制造柔性显示装置的方法制造方法及图纸

一种制造柔性显示装置的方法，该方法包括：通过利用卷对卷设备在柔性基板上形成薄膜晶体管（TFT）、第一电极和像素限定膜；将柔性基板与卷对卷设备分离开；将柔性基板附接到支撑基板；在第一电极上形成有机发光二极管（OLED）和封装层；以及将柔性基板与支撑基板分离开。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种，该方法包括：通过利用卷对卷设备在柔性基板上形成薄膜晶体管（TFT）、第一电极和像素限定膜；将柔性基板与卷对卷设备分离开；将柔性基板附接到支撑基板；在第一电极上形成有机发光二极管（OLED）和封装层；以及将柔性基板与支撑基板分离开。【专利说明】相关专利申请的交叉引用本申请要求于2012年11月16日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请N0.10-2012-0130512的优先权和权益，通过引用将该申请的全部内容合并于此。
本专利技术涉及一种。
技术介绍
近来，对液晶显示(IXD)设备和有机发光显示设备(均包括薄膜晶体管(TFT))的使用已经扩展到诸如数字摄像机、视频摄像机、个人数字助理(PDA)以及移动电话之类的移动设备的显示设备市场。移动设备的这种显示设备理想上是便携、薄(例如，应用于具有各种形状的显示设备中)、轻且柔性的。为此，已建议针对显示设备的柔性基板(例如，由薄的玻璃材料形成)执行的制作步骤应在首先将柔性基板附接至支撑基板之后再执行。然而，在很多情况下，支撑基板和柔性基板是接合在一起的，因此在高温下难以彼此分离开。
技术实现思路
根据本专利技术的示例性实施例提供一种，其中支撑基板和柔性基板能够相对容易彼此分离开。根据本专利技术的一个方面，提供一种，该方法包括:通过利用卷对卷设备在柔性基板上形成薄膜晶体管(TFT)、第一电极和像素限定膜；将所述柔性基板与所述卷对卷设备分离开；将所述柔性基板附接到支撑基板；在所述第一电极上形成有机发光二极管(OLED)和封装层；以及将所述柔性基板与所述支撑基板分离开。所述柔性基板可以为玻璃基板。所述玻璃基板可以具有0.05毫米(mm)至0.1mm范围内的厚度。所述方法可以进一步包括:在形成所述TFT、所述第一电极和所述像素限定膜之后以及在将所述柔性基板与所述卷对卷设备分离开之前，清洗所述柔性基板。形成封装层可以包括在所述OLED上形成包括有机层和无机层的多层。可以在高于所述OLED和所述封装层形成于所述第一电极上时所处的温度的温度下形成所述TFT、所述第一电极和所述像素限定膜。根据本专利技术的另一方面，提供一种，该方法包括:利用卷对卷设备在柔性基板上形成TFT、第一电极和像素限定膜；将所述柔性基板与所述卷对卷设备分离开，并将所述柔性基板附接到支撑基板；在所述第一电极上形成包括发射层的中间层与第二电极；以及将所述柔性基板与所述支撑基板分离开。所述柔性基板可以为玻璃基板，并且具有0.05mm至0.1mm范围内的厚度。所述支撑基板可以为玻璃基板,并且具有0.4mm至0.6mm范围内的厚度。所述方法可以进一步包括:在形成所述像素限定膜之后以及在将所述柔性基板附接到所述支撑基板之前:清洗所述柔性基板；并且切割所述柔性基板。所述第一电极可以为阳极，并且所述第二电极可以为阴极。所述方法可以进一步包括在形成:所述第二电极之后以及在将所述柔性基板与所述支撑基板分离开之前:形成封装层；并且在所述封装层上形成起偏振片。可以在高于包括所述发射层的所述中间层和所述第二电极形成于所述第一电极上时所处的温度的温度下形成所述TFT、所述第一电极和所述像素限定膜。根据本专利技术的另一方面，提供一种，该方法包括:利用卷对卷设备在柔性基板上形成薄膜晶体管(TFT)、第一电极和像素限定膜；对所述柔性基板执行清洗工艺，并且将所述柔性基板附接至支撑基板，以使所述柔性基板与所述支撑基板结合；在所述柔性基板上形成有机发光二极管(0LED)，并且在所述OLED上形成封装层；以及将所述柔性基板与所述支撑基板分离开。所述柔性基板和所述支撑基板可以为玻璃基板，并且所述柔性基板可以比所述支撑基板薄。所述柔性基板可以具有0.05mm至0.1mm范围内的厚度，并且所述支撑基板可以具有0.4mm至0.6mm范围内的厚度。