一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本实用新型专利技术的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，其特性在于，包括：键合基板(1)，键合基板(1)中心刻蚀凹槽，凹槽底面布置，隧道极板(6)与隧道电极负极(12)相连，隧道凹槽周围分别布置检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)，所述检测电容下极板(8)和控制电容下极板(10)分别与检测电极负极(14)和控制电极负极(16)相连；垫衬框体(2)，垫衬框体(2)设在键合基板(1)上方并与键合基板(1)相连接；支撑框体(3)，支撑框体(3)设在垫衬框体（2）的上方并与垫衬框体(2)相连接，且下方设有隧道电极正极(13)、检测电极正极(15)和控制电极正极(17)；悬臂梁(4)，悬臂梁(4)两端分别与支撑框体(3)和质量块(5)相连接，用于支撑质量块（5）；质量块(5)，质量块(5)?下表面中心设置有隧尖(7)，隧尖（7）与隧道电极正极（13）相连接，隧尖（7）周围分别布置检测电容上极板（9）和控制电容上极板（11），检测电容上极板（9）和控制电容上极板（11）分别与检测电极正极（15）和控制电极正极（17）相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李孟委，王莉，朱京，王琪，白晓晓，王增跃，刘俊，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：实用新型
国别省市：