功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备制造方法及图纸

技术编号:1015022 阅读:182 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种功能液供给装置,其特征在于,具备:多个副容器,经由头侧流路向喷墨方式的多个功能液滴喷出头分别供给功能液;主容器,利用功能液的加压送液,分别向多个副容器补给功能液;功能液流路,由将上游侧连接于主容器的主流路、将上游侧连接于所述主流路的分支流路、以及将上游侧连接于分支流路且将下游侧连接于各副容器的多个支流路构成;设置于主流路的缓冲容器;辅助加压送液机构,在主容器更换时,可将缓冲容器内的功能液向各副容器加压送液;多个支流路开闭机构,设置于各支流路,利用开闭动作将从主容器及缓冲容器的一方加压送液来的功能液向各副容器补给。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将功能液滴向液滴喷出装置的功能液滴喷出头进行供给 的功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学 装置、及电子设备。
技术介绍
目前,作为这种功能液供给装置,已知具备贮存向功能液滴喷出头 供给的功能液的副容器、将功能液向副容器补给的单一的主容器、将这些 装置间连接的墨管、由泵及阀等构成并经由墨管在各装置间送出功能液, 此外控制送液的送液机构(参照专利文献1)。当从功能液滴喷出头喷出功 能液滴,贮存于副容器内的功能液减少时,从主容器向副容器补给功能液(参照特开平11-42771号公报)。但是,在这样的功能液供给装置中,例如在从副容器接收补给信号的 状态下,主容器的功能液残留量减少,有时需要更换主容器。这种情况下, 当连续进行描绘处理时,副容器的功能液变无,从而可能成为功能液滴喷 出头为空喷出的状态,因此,需要停止描绘处理来更换主容器。即,在此 种结构中,在更换主容器时,需要停止描绘处理,因此存在生产率低下的 问题。
技术实现思路
本专利技术的课题在于,提供在更换主容器时不必停止功能液滴喷出头的 描绘处理的功能液供给这种及液滴喷出装置、以及电光学这种的制造方 法、电光学这种及电子设备。本专利技术提供一种功能液供给装置,其特征在于,具备多个副容器,经由头侧流路向喷墨方式的多个功能液滴喷出头分别供给功能液;主容器,利用功能液的加压送液,分别向多个副容器补给功能液;功能液流路, 由将上游侧连接于主容器的主流路、将上游侧连接于主流路的分支流路、 以及将上游侧连接于分支流路且将下游侧连接于各副容器的多个支流路构成;设置于主流路的缓冲容器;辅助加压送液机构,在主容器更换时, 可将缓冲容器内的功能液向各副容器加压送液;多个支流路开闭机构,设置于各支流路,利用开闭动作将从主容器及缓冲容器的一方加压送液来的 功能液向各副容器补给。根据该构成,在一主容器的功能液变无时,利用辅助加压送液机构及 支流路开闭机构,能够从缓冲容器向各副容器供给功能液。由此,在主容 器交换时,也能够继续地进行各副容器的补给。因此,不必停止功能液滴 喷出头的描绘处理,从而可提高生产率。该情况下,优选的是,各支流路开闭机构由不使各支流路的容积变化 的可进行开闭的气动阀构成。根据该构成,可抑制开闭各支流路开闭机构时产生的功能液的脉动。 因此,能够抑制脉动传递到功能液滴喷出头,从而可抑制功能液滴喷出头 的喷出不良。另外,通过使用气动阀,可抑制通过阀的功能液的温度上升。优选的是,各副容器配置于比对应的功能液滴喷出头高的位置,在各 头侧流路设有以大气压基准进行动作、并且将其与功能液滴喷出头之间的 压水值维持在规定的容许范围的减压阀,各副容器上连接有将与对应的所 述减压阀之间的压水值维持在规定的容许范围的负压控制机构。根据该构成,通过使用减压阀及负压控制机构,可高精度地管理功能 液滴喷出头的喷嘴面的功能液的压水值。此外,能够增大副容器中的满液、 减液的液位差,其结果,能够减小副容器的容量。该情况下,优选的是,还具备将各副容器的功能液补给时的液位控制 在上下中间部位置的液位控制机构。根据该构成,可持续地构成不充满溶液的大的空间(气体容量)。由 此,可吸收在副容器的上游侧产生的功能液的脉动,从而可进一步抑制功 能液滴喷出头的喷出不良。该情况下,优选的是,还具备设于主流路、并除去功能液内的微气泡 的气泡除去机构。根据该构成,可抑制功能液内的微气泡造成的大的气泡的发生。因此, 能够抑制含有气泡的功能液到达副容器,从而可抑制副容器内的气泡引起 的液位误检测。由此,可高精度地进行副容器的液位的调节,可稳定地维 持功能液滴喷出头的压水值,因此,能够进一步抑制功能液滴喷出头的喷 出不良。