一种低矫顽场的Bi0.92Dy0.08Fe1-xMnxO3铁电薄膜及其制备方法，x=0.01～0.05，该薄膜为菱方结构，均匀性好，其剩余极化强度为58.27～69.87μC/cm2，矫顽场为318～448kV/cm，介电常数为214.4～260.6。制备方法：将硝酸铋、硝酸铁、硝酸镝和乙酸锰溶于乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，得前驱液；在基片上旋涂前驱液，匀胶后烘烤得干膜，再退火，得Bi0.92Dy0.08Fe1-xMnxO3薄膜，重复旋涂前驱液、烘烤、退火至达到所需的薄膜厚度，得该薄膜。本发明专利技术设备要求简单，掺杂量易控，能够大幅度提高BiFeO3薄膜的铁电性能。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谈国强，晏霞，
申请(专利权)人：陕西科技大学，
类型：发明
国别省市：
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