上下位机通讯监控方法技术

本发明专利技术涉及半导体设备监控技术，公开了一上下位机通讯监控方法，步骤包括：S1、上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2、下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3、上位机根据所述反馈信号向下位机发送置位信号，并在第二预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S4、判断是否有任一复位计时时间超过预设阈值，若无则返回执行步骤S2，若有任一复位计时时间超过预设阈值时，则相应上位机或下位机发出报警信号。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及半导体设备监控技术，公开了一，步骤包括：S1、上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2、下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3、上位机根据所述反馈信号向下位机发送置位信号，并在第二预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S4、判断是否有任一复位计时时间超过预设阈值，若无则返回执行步骤S2，若有任一复位计时时间超过预设阈值时，则相应上位机或下位机发出报警信号。【专利说明】
本专利技术涉及半导体生产设备的监测
，特别涉及上下位机通讯监控技术。
技术介绍
立式氧化炉设备在半导体生产行业不可或缺，对其可靠性和稳定性要求较高。因设备原因导致的工艺失败动辄损失数百万上千万，有一些工艺气体的泄漏还可能威胁到生命财产安全。所以设备任何可能不稳定的细节都应当引起重视，其中对于因为上位机和下位机通讯上产生的问题而导致的工艺中断，如果发现及时处理得当，有可能会挽救数百万计的经济损失和生命财产安全。目前部分国产设备采用单纯的上位机向下位机某继电器进行置位的方法，并由下位机以大于置位周期的时间间隔进行复位，如果复位成功，则认为通讯中断。通讯中断发生时，仅针对下位机进行相应的处理，而上位机无法获得通讯中断的信息，从而不会采取任何紧急措施，也没有任何信息反馈给整个半导体生产线的总调度。例如中国专利CN200620022731.7公开了一种传感器通讯状态监测装置，具有单片机、信号输出电路、检测电路、控制电路和显示电路。该装置能够实时监视通讯线路的通讯状态，在现场将通讯电缆的正常、断路、短路等工作状态通过指示灯显示出来，以便现场工作人员能即时了解传感器与监控站之间的通讯状态。通讯中断发生时，该装置仅针对通讯电缆进行相应的处理，而监控站无法获得通讯中断的信息，从而不会采取任何紧急措施。而在文献《一种检测PLC网络通讯正常与否的简单方法》(2012)中所表述的通讯监测方法虽然比较简便，但是只是针对上下位机中一方才能检测出通讯异常，当然对异常进行处理和响应也只是其中一方。因此，在半导体生产设备中，需要一种新的，能够使上下位机在通讯监测中互动，且上下位机对通讯异常都有响应。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一，增加上下位机在通讯监测中的互动，同时上下位机对通讯异常都有响应，能够解决现有通讯监控中仅针对上下位机其中一方进行检测，对异常进行处理和响应也只针对其中一方的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供了一，包括步骤:S1、上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2、下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3、上位机根据所述反馈信号向下位机发送置位信号，并在第二预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S4、判断是否有任一复位计时时间超过预设阈值，若有则相应上位机或下位机发出报警信号，若无则返回执行步骤S2。作为可选择的技术方案，所述预设阈值为上位机发出相邻两次置位信号的时间，或下位机发出相邻两次反馈信号的时间；上位机发出相邻两次置位信号的时间与下位机发出相邻两次反馈信号的时间相同。作为可选择的技术方案，所述第一预设延时大于上位机发出相邻两次置位信号的时间，所述第二预设延时大于下位机发出相邻两次反馈信号的时间。进一步地，所述第一预设延时时间与所述第二预设延时时间相同。作为可选择的技术方案，所述上位机向下位机的某一继电器发送置位信号，所述继电器接收到置位信号后在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时。进一步地，所述继电器复位时间超过所述预设阈值时，下位机发出报警信号。作为可选择的技术方案，所述下位机向上位机的某一通道发送反馈信号，所述通道接收到反馈信号后在第二预设延时后进行复位，同时进行复位计时。进一步地，所述通道复位时间超过所述预设阈值时，上位机发出报警信号。作为可选择的技术方案，所述下位机收到所述置位信号后以向上位机的所述通道写入数据的方式发送反馈信号。本专利技术的优点在于，通过上下位机周期性的置位、复位，为上下位机提供一种“半双工”的通讯监测，简化上下位机的信息交互方法，增加上下位机在通讯监测中的互动，增加监测的可靠性，提高通讯故障报警的可靠性；同时上下位机对通讯异常都有响应，可以在通讯故障发生后区分上下位机进行处理，有利于完善设备系统对通讯异常的处理方法。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术提供的步骤流程图；图2为本专利技术提供的中通讯监控示意图。【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的实施方式作进一步地详细描述。本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。图1为本专利技术提供的步骤流程图。如图1所示，本【具体实施方式】提供的包括步骤:步骤S1:上位机向下位机发送置位信号，启动监控。该步骤中，在半导体生产设备上电开始工作后，上位机首先向下位机发送置位信号，启动监控。作为最佳实施方式，上位机向下位机的某一继电器发送置位信号。之后便以下位机反馈的信号为触发条件进行触发，从而周期性的向下位机继电器发送置位信号。步骤S2:下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时。该步骤中，下位机接收到上位机发送的置位信号后，被置位后，并以相同的方式，向上位机发送反馈信号。作为最佳实施方式，下位机向上位机的某一通道发送反馈信号，即:下位机向上位机的某一通道写入数据，从而将该通道置位。此外，该步骤中，在下位机向上位机发送反馈信号后，经过第一预设延时后将被置位的继电器复位，而该第一预设延时时间大于上位机将下位机继电器置位周期时间，也即大于上位机发出相邻两次置位信号的时间。继电器复位同时开始进行复位计时；上下位机通讯正常的情况下，该复位计时在上位机再一次向下位机发送置位信号、并将相应继电器置位时中断，也即，复位计时时间应小于上位机发出相邻两次置位信号的时间；若上下位机通讯发生异常，例如上位机没有发出置位信号或者下位机继电器无法被置位，则该复位计时一直持续；若复位计时时间超过预设阈值时，则下位机产生报警信号。所述预设阈值可以为上位机发出相邻两次置位信号的时间。步骤S3:上位机根据所述反馈信号向下位机发送置位信号，并在第二预设延时后对接收到反馈信号的通道进行复位同时进行复位计时。该步骤中，上位机的某一通道收到下位机发送的反馈信号，该通道被置位，同时触发再一次置位信号的发送。经过第二预设延时后上位机将被置位的通道复位，通道复位同时开始进行复位计时，而该第二预设延时时间要大于下位机向该通道写入数据的周期时间，也即大于下位机发出相邻两次反馈信号的时间。与下位机的复位计时类似，在上下位机通讯正常情况下，该复位计时应该在下位机再一次向该通道写入数据时中断，也即，复位计时时间应小于下位机发出相邻两次反馈信号的时间；若上下位机通讯发生异常，例如下位机没有发出反馈信号或者该通道通讯中断无法写入数据，则该复位计时一直持续；若复位计时时间超过预设阈值时，则上位机产生报警信号。所述预设阈本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种上下位机通讯监控方法，包括步骤：S1：上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2：下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3：上位机根据所述反馈信号向下位机发送置位信号，并在第二预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S4：判断是否有任一复位计时时间超过预设阈值，若有则相应上位机或下位机发出报警信号，若无则返回执行步骤S2。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周峰，张芳，张海轮，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11