液体排出头的制造方法技术

在基板上设置对具有相同波长范围的光感光的三个正型感光材料层，并且中间层含有光吸收剂。中间层中含有的紫外线吸收剂防止中间层和下层在上层的曝光过程中被曝光。在将上层曝光后，用对上层曝光所使用的具有相同波长范围的光对中间层和下层曝光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及排出液体的，并且具体地涉及 高效地制造喷墨记录方法中使用的喷墨记录头的微细流路的方法。
技术介绍
作为使用用于排出液体的液体排出头的实例，可列举将墨排出到 记录介质上以进行记录的喷墨记录方法。喷墨记录方法适用的喷墨记录头通常包括墨排出口 、墨流路和能 量产生元件。在流路的一部分中设置能量产生元件，其产生用于排出 墨的能量。以往，作为制造记录头的墨流路的方法，已知例如以下方 法。在美国专利No. 5478606中公开的制造方法中，在其中形成有能量 产生元件1的基板上用可溶性树脂形成变成墨流路的模(mold)的图 案，并且在该墨流路的模图案上形成变成墨流路壁的被覆树脂层。然 后，通过光刻蚀在能量产生元件上形成孔，并且使墨流路的模图案洗 脱以使变成墨流路壁的被覆树脂层固化。最近，随着喷墨打印机中需要高速度和高图像质量，喷墨记录头 中流路变得微细。对于使用变成模的图案形成墨流路的方法，例如，如美国专利 No. 6986980中所述，在微细化的墨流路中使三维形状最优化以实现墨 再填充的高速化。在美国专利No. 6986980中公开的方法中，在其中形成有能量产生 元件1的基板上设置在交联的同时对具有第一波长范围的光感光的第 一正型感光材料层，并且将该第一正型感光材料层加热以形成交联的 正型感光材料层(下层)。然后，通过在该下层上设置包括第二正型4感光材料的上层而形成双层结构。该第二正型感光材料对具有不同于 第一波长范围的第二波长范围的光感光。然后，用具有第二波长范围 的光照射该双层结构的上层的预定部分。随后，通过进行显影处理将 该上层的照射区域除去以得到所需的图案。然后，用具有第一波长范 围的光照射通过该上层的图案形成而暴露的下层的预定区域，并且通 过进行显影处理而在该下层中形成所需的图案。这样，通过上迷步骤 来制造变成流路的模的图案。但是，在美国专利No. 6986980中所述的喷墨记录头制造方法中， 使用两种膝光波长是必要的。因此，存在通过使工序复杂而使工序负 荷增加的问题。
技术实现思路
鉴于上述情况，本专利技术的目的是提供用简化的工艺高效地制造喷墨记录头的方法，在该喷墨记录头中，三维流路的形状得以最优化并且排出效率得以改善。本专利技术具有以下构成。，所述液体排出头中设置有用于排出液体 的排出口和与该排出口连通的液体流路，该液体排出头制造方法包括以下步骤在基板上形成第一正型感光材料层；在第一正型感光材料 层上形成第二正型感光材料层，该第二正型感光材料层含有光吸收剂， 该光吸收剂吸收具有第一正型感光材料层感光的波长的光，第二正型 感光材料层对具有上述波长的光感光；在第二正型感光材料层上形成 第三正型感光材料层，第三正型感光材料层对具有上述波长的光感光； 用具有上述波长的光将第三正型感光材料层曝光；使第三正型感光材 料层显影；用具有上述波长的光将第二感光材料层和第一正型感光材 料层曝光；使第二感光材料层和第一感光材料层显影；在基板上形成 被覆层从而将已进行了显影的第一感光材料层、第二感光材料层和第 三感光材料层被覆；在被覆层中形成排出口；和通过将第一感光材料 层、第二感光材料层和第三感光材料层除去而形成流路。根据本专利技术，当形成更复杂的液体流路的模图案时，将多个正型感光材料层合，并且用具有一种波长的光对它们曝光并显影。因此， 能够使工序简化以降低制造负荷。由参照附图的以下对示例性实施方案的说明，本专利技术进一步的特 点将变得清晰。附图说明图1是表示本专利技术的喷墨记录头的构成的透视图2A、 2B、 2C、 2D、 2E、 2F、 2G、 2H、 21和2J是示意性地表示本专利技术的喷墨记录头制造方法的截面图；和图3A、 3B、 3C、 3D、 3E、 3F、 3G、 3H和31是示意性地表示本专利技术的喷墨记录头制造方法的截面图。 具体实施例方式以下参照附图对本专利技术优选的实施方案进行说明。在以下说明中， 在附图中用相同的附图标记表示具有相同功能的构成，并且有时省略 其说明。在下述说明中，以喷墨记录方法作为本专利技术的应用例。