液滴喷出头及液滴喷出装置制造方法及图纸

本发明专利技术的液滴喷出头具备：第一驱动部（３２）；和与所述第一驱动部连接的基体（３３、３４），所述基体具有：第一收纳室（３０）、第一喷出口（４０）、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部（４），在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极（４１）与第二电极（４２）。从而本发明专利技术涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置可以提供一种可以检测异物是否附着在喷出口等的结构，通过防止所喷出的液滴的飞行弯曲，从而可以提高液滴的喷出精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷出头及液滴喷出装置。
技术介绍
近年来，在利用喷墨技术的液滴喷出装置中，除了用于在纸上打印的喷墨打印机等图像形成装置以外，例如开发了一种用于形成显示用的面板的金属布线的成膜装置。在此，例如在喷墨打印机的液滴喷出头(喷墨头)中设置有多个喷出口(喷嘴口)，但由于液滴(墨)的成分析出，附着在喷出口周围，故存在引起几个喷出口堵塞，无法正常喷出液滴的情况。若喷出口产生堵塞，则导致打印出的图像内产生空点等不良情况。伴随于此，在专利文献1中，针对液滴喷出头的喷出口，在液滴喷出时与液滴接触的位置设置温度检测传感器，通过根据伴随所接触的液滴的蒸发的电阻变化，检测液滴喷出的有无，从而能够进行液滴的不喷出检测。然而，专利文献1所公开的技术，虽然适用于判断喷出口是否完全不能进行喷出，但在判断是否为喷出口附近附着有墨成分等异物的状态时不理想。即，作为防止异物的附着所引起的液滴飞行弯曲的技术是不够的。专利文献1特开平08-323993号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，本专利技术涉及的液滴喷出头及液滴喷出装置提供一种可以检测异物是否附着在喷出口等的结构，通过防止所喷出的液滴的飞行弯曲，从而可以提高液滴的喷出精度。本专利技术涉及的液滴喷出头具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘互相保持间隔地交替配置有多个第一电极分支与多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支延伸存在于所述第一贯通部的表面上。根据该结构，例如通过测定第一电极分支与第二电极分支之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘或第一贯通部表面的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。再有，因为分别设置多个第一电极分支与第二电极分支，紧密地形成于第一喷出口边缘或第一贯通部表面，故可以提高所附着的异物的检测精度。再有，本专利技术涉及的液滴喷出头具备第一驱动部；第二驱动部；和与所述第一驱动部及所述第二驱动部连接的基体，所述基体具有由所述第一驱动部控制的第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，所述基体具有由所述第二驱动部控制的第二收纳室、第二喷出口、连通所述第二收纳室与所述第二喷出口的第二贯通部，在所述第一喷出口的边缘形成有第一电极与第二电极，在所述第二喷出口的边缘形成有第三电极与第四电极，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极、以及所述第四电极互相保持间隔地形成。根据该结构，例如通过测定第一电极与第二电极之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘等处的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。再有，因为可以单个测定多个喷出口的电阻值，故可以停止确认了异物附着的喷出口的喷出，也能减少喷头的维修次数。进而，本专利技术涉及的液滴喷出头也可具备第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地形成有第一电极与第二电极。根据该结构，例如通过测定第一电极分支与第二电极分支之间的电阻值，从而也能确认附着在第一喷出口边缘或第一贯通部表面的异物的存在，因此结果可以提高从液滴喷出头喷出液滴的精度。在上述液滴喷出头中，优选所述第一电极与所述第二电极延伸存在于所述第一贯通部的表面上。由此，不仅第一喷出口边缘，还能检测附着在第一贯通部表面的异物。