液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供可以在尽可能地将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。维护单元（６１、６２）被配置于吸附台（１９）的下方位置（待机位置）。在维护动作时，吸附台（１９）向不与维护单元（６１、６２）干涉的位置退避，维护单元（６１、６２）的一方上升驱动，维护装置（４４、４７）或（４５、４６）被配置于维护位置。与其大致同步，承载架（１８）移动，液滴喷头（１５）被配置于与维护装置对应的给定的位置，实施液滴喷头（１５）的维护（加帽或清洁）。维护装置（４４～４７）在承载架移动方向（Ｙ轴方向）上，位于在基板（３２）上描绘的扫描时的承载架（１８）所能够取得的最大移动范围（Ｌ）内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使液滴喷头相对于工件相对地移动而在工件上进行描绘的液滴喷出装置，特别涉及具备对液滴喷头进行清洁等维护的维护装置的。
技术介绍
以往，作为向工件喷出液滴的装置已知有喷墨式的液滴喷出装置。例如专利文献1～4中所示的液滴喷出装置具备放置基板等工件而使工件沿一个方向移动的滑动台、在滑动台的上方位置在与滑动台的移动方向正交的方向上沿着导轨移动的喷墨头(液滴喷头)，向工件上涂布液滴。在液滴喷出装置上，为了应对喷墨头的喷嘴的堵塞、灰尘在喷头表面上的附着、喷头内的混入液体中的气泡等，设有清洁装置。作为清洁装置，有将附着于喷头喷嘴面上的污垢和液滴干燥固化后的物质擦掉的擦拭装置、喷出液滴而将喷头内的气泡或增粘了的液体排出的冲洗装置、为了防止喷嘴中的液体的干燥而覆盖喷头表面以阻断空气的流动的加帽装置等维护装置。作为清洁装置的配置位置，已知有配置于喷墨头的导轨的下方并处于滑动台的侧方位置上的(专利文献1)、被可以沿着滑动台的轨道移动地设置的(专利文献2，3)、设置于滑动台上的(专利文献4)等。特开平10-206624号公报(第4页，图1)特开2001-171135号公报(第4页，图1)特开2003-48312号公报(第6页，图1)特开2003-230858号公报(第3页，图1)但是，专利文献1中所示的液滴喷出装置中，由于在从液滴喷头中喷出液滴而进行描绘的扫描时，清洁装置被设于承载架能够移动的最大扫描范围(描绘动作范围)的外侧，因此为了将液滴喷头移动至与清洁装置对应的位置，需要将承载架移动至超过最大扫描范围的位置。其结果是，导引承载架的导轨为了能够实现承载架向超过了最大扫描范围的位置处的移动而相对变长。由于该结果，就会有因导轨变长而使液滴喷出装置大型化的问题、因长度增大而在导轨上产生机械的弯曲从而有可能导致从液滴喷头中喷出而命中基板等工件上的液滴的位置精度(液滴喷出位置精度)降低的问题。特别是，今后伴随着基板等工件大型化，最大扫描范围变宽，需要加长导轨，另外，当在承载架上搭载相机或计量装置等各种附属装置而使承载架的重量增加时，由于导轨更加容易弯曲，因此有可能导致液滴喷出位置的精度的进一步降低。另外，在与滑动台相同的轨道上设置了其他的移动工作台而在其上配置了维护装置的专利文献2、3中所示的液滴喷出装置由于是在向工件的描绘中所必需的滑动台的移动范围的外侧设置维护装置的构造，因此有液滴喷出装置的尺寸在工作台移动方向上变大的问题。另外，在滑动台上设置了清洁装置的专利文献4中所示的液滴喷出装置由于在滑动台上除了基板放置区域以外，还要确保清洁装置的设置空间，因此滑动台的尺寸在工作台移动方向上增大了清洁装置的设置空间的部分，该情况下也有液滴喷出装置的尺寸在工作台移动方向上变大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供可以在尽可能将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的。本专利技术的液滴喷出装置的主旨在于，具备使工件沿第1扫描方向移动的工作台、搭载向所述工件喷出液滴的液滴喷头并且将该液滴喷头沿着导引构件在第2扫描方向上移动的承载架、用于所述液滴喷头的包括清洁在内的维护的一个以上的维护装置、使所述维护装置向与扫描中的所述工作台不干涉的待机位置和进行所述液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，所述维护装置，在被配置于所述待机位置时，至少一部分位于在所述第1扫描方向上作为所述工作台上的工件的扫描时的移动范围能够取得最大量的工件最大扫描范围内，在被配置于所述维护位置时，至少一部分位于在所述第2扫描方向上作为所述承载架的扫描时的移动范围能够取得最大量的承载架最大扫描范围内。