【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学薄厚仪。现有技术存在的精度不高、难以得到良好的重复性、后续处理操作繁琐、对设备的稳定程度要求较高和成本高的问题。一种光学薄膜的膜厚监控方法，采用相同膜料进行预镀；调整；消除直流分量；通过数学处理可以得到近似的三角波；非规整膜系光学薄厚仪，包括单一波长的激光光源、比较片、光电探测器、放大器和计算机，出射光光路上有调制器和分束器，比较片上有四片相同膜料进行预镀且薄膜光学厚度分别相差为λ/8的薄膜；光电探测器采用四象限探测器。本专利技术方法实现非规整膜系的监控，设备测量精度高，信号稳定。【专利说明】光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学膜厚仪
本专利技术涉及光学薄膜性能测试
，具体涉及一种光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学薄厚仪。
技术介绍
光学薄膜是指基于电磁理论，通过单层或者多层薄膜产生的多光束干涉来改变透射或反射光的光强、偏振状态、相位等特征，常用的有减反、高反、低通、高通、窄带、分色薄膜等薄膜，最终满足我们需要的光谱特性。镀制性能良好的光学薄膜，除了要求选择合适的蒸发工艺、使用优质的膜厚材料，更需要精确地监控每一层薄膜厚度。光学薄膜的光谱特性与其膜系的每一层膜厚紧密相关，为了镀制符合要求的光学薄膜，在蒸镀过程中对每一层膜厚的监控都非常重要。光学薄膜通常采用2~3种光学薄膜材料制备，由不同材料交替制备薄膜，当每层的光学厚度(折射率和几何厚度乘积)相等或为整数倍时，这样的膜系结构称为规整膜系。如果每一层薄膜的光学厚度不同或不成整数倍，这样的薄膜结构称为非规整膜系。虽然制...
【技术保护点】
一种光学薄膜的膜厚监控方法，其特征在于：依次包括下述步骤：一、采用相同膜料进行预镀，四片薄膜光学厚度分别相差为λ/8，然后在实际镀膜过程中四片一起被沉积上薄膜，可以得到四路相差为90度的正弦或余弦信号，数学表达式依次记为：T01、T02、T03、T04 (2)(3)(4)(5)二、调整：对四路信号依次求倒数，再乘以常数，得到信号F01、F02、F03、F04(6)(7)(8)(9) 三、消除直流分量，得到依次相差90度的正弦或余弦信号：（10）（11）（12）（13）其中，四、由四路相位依次相差90度的正弦信号，通过数学处理可以得到近似的三角波。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：弥谦，杭凌侠，潘永强，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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