再有，在上述液滴喷出头中，优选所述第一电极包括多个第一电极分支，所述第二电极包括多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支交替地配置在所述第一贯通部的表面上。例如夹持一根第一电极分支的两根第二电极分支的间隔越小，越可以提高异物的检测精度。因此，若在第一贯通部表面上紧密地形成多个第一电极分支与多个第二电极分支，则可以进一步提高所附着的异物的检测精度。进而，在上述液滴喷出中，优选所述第一喷出口的边缘由绝缘材料形成。由此，可以容易地进行第一喷出口中第一电极与第二电极之间的电阻值检测。还有，在上述液滴喷出头中，优选所述第一贯通部的表面由绝缘材料形成。由此，可以容易地进行第一贯通部中第一电极与第二电极之间的电阻值检测。进一步，在上述液滴喷出头中，优选所述第一驱动部包括压电元件，所述第一收纳室是利用所述第一驱动部的动作使容积变动的第一压力室。由此，可以在液滴喷出头中使用压电元件。因为压电元件的动作不基于加热，故与加热相比，不会促进液滴的干燥，可以减少使异物附着在第一喷出口边缘等的频率。因此结果可以提高液滴喷出精度。再有，在上述液滴喷出头中，优选所述基体具有流路基板与喷嘴板，所述第一收纳室形成于所述流路基板，所述第一喷出口及所述第一贯通部形成于所述喷嘴板。由此，由于也能利用流路基板与喷嘴板分别由不同的结构构成的液滴喷出头，故可以提高设计上的自由度。本专利技术涉及的液滴喷出装置具备上述液滴喷出头；和控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能。由此，可检测附着于第一喷出口边缘的异物。例如，在喷出导电性的功能材料时，异物附着的检测变得容易，因此装置的维修的精度提高，其结果成膜的质量提高。本专利技术涉及的液滴喷出装置也可具备上述液滴喷出头；和控制所述第一驱动部的控制部，所述控制部具有测定所述第一电极与所述第二电极之间的电阻值并检测测定电阻值的功能，具有在所述测定电阻值为设定电阻值以下时停止所述第一驱动部的动作的功能。由此，当第一喷出口周围附着异物时，可停止从第一喷出口喷出液滴。例如，在喷出导电性的功能材料时，异物附着的检测变得容易，因此装置的维修的精度提高，其结果成膜的质量提高。附图说明图1是表示液滴喷出装置的概略构成的图。图2是表示液滴喷出装置的控制系统的构成的框图。图3是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料的部分的详细结构的部分立体图。图4是用于说明液滴喷出头中喷出液体材料的部分的详细结构的部分剖视图。图5是对各电极的配置进行说明的示意俯视图。图6是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。图7是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。图8是对各电极的其他形态进行说明的示意俯视图。图9是表示其他形态的液滴喷出头的概略构成的立体图。图10是图9所示的液滴喷出头的分解立体图。图中1-液滴喷出装置，2-液滴喷出头，4-贯通部，10-基板，30-压力室，30-收纳室，31-隔壁，32-压电元件，32c-压电体层，32a-电极，33-振动板，34-喷嘴板，35-共用收纳室，36-供给路径，38-流路基板，39-液滴喷出面，40-喷出口，41-电极，41a-电极分支，42-电极，42a-电极分支，43-共用布线，44-共用布线，45-绝缘膜，51-压电元件，52-基板，53-基板，54-第一端子，55-第二端子，56-基板，57-喷出口，58-振动板，59-收纳室，60-供给路径，61-共用收纳室，62-隔壁，63-贯通部，101-容器，104-台架移动机构，105-台架，106-台面，108-台面移动机构，110-管道，111-液状材料，112-控制部，200-输入缓冲存储器，202-存储机构，2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出头，其中具备：第一驱动部；和与所述第一驱动部连接的基体，所述基体具有：第一收纳室、第一喷出口、连通所述第一收纳室与所述第一喷出口的第一贯通部，在所述第一喷出口的边缘，互相保持间隔地交替配置有多个第 一电极分支与多个第二电极分支，所述多个第一电极分支与所述多个第二电极分支延伸存在于所述第一贯通部的表面上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高桥隼人，酒井真理，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]