这里，所谓“工件最大扫描范围”是指在为了向工件喷出液滴而描绘的扫描而在第1扫描方向上将放置了最长的工件的工作台以最大行程移动时，所述工件所能取得的第1扫描方向的移动范围。这与以下的范围等同，即，从被以最大行程扫描(移动)的工作台到达移动方向的一端(假设为前端)时，工作台上的所述工件的一端(前端)所处的位置，直至工作台到达移动方向的另一端(假设为后端)时所述工件的另一端(后端)所处的位置之间的范围。另外，所谓“承载架最大扫描范围”是指在从液滴喷头中喷出液滴而描绘的扫描时承载架所能取得的最大移动范围。这与以下的范围等同，即，在承载架扫描方向上将最长的长度的工件放置于工作台上而进行扫描，在该工件上沿承载架扫描方向进行最大范围的描绘时的承载架的移动范围。承载架最大扫描范围设为从承载架移动到右端时的承载架的右端面到承载架移动到左端时的承载架的左端面之间的范围。而且，既可以将工作台的第1扫描方向设为主扫描方向，将承载架的第2扫描方向设为副扫描方向，也可以将工作台的第1扫描方向设为副扫描方向，将承载架的第2扫描方向设为主扫描方向。根据该情况，当维护装置被配置于实施液滴喷头的维护的维护位置时，该维护装置的至少一部分位于利用液滴喷头喷出液滴而进行描绘的扫描时的承载架的最大扫描范围内。由此，只要不仅是在进行描绘的扫描时，而且在液滴喷头的维护时，承载架可以在最大扫描范围内移动即可。这样，就可以将液滴喷头的最大移动范围设定得相对较窄，由此可以缩短承载架的导引构件。如果可以缩短导引构件，则例如即使在承载架上搭载相机或计量装置等附属装置等而使承载架变重，导引构件也不会弯曲，可以维持喷出装置的位置精度。另外，如果导引构件变短，则可以将液滴喷出装置的尺寸在承载架移动方向(第2扫描方向)上减小。另外，当维护装置结束维护时，即被移动机构配置于与扫描中的工作台不干涉的待机位置上。在配置于待机位置上时，维护装置的至少一部分在第1扫描方向上位于在工作台上所设想的工件放置区域作为移动范围所能够取得的工件最大扫描范围内。这里，在专利文献2、3中所记载的以往的液滴喷出装置中，由于是可以利用与工作台共用的轨道等而在与工作台相同方向上(第1扫描方向)独立地移动的维护装置(清洁装置)，因此就必须将维护装置(清洁装置)配置于工作台的最大移动范围的外侧，从而导致了装置的第1扫描方向的大型化。另外，在专利文献4中所记载的以往的液滴喷出装置中，由于将维护装置(清洁装置)搭载于工作台上的端部(也就是在工作台上沿第1扫描方向与工件放置区域相邻的端部)上，因此与在工作台上未搭载维护装置的构成(也就是因未搭载维护装置而使工作台长度在第1扫描方向上变短的构成)相比，扫描时的工作台最大移动范围(称作工作台最大扫描范围)变长。由此，在专利文献4的装置中也导致了第1扫描方向的大型化。针对于此，在本专利技术的液滴喷出装置中，由于维护装置在待机位置上被配置于工件最大扫描范围(通常比工作台最大扫描范围更窄的范围)内，因此可以实现第1扫描方向的装置的小型化。像这样，根据本专利技术的液滴喷出装置，不仅在第2扫描方向上，而且在第1扫描方向上，也可以实现装置的小型化。根据以上情况，就可以提供能够在尽可能抑制液滴喷出装置的大型化的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置。本专利技术的液滴喷出装置中，在维护动作开始时，工作台退避至不与维护装置干涉的工作台退避位置，并且维护装置利用移动机构从待机位置移动至维护位置，在维护动作结束后，维护装置利用移动机构从维护位置退避至待机位置。这样，由于在维护动作时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出装置，其特征是，具备：使工件沿第１扫描方向移动的工作台、搭载向所述工件喷出液滴的液滴喷头并且将该液滴喷头沿着导引构件在第２扫描方向上移动的承载架、用于所述液滴喷头的包括清洁在内的维护的一个以上的维护装置、使所述维护装置向与扫描中的所述工作台不干涉的待机位置和进行所述液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，所述维护装置，在被配置于所述待机位置时，至少一部分位于在所述第１扫描方向上作为所述工作台上的工件的扫描时的移动范围能够取得最大量的工件最大扫描范围内，在被配置于所述维护位置时，至少一部分位于在所述第２扫描方向上作为所述承载架的扫描时的移动范围能够取得最大量的承载架最大扫描范围内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：手塚睦人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]