图案形成方法、液滴喷出装置、以及电光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可以使由在不同时间弹落的液滴形成的膜图案的边界连续的图案形成方法、液滴喷出装置以及电光装置。将由在副扫描方向上排列的先行喷嘴（ＮＬ）构成的喷嘴列（ＮＲ）的一侧、和由在副扫描方向上排列的后续喷嘴（ＮＦ）构成的喷嘴列（ＮＲ）的另一侧配置成从主扫描方向观察它们是相互重叠的。此外，当朝向沿着主扫描方向扫描的滤色器基板（６）喷出液滴（Ｄ）时，从与重叠区域（Ｓ）对应的先行喷嘴（ＮＬ）中选择多个先行喷嘴（ＮＬ），使所选择的先行喷嘴（ＮＬ）分别喷出先行液滴。另外，选择从主扫描方向观察位于所选择的多个先行喷嘴（ＮＬ）之间的多个后续喷嘴（ＮＦ），使所选择的后续喷嘴（ＮＦ）分别喷出后续液滴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图案形成方法、液滴喷出装置、以及电光装置。技术背景就液晶显示装置而言，为了规定液晶分子的取向状态，在密封液晶的 基板的内侧面具备已实施摩擦处理的取向膜。在取向膜的制造工序中，为 了提高生产率或降低制造成本，采用使用了液滴喷出装置的喷墨法。液滴喷出装置具有相对于基板移动的喷头、在喷头的一个方向上排 列的多个喷嘴。液滴喷出装置边使该喷头和基板沿着主扫描方向相对移动 边使选择出的喷嘴喷出液滴。此外，液滴喷出装置沿着基板的主扫描方向 描绘由液状体形成的图案，将该图案干燥，由此形成取向膜。然而，在上述喷墨法中，因为向膜图案的整个区域喷出液滴，所以如 果膜图案的尺寸变大，则必须使喷头的扫描路径多次换行。此时，通过先 行的扫描喷出的液滴与通过后续的扫描喷出的液滴相比更早开始干燥。其 结果，在与先行的扫描路径相对应的液状体和与后续的扫描路径相对应的 液状体之间产生流动性的差，在扫描路径的边界，形成在主扫描方向上连 续的条状的膜厚阶差(以下简单地称为条状不均)。因此，在喷墨法中， 一直以来有用于消除上述条状不均的提案。专利 文献1和专利文献2分别沿着与主扫描方向交叉的一个方向配置多个喷 头。此外，液滴喷出装置相对于多个喷头对基板仅扫描一次，从多个喷头 向基板的大致整体喷出液滴。由此，不需要喷头的换行扫描，所以可以消 除由换行扫描引起的条状不均。专利文献l:特开2004—255335号公报 专利文献2:特开2005—95835号公报上述喷头通常形成为沿着喷嘴的排列方向延伸的长方体形状。喷头在其排列方向的端部具有用于确保驱动执行元件用的输入端子或喷嘴的加 工精度的空间等无法排列喷嘴的死区。在沿着其排列方向并设这样的喷头 的情况下，不能向各死区的扫描路径上喷出液滴，所以其结果需要多次的 换行扫描。专利文献1和专利文献2将各喷头配置成锯齿状或阶梯状，在各死区 的扫描方向上配置邻接的喷头的喷嘴列的一部分。由此，可以在死区的扫 描路径上重叠喷嘴列的扫描路径，所以可以消除由死区引起的换行扫描。但是，专利文献1和专利文献2是将喷嘴列各列配置在邻接的喷嘴列 的主扫描方向和反主扫描方向上，所以在邻接的喷嘴列的扫描路径的边 界，液滴的喷出时间产生时差。弹落在基板上的液滴，其尺寸为数ng 数 十ng。由于这样的喷出时间的时差，干燥状态出现较大差异。其结果，专 利文献1和专利文献2在邻接的喷头的边界出现条状不均，甚至会损坏液 滴喷出装置的显示图像质量。
技术实现思路
本专利技术正是为解决上述问题而完成的专利技术，其目的在于，提供一种使 由不同时间弹落的液滴形成的膜图案的边界连续的图案形成方法、液滴喷 出装置以及电光装置。本专利技术的图案形成方法，将由在一个方向上排列的多个第一喷嘴构成 的第一喷嘴组的一侧、和由在上述一个方向上排列的多个第二喷嘴构成的 第二喷嘴组的另一侧配置成从其他方向观察它们是相互重叠的，朝向相对 于上述第一喷嘴组和上述第二喷嘴组沿着上述其他方向移动的基板，从所 选择的多个上述第一喷嘴的每一个和所选择的多个上述第二喷嘴的每一 个喷出液滴，在上述基板上形成图案；其中，使从自上述其他方向观察与 上述第二喷嘴组重叠的上述第一喷嘴组的区域中选择的多个第一喷嘴的 每一个喷出液滴，而且选择自上述其他方向观察位于上述所选择的多个第 一喷嘴之间的多个上述第二喷嘴的每一个，并使其喷出液滴。根据本专利技术的图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的 区域内，可以在一个方向上反复配置于不同时间形成的膜图案。因此，可 以使在不同时间形成的膜图案的边界分散，作为膜图案的全体，可以连续地形成。就该图案形成方法而言，可以使从自上述其他方向观察与上述第二喷 嘴组重叠的上述第一喷嘴组的区域中每隔规定的间隔选择的多个第一喷 嘴的每一个喷出液滴，而且，选择自上述其他方向观察位于上述所选择的 多个第一喷嘴之间的多个上述第二喷嘴的每一个，使其喷出液滴。