求6或7所述的探测器面板布置，其中，所述探测器组片每个被提供有若干连接开口；并且其...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·普尔特，R·德克尔，V·A·亨内肯，N·J·A·范费恩，
申请(专利权)人：皇家飞利浦有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL