液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器制造方法及图纸

在基板上形成像素的绘图对象区域内，使喷头一边扫描一边隔一定间隔喷出液滴。除了包围绘图对象区域的沿着围堰外周侧以外的中央侧，设置向绘图对象区域不喷出液滴的非喷出处。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。
技术介绍
已经想出从喷墨头等向基板上喷出液滴，而在其基板上形成薄膜的液滴喷出方式来制造电光学装置。作为电光学装置，有液晶装置、有机电致发光装置(以下称有机EL(Electronic Luminescent电致发光)装置)、等离子体显示装置等的显示装置。另外，在近几年，构成这些电光学装置的基板在大型化，在有关的大型基板中，要求利用液滴喷出方式来高精细和高精度来绘图薄膜(图案形成)。作为这样的液滴喷出方式，已知按照喷头的每一次的喷出相当的液滴量，通过调整理论上的墨水喷出位置，使喷在每一个绘图对象区域的墨水量恒定的方式(例如，参照日本国特许第3332812号公报)。然而，上述的液滴喷出方式是只考虑使绘图对象区域的墨水的喷出量恒定的方式，并没有考虑这个绘图对象区域的墨水滴的弹落位置。从而，在这种喷出方式中，存在对绘图对象区域的墨滴弹落位置产生偏差或喷在绘图对象区域的墨水厚度产生微小的不均匀而导致品质降低的危险。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题而进行的，其目的在于，提供一种不会产生膜厚不均匀，而配合绘图对象区域而弹落适量的液滴，可以进行高精度、且高品质绘图可能的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。有关本专利技术的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器中，为了解决上述的问题采用了如下方法。本专利技术的第一形态是液滴喷出方法，其特征在于对基板上的由围堰(bank)所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴时，在绘图对象区域的沿着围堰以外的绘图对象区域，设置不喷出液滴的非喷出处。根据本专利技术的第一形态，将不喷出液滴的非喷出处配置在形成绘图对象区域的沿着围堰外周侧以外的中央侧，所以，不会产生具有其沿着围堰的微小凹坑的波纹，而将适量的液体没有遗漏地涂敷在绘图对象区域内，并且，可以使膜厚均匀化。即，膜厚上不会产生不均匀，而配合绘图对象区域弹落适量的液滴，可以进行高精度、且高品质的绘图。在本专利技术的第一形态中，例如，绘图对象区域是矩形，通过至少在绘图对象区域的长边方向的沿着围堰以外的绘图对象区域里设置非喷出处，可以良好地谋求膜厚的均匀化。在本专利技术的第一形态中，通过分散配置非喷出处，在沿着围堰外周侧以外的中央侧分散配置非喷出处，所以，可以谋求膜厚的进一步的均匀化。在本专利技术的第一形态中，将非喷出处配置在平行于绘图对象区域的长边方向、且绘图对象区域长边方向的沿着围堰以外的绘图对象区域，所以，可以良好地谋求膜厚的均匀化。本专利技术的第二形态是液滴喷出方法，其特征在于对基板上的围堰所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴时，在绘图对象区域的沿着围堰以外的绘图对象区域，设置和其他处不同液滴量的喷出处。根据本专利技术的第二形态，也可以谋求膜厚的均匀化。在本专利技术的第二形态中，绘图对象区域是矩形，并通过至少在绘图对象区域长边方向的沿着围堰以外的所述绘图对象区域，设置和其他处不同液滴量的喷出处，可以良好地谋求膜厚的均匀化。在本专利技术的第二形态中，通过分散配置所述的和其他处不同液滴量的喷出处的方式，可以良好地谋求膜厚的均匀化。在本专利技术的第二形态中，通过将不同液滴量喷出处配置在平行于所述绘图对象区域的所述长边方向、且绘图对象区域的长边方向的沿着围堰以外的绘图对象区域，可以良好地谋求膜厚的均匀化。本专利技术的第三形态是电光学装置的制造方法，其特征在于利用了所述液滴喷出方法。根据本专利技术的第三形态，通过所述液滴喷出方法，在基板上高精度地形成绘案，来可以制造有机EL装置、等离子体显示装置、液晶装置等的电光学装置。从而，根据本专利技术，以低价可以提供对大的画面的全体，可以显示高精细、高品质图像的电光学装置。