一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层制造技术

一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层，它是由(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成，其中(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层厚度范围为5-8nm，其成分含量分别为Ti：15-20at%，Al:15-20at%，Si:5-10at%，Mo：5-10at%，Ag10-15at%，N：28-36at%，S:5-10at%；其中TiAlN涂层厚度范围为15-20nm，其成分含量分别为Ti：20-30at%，Al:20-30at%，N：48-50at%；本发明专利技术在室温-800oC温度范围内能够始终保持较低的摩擦系数和优良的抗磨损性能，可广泛应用于刃具等机械加工行业，对推动绿色加工行业的发展并节能降耗，具有重要的实际意义。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)2‑Ag/TiAlN纳米多层涂层，其特征在于，它是由(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)2‑Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成，其中(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)2‑Ag复合涂层厚度范围为5‑8nm，其成分含量分别为Ti：15‑20at%，Al:15‑20at%，Si: 5‑10at%，Mo：5‑10at%，Ag 10‑15at%，N：28‑36at%，S: 5‑10at%；其中TiAlN涂层厚度范围为15‑20nm，其成分含量分别为Ti：20‑30at%，Al:20‑30at%，N：48‑50at%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯长杰，朱圣龙，江鸢飞，胡弦，周雅，杜楠，王福会，
申请(专利权)人：南昌航空大学，
类型：发明
国别省市：江西;36