但是，本 专利技术的应用范围并不限于喷墨记录方法。首先，对能够应用本专利技术的喷墨记录头和其上搭栽有喷墨记录头 的喷墨盒进行说明。图l是表示根据本专利技术实施方案的喷墨记录头的示意图。本实施方案的喷墨记录头具有基板2。在基板2中，以预定间距 并在两行中配置产生液体排出能量的能量产生元件1。尽管在本说明 书中使用Si作为形成基板2的材料，但本专利技术并不限于Si基板。通 过各向异性蚀刻Si而形成的墨供给开口 3在能量产生元件1的两行之 间开口 。由墨流路壁形成构件4在Si基板2上形成排出口 5和墨流路 10。排出口 5在每一个能量产生元件1的上方开口，并且各个墨流路 IO从墨供给开口 3与每一个排出口 5连通。喷墨记录头的配置使得其中形成有墨供给开口 3的表面面向记录介质的记录表面。当将由能量产生元件1产生的压力施加到通过墨供给开口 3将墨流路IO填充的墨时，从墨排出口 5排出墨滴以附着于记 录介质，并由此进行记录。该喷墨记录头能够搭载到装置例如打印机、复印机、传真机和具 有打印机单元的文字处理器，以及与各种处理装置组合的工业记录装置上。以下参照图2A、 2B、 2C、 2D、 2E、 2F、 2G、 2H、 2I和2J对采用本专利技术的喷墨记录头制造方法制造液体流路的方法进行说明。图2A、 2B、 2C、 2D、 2E、 2F、 2G、 2H、 21和2J中的每一个图为制造工序中 沿图l的线a， -a所取的截面图。如图2A中所示，通过在包括能量产生元件1的基板上层合第一正 型感光材料而形成第一正型感光材料层6。除了 Si以外，可以使用玻 璃、陶瓷、塑料、金属等作为基板。为了延长能量产生元件的使用寿 命，通常设置各种功能层例如保护层。显而易见，本专利技术中也可以设 置该功能层。其次，如图2B中所示，通过层合含有紫外线吸收剂的第二正型感光材料从而在第一正型感光材料层6上形成第二正型感光材料层7。只要材料在与第一正型感光材料相同的波长范围内具有感光波长，可以使用任何材料作为第二正型感光材料而无特别限制。只要光吸收剂 在第一和第二正型感光材料的感光波长范围内显示出吸收，则可以使用任何光吸收剂而无特别限制。可以主要使用已知为紫外线吸收剂的 光吸收剂。尽管在下述说明中使用紫外线吸收剂，但本专利技术并不限于 紫外线吸收剂。作为紫外线吸收剂的例子，可以列举以下材料。2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、2-羟基-4-正辛氧基二苯甲酮、2-羟 基-4-正十二烷氧基二苯甲酮、2-羟基-4-苄氧基二苯曱酮、2， 2，-羟 基-4-甲氧基二苯甲酮、水杨酸苯酯、水杨酸4-叔丁基苯酯、2-羟基 -4-甲氧基二苯甲酮和2， 4-二叔丁基苯基-3， ，5， -二叔丁基-4-羟基 苯曱酸酯。在这点上，特别优选形成第二正型感光材料层而厚度不大于2jum且光吸收剂相对于感光材料层不小于3重量％。在随后的步骤中，在对 上层的第三感光材料层进行膝光的过程中，第二感光材料层对于下层 的第一感光材料层起到遮光层的作用。在这种情况下，第二感光材料 层自身可能会被曝光。但是，考虑到多用途装置的从约5到约20J的 曝光量，当第二正型感光材料层的厚度和光吸收剂的添加量得到满足 时，能够将本文档来自技高网...

【技术保护点】
液体排出头的制造方法，所述液体排出头中设置有用于排出液体的排出口和与该排出口连通的液体流路，该方法包括以下步骤：在基板上形成第一正型感光材料层；在第一正型感光材料层上形成第二正型感光材料层，该第二正型感光材料层含有光吸收剂，该光吸收剂吸收具有第一正型感光材料层感光的波长的光，第二正型感光材料层对具有上述波长的光感光；在第二正型感光材料层上形成第三正型感光材料层，该第三正型感光材料层对具有上述波长的光感光；用具有上述波长的光将第三正型感光材料层曝光；使第三正型感光材料层显影；用具有上述波长的光将第二感光材料层和第一正型感光材料层曝光；使第二感光材料层和第一感光材料层显影；在基板上形成被覆层从而将已进行了显影的第一感光材料层、第二感光材料层和第三感光材料层被覆；在被覆层中形成排出口；和通过将第一感光材料层、第二感光材料层和第三感光材料层除去而形成流路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀内勇，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]