可以在高于形成所述有机发光二极管和所述封装层所处的温度的温度下形成所述TFT、所述第一电极和所述像素限定膜。【专利附图】【附图说明】通过参照附图详细描述本专利技术的示例性实施例，本专利技术的上述和其它特征和方面将变得更加明显，在附图中:图1是根据本专利技术实施例的利用卷对卷方法制造柔性显示装置的例子的示意图；图2是示意性图示根据本专利技术实施例的制造柔性显示装置的过程的流程图；以及图3至图13是示意性图示根据本专利技术实施例的制造柔性显示装置的过程的截面图。【具体实施方式】在下文中，将参照其中示出本专利技术示例性实施例的附图更完整地描述本专利技术。然而，本专利技术可以采用多种不同的形式来具体体现，而不应被解释为限于在本文所阐述的示例性实施例，并且这些示例性实施例应覆盖落入本专利技术范围内的所有修改、等同以及替代实施例。在以下描述中，如果确定众所周知的功能或构造会由于不必要的细节而使本专利技术不清楚，则不对它们进行详细描述。应当理解，虽然在本文中可利用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各元件、部件、区域、层和/或部分，但这些元件、部件、区域、层和/或部分不应受到这些术语限制。这些术语仅仅用于将一个元件、部件、区域、层或部分与另一元件、部件、区域、层或部分区别开。因此，在不脱离本专利技术的教义的情况下，下面讨论的第一元件、第一部件、第一区域、第一层或第一部分可以被称为第二元件、第二部件、第二区域、第二层或第二部分。本文中使用的术语仅仅是为了描述具体实施例的目的，而不旨在限制本专利技术。如在本文中使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包含复数形式，除非上下文清楚地指出相反意思。应当进一步理解，当在本说明书中使用时，术语“包括”和“包含”指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组合的存在或增加。在各图中，为清楚起见，层的厚度以及区域可以被放大。相同的附图标记在所有图中表示相同的元件。应当理解，当一元件或层被提及为位于另一元件或另一层“上”时,该元件或层可直接位于另一元件或另一层上或者中间元件或中间层上。相反，当一个元件被提及为“直接”位于另一个元件或另一个层“上”时，则不存在中间元件或中间层。如在本文中所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关联项中的一个或多个的任意组合和所有组合，并且诸如“……中的至少一个”之类的表述当位于一列元件之后时，修饰整列元件，而并非修饰该列中的单个元件。图1是根据本专利技术实施例的利用卷对卷(roll-to-roll)方法制造柔性显示装置的例子的示意图。图2是示意性图示根据本专利技术实施例的制造柔性显示装置的过程的流程图。参照图1和2，柔性基板111在被缠绕在送料辊110上的状态下制备。柔性基板111可以由绝缘材料形成，并且可以包括例如薄玻璃的柔性材料。薄玻璃可以具有0.05毫米(mm)至0.1mm范围内的厚度。柔性基板111可以具有用于形成印刷电路板(PCB)的柔性特性。收绕辊(retrieving roll)210位于与送料棍110所在的一侧相对的一侧，以卷起并收绕柔性基板111。当缠绕在送料辊11 0上的柔性基板111被松开时，对柔性基板111执行制造PCB的工艺，然后通过收绕辊210卷起柔性基板111。可以相邻于送料辊110和收绕辊210分别安装张力维持组件310，以便维持施加于待传送的柔性基板111的张力。利用卷对卷设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造柔性显示装置的方法，该方法包括：通过利用卷对卷设备在柔性基板上形成薄膜晶体管、第一电极和像素限定膜；将所述柔性基板与所述卷对卷设备分离开；将所述柔性基板附接到支撑基板；在所述第一电极上形成有机发光二极管和封装层；以及将所述柔性基板与所述支撑基板分离开。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金基铉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：