电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。【专利说明】电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置
本专利技术涉及使用电子来观察试料的表面形状的显微镜技术。
技术介绍
在试料的表面形状的放大观察装置中存在电子显微镜。表示扫描电子显微镜(以下，表示为SEM)的动作。通过施加至电子源的电压被加速的一次电子由电子透镜汇聚，汇聚后的一次电子通过偏转器在试料上进行扫描。通过照射一次电子而从试料放射的二次电子由检测器检测。对二次电子信号与扫描信号同步地进行检测，构成图像。试料的二次电子的放射量由于试料的表面形状不同而不同。在试料为绝缘体的情况下，由于电子照射而导致的试料表面的带电是不可避免的。由于电子照射而导致的带电引起观察中的像漂移等，而成为像损害。作为解决上述带电而导致的像损害的方法，已知在试料表面覆盖导电体的方法。作为导电体，使用金和钼等金属。此外，在专利文献I中，公开有对试料涂敷在真空中几乎不挥发的离子液体，对电子照射面赋予导电性的方法。此外，在专利文献2中，公开了使用低加速电子，即使带电也能进行稳定的观察的低加速SEM。先行技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2007/083756号专利文献2 JP特开2000-195459号公报专利技术的概要专利技术要解决的课题近年，伴随SEM的高分辨率化，在试料的表面形状的检查和测量中，利用低加速SEM。但是，即使使用低加速电子，试料的表面也带电。由此，在试料的表面形状为微细的构造的情况下，边缘部中的对比度的消失等由于带电而导致的像损害成为问题。为了抑制低加速SEM中的像损害，在对绝缘体试料覆盖金属膜的情况下，起因于金属膜的晶界的对比度会与试料的形状对比度重叠。此外，在对电子照射面涂敷离子液体的情况下，模式整面会埋在离子液体中，在低加速SEM中，不能观察试料的表面形状。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，解决上述课题，提供一种抑制由于带电而导致的像损害的电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜、以及观察样品制作装置。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本申请专利技术的电子显微法的观察样品的特征在于，试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状。上述观察样品中的包含离子液体的液状介质的薄膜或者网膜为沿着试料的表面形状的膜，或者是低加速的一次电子能够透射的膜厚，并按照试料形状来区分涂敷，所以能够得到明确的边缘对比度。这里，在本申请专利技术的观察样品中，涂敷有包含离子液体的液状介质的部分的膜厚是I单层以上、100单层以下。所谓I单层表示离子液体的I分子层的厚度。此外，本申请专利技术的电子显微法包括:测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；和基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序。根据该方法，能够按照包含离子液体的液状介质的膜厚，控制一次电子的照射条件，所以边缘对比度得到提高。此外，本申请专利技术的电子显微法进一步包括:将包含离子液体的液状介质涂敷至试料的工序；和将包含上述离子液体的液状介质薄膜化的工序。通常，涂敷的包含离子液体的液状介质的膜的状态依赖于离子液体的种类和试料的材料或者形状。根据该方法，能够按照离子液体的种类和试料，控制包含离子液体的液状介质的膜厚。这里，在本申请专利技术的电子显微法中，其特征在于，使用包含试料上的离子液体在内的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。这里，在本申请专利技术的电子显微法中，可以是，重复多次处理以下工序:将包含离子液体的液状介质涂敷至试料的工序；将包含上述离子液体的液状介质薄膜化的工序；和对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的工序。根据该方法，直至包含离子液体的液状介质成为规定的膜厚为止，都能够阶段性地进行处理，所以包含离子液体的液状介质的I旲厚控制性得到提闻。这里，在本申请专利技术的电子显微法中，可以是，对包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量的工序，根据能够由脉冲化的一次电子解析的二次电子放射率的一次电子加速电压依赖性，对包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量。根据该方法，通过相对于加速电压的二次电子放射率的变化，一次电子透射包括离子液体的液状介质的膜的加速电压能够解析，并且根据上述加速电压下的一次电子的射程，包含离子液体的液状介质的膜厚能够解析。这里，在本申请专利技术的电子显微法中，可以是，对包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量的工序，根据一次电子照射下的基板电流的一次电子加速电压依赖性，对包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量。这里，将通过在一次电子透射至试料时蓄积的电荷产生的变位电流作为基板电流来测定。根据该方法，通过相对于加速电压的基板电流的变化，一次电子透射包含离子液体的液状介质的膜的加速电压能够解析，并且根据上述加速电压下的一次电子的射程，包含离子液体的液状介质的膜厚能够解析。此外，本申请专利技术的电子显微镜具有:电子源，其放射一次电子；试料座，其保持试料；排气室，其设置上述试料座并进行排气；透镜系统，其将上述一次电子汇聚于上述试料；偏转器，其对上述一次电子进行扫描；检测器，其对通过上述一次电子而从上述试料放射的二次电子进行检测；图像生成部，其通过上述二次电子形成图像；试料室，其设置上述试料座；测量机构，其对上述试料上的液状介质的膜厚进行测量；以及基于上述试料上的液状介质的膜厚的上述一次电子的照射条件控制部。这里，在本申请专利技术的电子显微镜中，可以是，对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的测量机构具有:脉冲形成部，其形成对上述一次电子进行脉冲化后得到的脉冲电子；二次电子信号解析部，其根据由上述检测器对通过上述脉冲电子而从上述试料放射的二次电子进行检测而得到的二次电信号来解析二次电子放射率；以及二次电子放射率解析部，其根据上述二次电子放射率的加速电压依赖性，对上述一次电子透射包含上述离子液体的液状介质的膜的加速电压进行解析，并根据上述加速电压下的一次电子的射程来解析膜厚。此外，在本申请专利技术的电子显微镜中，可以是，对包含上述离子液体的液状介质的膜厚进行测量的测量机构具有:基板电流测量部，其对上述一次电子透射至试料时感应的基板电流进行测量；以及基板电流解析部，其根据上述基板电流的加速电压依赖性，对上述一次电子透射包含上述离子液体的液状介质的膜的加速电压进行解析，并根据此时的一次电子的射程来测量膜厚。这里，在本申请专利技术的电子显微镜中，在保持上述试料的试料座或者试料室中，具有对试料的观察面涂敷包含上述离子液体的液状介质的涂敷部。此外，在本申请专利技术的电子显微镜中，可以是，在保持上述试料的试料座或者试料室中，具有对上述试料上的包含上述离子液体的液状介质进行薄膜化的机构。此外，本申请专利技术的制作上述观察样品的观察样品制作装置具有:排气室；排气机构；涂敷部，其对试料的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子显微法的观察样品，包括：试料；和处于上述试料上的薄膜状或者网膜状的包含离子液体的液状介质。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三羽贵文，小濑洋一，中泽英子，许斐麻美，渡边俊哉，木村嘉伸，津野夏规，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP