本发明专利技术提供一种基板制造方法及基板制造装置，该基板制造方法不易在薄膜的表面产生阶梯差。本发明专利技术的基板制造方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元对置于基板，使喷嘴单元相对于基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于基板，从而在基板的表面形成沿应形成的多个图案的边缘的多个边缘图案。使喷嘴单元相对于基板向第1方向相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被边缘图案包围的实地区域，从而在实地区域形成薄膜。在实地区域形成薄膜的工序中，以在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向相对移动的期间所形成的薄膜的边缘未穿过实地区域的内部的条件下形成薄膜。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种基板制造方法及基板制造装置，该基板制造方法不易在薄膜的表面产生阶梯差。本专利技术的基板制造方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元对置于基板，使喷嘴单元相对于基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于基板，从而在基板的表面形成沿应形成的多个图案的边缘的多个边缘图案。使喷嘴单元相对于基板向第1方向相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被边缘图案包围的实地区域，从而在实地区域形成薄膜。在实地区域形成薄膜的工序中，以在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向相对移动的期间所形成的薄膜的边缘未穿过实地区域的内部的条件下形成薄膜。【专利说明】基板制造方法及基板制造装置
本申请主张基于2012年11月26日申请的日本专利申请第2012-257401号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。本专利技术涉及一种基板制造方法及基板制造装置，其对基板涂布液态的薄膜材料之后，通过使薄膜材料固化来形成预定形状的薄膜。
技术介绍
已知有从喷嘴头吐出包含薄膜图案形成用的材料的液滴而在基板的表面形成薄膜图案的技术(例如专利文献I)。在这种薄膜形成技术中，例如，基板使用印刷基板，薄膜材料使用阻焊剂。印刷基板包含基材及配线，在预定的位置焊接有电子部件等。阻焊剂使焊接电子部件等的导体部分露出，并覆盖无需焊接的部分。与在整面涂布阻焊剂之后，使用光刻蚀技术形成开口的方法相比，能够实现制造成本的下降。已知有通过形成沿薄膜图案的边缘的边缘带之后，在被边缘带包围的内部区域填充液态的薄膜材料来形成薄膜的方法(例如专利文献2)。该方法中，在形成边缘带之前，在基板表面进行疏液化处理。形成边缘带之后，在内部区域填充薄膜材料之前，在基板表面实施亲液化处理。完成向内部区域的薄膜材料的填充之后，使薄膜材料干燥或固化。专利文献1:日本特开2004-104104号公报专利文献2:日本特开2006-212476号公报从喷嘴头朝向基板吐出薄膜材料的液滴的方法中，使喷嘴头及基板中的其中一方相对于另一方移动的同时从喷嘴头吐出薄膜材料的液滴。将使喷嘴头或基板移动的同时吐出薄膜材料的液滴的处理称为“扫描”。当喷嘴头的尺寸小于基板的尺寸时，为了在基板的整个区域形成薄膜，进行多次的扫描。在某一次扫描中形成的薄膜和在下一次扫描中形成的薄膜不会平滑地连接，存在沿双方的边界，在薄膜的表面形成阶梯差的情况。在完成向内部区域的薄膜材料的填充之后，进行干燥或固化的方法中，必须确保用于进行干燥或固化的时间。在干燥或固化的中途阶段中，由于填充于内部区域的薄膜材料为液态，因此不便于基板的操作。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不易在薄膜的表面产生阶梯差的基板制造方法及基板制造装置。 根据本专利技术的一个观点，提供一种基板制造方法，其中，所述基板制造方法为通过如下形成薄膜的方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元与基板对置，使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被将要形成于所述基板的表面的多个图案的边缘包围的实地区域，以所述薄膜中使所述喷嘴单元相对于所述基板朝第I方向相对移动的期间形成的部分的边缘未穿过所述实地区域的内部的条件下形成所述薄膜。根据本专利技术的另一观点，提供一种基板制造装置，其具有:载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及控制装置，存储有图像数据，并基于所述图像数据控制所述移动机构及所述喷嘴单元，其中所述图像数据定义所述基板上应形成的薄膜的平面形状，所述图像数据，定义在多个印刷电路板被拼接而成的拼接基板上形成的薄膜的平面形状，在与所述第I方向正交的第2方向上，排列有所述多个喷嘴孔的区域的尺寸比所述多个印刷电路板的任何尺寸更长。根据本专利技术的另一其他观点，提供一种基板制造装置，其具有:载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及控制装置，控制所述喷嘴单元及所述移动机构，并且包括存储图像数据的存储部，其中所述图像数据定义应使薄膜材料着落的多个涂布区域所述多个喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，所述控制装置控制所述移动机构及所述喷嘴单元，以使所述喷嘴单元相对于所述载物台向所述第I方向移动的同时基于所述图像数据从所述喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴来形成薄膜，此时，从在所述第2方向上位于两端的端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹穿过所述多个涂布区域中的一部分涂布区域的内部的情况下，所述控制装置以使所述薄膜材料的液滴不着落于所述轨迹穿过内部的所述涂布区域，而是使所述薄膜材料的液滴着落于所述轨迹未穿过内部的所述涂布区域的方式控制所述喷嘴孔。根据本专利技术的另一其他观点，提供一种基板制造装置，其具有:载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；多个吸引孔，在所述保持面开口，且吸引搭载于所述保持面的基板；喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向保持于所述载物台的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；及移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方，向与所述保持面平行的第I方向移动，所述喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，排列有所述喷嘴孔的区域的所述第2方向上的尺寸，比分布有所述多个吸引孔的区域的所述第2方向上的尺寸更长。专利技术效果由于在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向相对移动的期间形成的薄膜的边缘未穿过实地区域的内部，因此在薄膜的表面不易产生阶梯差。【专利附图】【附图说明】图1是基于实施例1的基板制造装置的示意图。图2A是构成喷嘴单元的喷嘴模块的立体图，图2B是喷嘴头及固化用光源的仰视图。图3是形成有薄膜图案的基板及喷嘴单元的俯视图。图4A是实施例1的第I次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4B是在图4A的单点划线4B-4B的剖视图，图4C是边缘图案的剖视图。图5A是实施例1的第2次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图5B是在图5A的单点划线5B-5B的剖视图。图6是以基于比较例的方法形成的实地区域内的薄膜的剖视图。图7是基于实施例2的基板制造装置的载物台及喷嘴单元的俯视图。图8A是以基于实施例3的方法形成的薄膜图案的俯视图，图SB是表示在基于比较例的基板制造方法的第I次及第2次扫描中形成薄膜的区域的俯视图。图9A是在基于实施例3的基板制造方法的第I次扫描中形成的薄膜的俯视图，图9B是在基于实施例3的基板制造方法的第I次及第2次扫描中形成的薄膜的俯视图。图1OA是实施例4的第I次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图1OB是在图1OA的单点划线10B-10B的剖视图。图1lA是通过基于比较例的基板制造方法的第I次扫描形成的薄膜的剖视图，图1lB是在第2次扫描结束的时刻的薄膜的剖视图。图中:20_平台，21-移动机构，22-载物台，23-喷嘴单元，24-喷嘴头，24a-喷嘴孔，24b-喷嘴列，24e-端部喷嘴孔，25-固化用光源，26-喷嘴支架本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板制造方法，其中，所述基板制造方法为通过如下形成薄膜的方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元与基板对置，使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于所述基板的表面上应形成的多个图案的边缘所包围的实地区域中，以所述薄膜中使所述喷嘴单元相对于所述基板朝第1方向相对移动的期间形成的部分的边缘未配置于所述实地区域的内部的条件下形成所述薄膜。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈本裕司，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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