液滴喷出头、液滴喷出装置及喷出控制方法制造方法及图纸

液滴喷出头（１１）的喷嘴板１２），具有形成与喷嘴（２０）对应的贯通孔的基体板（２６），和在基体板（２６）表面形成的表面层（２７）。喷嘴（２０）具有从喷嘴开口（２１）起直线形成的直线部（２２）和继直线部（２２）之后的锥部（２３），在直线部（２２）的内壁，设置着作为不具有表面层（２７）的区域形成的凹部（３０）。提供考虑了喷出特性的稳定性的液滴喷出头、液滴喷出装置及其喷出控制方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及喷墨式记录装置、显示器制造装置、电极形成装置、生物 芯片制造装置等液滴喷出装置及搭载在液滴喷出装置上的液滴喷出头及其 喷出控制方法。
技术介绍
近几年来，将液态体液滴化后从微小的喷嘴喷出的液滴喷出头(头)， 在印刷及工业用途等中，得到广泛利用。例如，专利文献1记述的头，具 备使与喷嘴连通的液腔的容积可变的压电元件，能够利用施加给该压电元 件的电信号(驱动信号)，准确地控制(喷出控制)喷出的液滴的量及速度 (喷出特性)。专利文献l: JP特开2002—1951号公报 上述喷出控制，利用驱动信号，升降施加给压电元件的电压，从而使 喷嘴内的液面(弯月面)前进(向喷嘴的开口方向移动)或后退(向液腔 方向移动)。这时，如果喷嘴内的弯月面对于驱动信号而言的位置的再现性 不佳，那么每次喷出的喷出特性就会出现离差(不一致)，所以为了获得喷 出特性的稳定性，最好对这一点也给予充分考虑
技术实现思路
本专利技术就是针对上述情况研制的，其目的在于提供考虑了喷出特性的稳定性的液滴喷出头、液滴喷出装置及其喷出控制方法。本专利技术的液滴喷出头，其特征在于，具备喷嘴，该喷嘴被供给液态 体；弯月面移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出头，具备：喷嘴，该喷嘴被供给液态体；弯月面移动单元，该弯月面移动单元用于使所述液态体的弯月面在所述喷嘴内移动；以及弯月面限制部，该弯月面限制部设置在该喷嘴的内壁，位于自所述喷嘴的开口起的规定距离的深度，用于将所述喷嘴内的所述弯月面的边缘的移动限制在该深度中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：志村康人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]