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，可以沿着一个方向每隔规定的间隔有规则地反复配置于不同时间形成 的膜图案。其结果，可以更可靠地连续形成喷出液滴而形成的膜图案。就该图案形成方法而言，可以交替选择自上述其他方向观察重叠的至 少一对上述第一喷嘴和上述第二喷嘴，并使其喷出液滴。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，还可以在其他方向上反复配置于不同时间形成的膜图案。因此，还可 以使于不同时间形成的膜图案的边界分散，作为整个膜图案，可以更连续 地形成。就该图案形成方法而言，可以以规定的周期使从自上述其他方向观察 与上述第二喷嘴组重叠的上述第一喷嘴组的区域中选择的上述第一喷嘴 的上述一个方向最边的位置变位。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，可以在与一方向交叉的方向且与其他方向交叉的方向上反复配置于不 同时间形成的膜图案的边界。因此，还可以使于不同时间形成的膜图案的 边界分散，作为整个膜图案，可以更连续地形成。本专利技术的图案形成方法，将由在一个方向上排列的多个第一喷嘴构成 的第一喷嘴组的一侧、和由在上述一个方向上排列的多个第二喷嘴构成的 第二喷嘴组的另一侧配置成从其他方向观察它们是相互重叠的，朝向相对 于上述第一喷嘴组和上述第二喷嘴组沿着上述其他方向移动的基板，从所 选择的多个上述第一喷嘴的每一个和所选择的多个上述第二喷嘴的每一 个喷出液滴，在上述基板上形成图案；其中，交替选择自上述其他方向观 察重叠的至少一对上述第一喷嘴与上述第二喷嘴，并使其喷出液滴。根据本专利技术的图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的 区域内，可以在其他方向上反复配置于不同时间形成的膜图案。因此，可以使在不同时间形成的膜图案的边界分散，作为膜图案的全体，可以连续 地形成。就该图案形成方法而言，可以以规定的周期交替选择自上述其他方向 观察重叠的至少一对上述第一喷嘴和上述第二喷嘴，并使其喷出液滴。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，可以沿着其他方向每隔规定的间隔有规则地反复配置于不同时间形成 的膜图案。其结果，可以更连续地形成喷出液滴而形成的膜图案。就该图案形成方法而言，可以以规定的周期交替选择自上述其他方向 观察与上述第二喷嘴组重叠的上述第一喷嘴组的区域中在上述一个方向 上连续的多个上述第一喷嘴的每一个、和自上述其他方向观察与上述第一 喷嘴组重叠的上述第二喷嘴组的区域中在上述一个方向上连续的多个第 二喷嘴的每一个，并使其喷出液滴。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，可以在其他方向上反复配置于不同时间形成且在一个方向上连续的膜 图案。因此，可以沿着一个方向和其他方向双方使于不同时间形成的膜图 案的边界分散，作为整个膜图案，可以更连续地形成。就该图案形成方法而言，可以以规定的周期使从自上述其他方向观察 与上述第二喷嘴组重叠的上述第一喷嘴组的区域中选择的上述第一喷嘴 的上述一个方向最边的位置变位。根据该图案形成方法，在于不同时间形成的膜图案相互接合的区域 内，可以在与一方向交叉的方向且与其他方向交叉的方向上反复配置于不 同时间形成的膜图案的边界。因此，可以使于不同时间形成的膜图案的边 界分散，作为整个膜图案，可以更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成方法，将由在一个方向上排列的多个第一喷嘴构成的第一喷嘴组的一侧、和由在所述一个方向上排列的多个第二喷嘴构成的第二喷嘴组的另一侧配置成从其他方向观察是相互重叠的，朝向相对于所述第一喷嘴组和所述第二喷嘴组沿着所述其他方向移动的基板，从所选择的多个所述第一喷嘴的每一个和所选择的多个所述第二喷嘴的每一个喷出液滴，在所述基板上形成图案，　　　　使从自所述其他方向观察与所述第二喷嘴组重叠的所述第一喷嘴组的区域中选择出的多个第一喷嘴的每一个喷出液滴，而且选择自所述其他方向观察位于所述所选择的多个第一喷嘴之间的多个所述第二喷嘴的每一个，并使其喷出液滴。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石田纮平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]