该情况下,优选的是,还具备设于主流路的下游端部的脱气机构、 和与脱气机构连接的脱气流路。根据该构成,在功能液供给装置整体充填功能液的初期充填时,可将 无用的空气适宜地脱气。由此,可简单地排除初期充填时的无用的空气。该情况下,优选的是,还具备副加压机构,与各副容器连接并可将 各副容器加压;头流路开闭机构,设置于各头侧流路,并开闭头侧流路; 上限检测机构,检测到达了各副容器的上限的液位;送液控制机构,控制 各副加压机构、各支流路开闭机构及各头流路开闭机构,送液控制机构在 上限检测机构检测到了到达各副容器的上限的液位的情况下,使支流路开 闭机构执行开放动作,并且使头流路开闭机构执行关闭动作,然后,驱动 副加压机构,将副容器的功能液回送到缓冲容器。根据该构成,在因检测通常的液位的传感器发生故障等,副容器中超 过功能液溢出的上限而充填了功能液的情况下,可将充填的功能液回送, 使功能液的一部分返回缓冲容器。由此,可不废弃过剩供给到副容器的功 能液而能够对其适宜进行处理,从而不必进行装置的动作停止等。该情况下,优选的是,分支流路如下构成,目卩从上游侧端到下游侧 端,重复多段由2分支接头及一对连接短管而成的2分支,并且,以上游 侧为下、以下游侧为上进行配置。根据该构成,由于压力损失及流速(流量)恒定,故不必作成复杂的 构成,从而可将多个分支构造作成简单的构成。另外,通过以上游侧为下、 以下游侧为上,使功能液自下向上流动,因此,可抑制空气残留于分支流该情况下,优选的是,分支流路,在最下游段产生端数时,在最下游 段的一对连接短管和其上游段的连接短管之间,通过配管长度调节压力损根据该构成,在最下游段产生了端数时,通过配管长度来进行各分支 的压力损失的调节。因此,即使在最下游段产生端数的情况下,也能够使 向各副容器的供给量相同。该情况下,优选的是,分支流路上,与属于最下游段的2分支接头及 一对连接短管相比,属于最上游段的2分支接头及一对连接短管形成粗径。根据该构成,可极力地减小分支流路中的压力损失。该情况下,优选的是,2分支接头由T字接头构成。根据该构成,通过使用廉价的T字接头,可廉价地构成分支流路。本专利技术提供一种液滴喷出装置,其特征在于,具备使喷墨方式的功能液滴喷出头相对于工件移动,同时从功能液滴喷出头对工件喷出功能液 滴来进行描绘的描绘机构、和向功能液滴喷出头供给功能液的所述的功能 液供给装置。根据该构成,可不停止本液滴喷出装置的动作而进行主容器的更换,因此,可提高装置的生产率。另外,在利用R、 G、 B三色功能液进行描 绘时,优选设置对应于各色的三组功能液供给装置。该情况下,优选的是,还具备将内部气氛管理在规定的温度的腔室机 构,腔室机构收容描绘机构,并且在将主容器设于外部的状态下,收容除 容器单元以外的功能液滴供给装置。根据该构成,可不开放腔室机构而进行主容器的更换,因此,可进一 步提高装置的生产率。本专利技术提供一种电光学装置的制造方法,其特征在于,使用上述的液 滴喷出装置,在工件上形成功能液滴的成膜部。本专利技术提供一种电光学装置,其特征在于,使用上述的液滴喷出装置 在工件上形成功能液滴的成膜部。根据该构成,可高效地制造高品质的电光学装置。另外,作为功能材 料,有机EL装置的发光材料(Electro-Luminescence发光层、空穴注入层), 本来是用于液晶显示装置的滤色器的滤色器材料(滤色器部件)、电子发 射装置(Field Emission Display, FED)的荧光材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种功能液供给装置,其特征在于,具备:多个副容器,经由头侧流路向喷墨方式的多个功能液滴喷出头分别供给功能液;主容器,利用功能液的加压送液,分别向所述多个副容器补给功能液;功能液流路,由将上游侧连接于所述主容器的主流路、将上游侧连接于所述主流路的分支流路、以及将上游侧连接于所述分支流路且将下游侧连接于所述各副容器的多个支流路构成;设置于所述主流路的缓冲容器;辅助加压送液机构,在所述主容器更换时,可将所述缓冲容器内的功能液向所述各副容器加压送液;多个支流路开闭机构,设置于所述各支流路,利用开闭动作将从所述主容器及所述缓冲容器的一方加压送液来的功能液向所述各副容器补给。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:林高之
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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