【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及一种超高真空系统，特别是多体系的、相互独立又互有沟通的超高真空系统。
技术介绍
：一百多年前，科学家就开始利用催化剂，改变化学反应的速率，这被称为催化反应。在大多数情况下，科学家认为催化剂本身和反应物一起参加了化学反应，降低了反应所需要的活化能。有些催化反应是由于形成了很容易分解的“中间产物”，分解时催化剂恢复了原来的化学组成，原反应物就变成了生成物。有些催化反应是由于吸附作用，吸附作用仅能在催化剂表面最活泼的区域(叫做活性中心)进行。 催化剂是化学工艺的基础，是许多化学反应实现工业应用的关键。目前大多数化工产品的生产，均采用了催化反应技术，据统计，约85％化学品是通过催化工艺生产的，新的化工过程有80％以上是依靠催化技术来完成的。催化剂在工业生产的应用条件非常复杂，许多条件共同决定了催化剂的活性，通常高温和高压是实现高催化率的必备条件。目前如何选择使用一种催化剂往往经过反复的验证。同时，研究多相催化机制的根本方法也正成为表面科学的一大领域。 传统、简化的催化剂样品准备和研究工作一般在超高真空(UHV)条件下进行，许多用以获得催化剂在各个方面的性质的探测技术也只有在标准的UHV条件下才能有效利用，例如俄歇电子显微镜、X射线光谱仪可得得到催化剂的化学性质；扫描隧道显微镜、原子力显微、扫描投射电子显微镜等可以探测催化剂的表面结构；蒙特卡罗模拟等方法则用于催化理论研究。以上探测技术通常需要在超高真空(UHV)条件下进行，因为UHV可以提供一个相对清洁和更易调控的测试环境。但是，这种探测和催化剂样品的实验...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全新的超高真空系统，由三个各自独立又通过阀门相互沟通的真空腔室组成，三
个腔室分别命名为：分析室、样品准备室、反应室。
2.根据权利要求1所述的超高真空系统，其特性在于：反应室包含一个密闭的耐高温高
压的内核结构单元，此单元此可承受5个大气压的高压和600K的高温环境，可以满足各类
化学反应或催化剂反应所需的高温高压条件。
3.根据权利要求2所述的反应室，其特性在于：可将先进的SPM观测仪器(如电子扫描
隧道显微镜或原子力显微镜或其他探针式检测仪器)的探针密闭在内核结构单元之内，实时
检测样品在化学反应进行中发生的表面结构变化；同时反应室连接四极质谱仪或其他检测设
备，检测化学反应度。两种检测方式结合，共同分析化学反应度与原子表面结构的关系。
4.根据权利要求1所述的超高真空系统，其特性在于：反应室进行反应的同时，另外两
个腔室可同时进行传统意义上的高品质的样品分析和准备工作。
5.根据权利要求1所...
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