例如，将成为有机EL装置的构成要素的发光材料和空穴输送材料等可以涂敷成高精细的像素图案。本专利技术的第四形态是电子仪器，其特征在于，具备通过所述电光学装置制造方法来制造的电光学装置。根据本专利技术的第四形态，可以以低价提供可以高精细显示高品质图像的电子仪器。特别是，本专利技术可以以低价提供可以显示高品位图像的电子仪器。附图说明图1是表示液滴喷出装置构成的立体图。图2是表示液滴喷出装置的控制装置功能的框图。图3A、3B、3C，是表示没有应用有关本专利技术的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。图4A、4B是表示应用有关本专利技术的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。图5是表示没有应用有关本专利技术的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。图6A、6B是表示应用有关本专利技术的液滴喷出方法的情况之映像的模式平面图。图7A、7B、7C和7D是表示有关本专利技术的有机EL装置制造工序的截面图。图8是利用制造工序来制造的显示装置的电路图。图9是表示显示装置像素区域的平面结构的放大平面图。图10A、10B和10C是表示具备显示装置的电子仪器的立体图。具体实施例方式下面，结合图说明本专利技术的液滴喷出方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。(液滴喷出装置)图1是表示液滴喷出装置的构成的立体图。此液滴喷出装置1利用于有关本专利技术实施方式的液滴喷出方法。液滴喷出装置1作为主要构成要素，备有作为有关本专利技术的控制机构的控制装置2；喷头组3；和载物台4。液滴喷出装置1通过控制装置2控制喷头组3和载物台4的动作，向载置在载物台4的基板5喷出液滴，在此基板5上，形成规定的图案。控制装置2是根据有关本专利技术的液滴喷出方法来控制喷头组3，由此，控制液滴喷出的时间。在喷头组3固定有摄象机3b。此摄象机3b利用于载置在载物台4的基板5的调整和位置矫正。另外，在下面的说明中，喷头组3的配置方向作为X方向，另外，基板5的输送方向作为Y方向，另外，XY平面内的面内旋转方向作为θ方向。喷头组3由排列成1列的多个喷头3a所构成。从基台6垂直设置的支柱7、7之间，以在X方向横跨载物台4的方式，架设有X方向轴8。在其X方向轴8上，移动可能地设有喷头组3。固定在喷头组3的摄象机3b和喷头组3一起移动。在构成喷头组3的每一个喷头3a上，向着基板5穿设着多个液滴喷出用的喷嘴(例如，180个的喷嘴穿设成一列)。喷头3a具有储备液状体的腔；连通在其腔的喷嘴；和从喷嘴作为液滴喷出其腔内储备的液状体的液滴喷出机构而构成。在本例子中，液滴喷出机构是设在喷头3a的壁面的压电元件(压电元件)。在这样构成的喷头3a中，根据供给在压电元件的所要的电压波形，使喷头3a的壁面变形而腔内的容积在变化，从喷嘴喷出规定量的液滴。供给在压电元件的电压波形，根据后面要叙述的液滴喷出数据来生成。另外，作为喷头3a的液滴喷出机构，除了利用上述的压电元件(机电变换体)方式以外，还可以采用例如，利用了作为能量产生元件的电、热变换体的方式；叫做带电控制型或加压振动型的连续方式；静电吸引方式；利用激光等的电磁波的照射热作用来喷出液状体的方式等。另外，上述的喷头组3是由排列成1列的多个喷头3a所构成的，但不限于这些。例如，也可以是对每一个喷头3a的喷嘴的穿设间隔(节距)，在X方向偏离1/2节距的喷头3a，排列成2列。或着，也可以使喷头3a对X方向倾斜规定角度配置。在这些构成中，以小于喷嘴的穿设间隔喷出液滴成为可能。载物台4具有载置基板5的载置部4a；使此载置部4a在XY平面上的面内旋转可能的底座部4b而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出方法，其中：对基板上的围堰所包围的绘图对象区域，一边使喷头扫描一边以一定间隔喷出液滴时，在所述绘图对象区域的沿着所述围堰以外的所述绘图对象区域，设置不喷出液滴的非喷出处。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长江信明，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]