一种角度检测器包括：具有刻度图案的旋转标尺，其中多个图案沿所述旋转标尺的圆周方向布置；以及多个检测头，每个检测头均从所述刻度图案中检测所述多个图案。所述多个检测头在所述旋转标尺的所述圆周方向上相互偏移，并在所述旋转标尺的径向方向上相互偏...

一种工件检查和缺陷检测系统包含光源配置、透镜配置和用于对工件进行成像的相机配置。所述系统获取训练模式工件图像和运行模式工件图像以获取对应组的训练模式工件图像数据和运行模式工件图像数据。每一组图像数据至少包含对应于第一颜色通道和第二颜色通...

本发明公开了测量工具附接罩。一种结合了握持的容易性和性能(例如隔热性)的测量工具附接罩，包括前面层110、后面层120和中间层130。前面层110和后面层120是具有低孔隙率的致密层，中间层130是与前面层110和后面层120相比具有较...

本公开涉及测量系统、测量方法和存储介质。该测量系统(1)包括：多轴机器人(10)；测量单元(20)，其耦接到所述多轴机器人(10)；以及数据处理设备(30)，其中，所述测量单元(20)包括：一个或多于一个摄像装置(23)，其能够相对于所...

本发明提供一种光学装置，具备用于调整光轴方向位置并固定光学部件(30)的光学部件(30)的位置调整固定装置，其中，所述位置调整固定装置具有：光轴方向上长的长孔(34)，其形成在所述光学部件(30)的侧面；固定件(50)，其安装在所述光学...

本发明提供了一种数字全息计量系统，其包括外差光源、干涉光学装置和传感器装置。所述外差光源提供不同的对应频率和波长的组合激光光束(例如，每个组合光束可包括对应波长激光光束和对应频移激光光束，其可以是正交偏振的)。所述干涉光学装置利用所述组...

本发明提供了一种包括外差光源的计量系统。所述外差光源包括第一光源、声光调制器和源光学装置。所述声光调制器从所述第一光源接收至少一个波长激光光束，并生成至少一个对应的频移激光光束(例如，具有正交偏振)。所述源光学装置包括接收光学元件部分和...

本发明涉及一种菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法。本发明涉及干涉度量领域，特别是涉及用于改善干涉图的对比度的菲索干涉仪。菲索干涉仪包括光源、参考面、位于菲索干涉仪的支撑件上的测试面以及摄像系统。菲索干涉仪利用偏振参考面来...

提供了一种编码器，即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置，也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50，将在光接收表...

一种圆度测量仪，具有：旋转台，其载置工件；位移检测器，其检测出测针的位移；立柱，其设置在与旋转台共用的基座上；Z轴滑动件，其由立柱支承且向上下延伸的Z轴方向可移动；X轴滑动件(6)，其由Z轴滑动件支承且向与Z轴方向交叉的X轴方向可移动；...

一种色度范围传感器(CRS)系统被配置成提供包含可用作导向光的测量光点的工件表面的合焦图像。所述系统包含光学笔，所述光学笔具有提供轴向色散的色度色散透镜配置，和被布置成从所述工件表面接收反射光并将其分割成测量部分和成像部分的反射光分割配...

本公开提供用于坐标测量设备的检查量规和异常判断方法。检查量规(20)是具有三角锥形状的用于坐标测量设备的检查量规(20)，并且包括：多个支撑构件(21)，其中，第一端设置在与三角锥的顶点相对应的位置处，并且第二端在三角锥内部的区域中彼此...

本发明提供光学传感器和几何测量设备。[问题]抑制在通过向待测对象辐射线形光来测量待测对象时的测量误差。[解决方案]一种光学传感器(10)，包括：辐射部(20)，其利用线形光来照射待测对象；以及摄像部(40)，其接收由待测对象反射的线形光...

照明装置(1)具有：使用发光二极管的发光元件(13)、检测发光元件(13)的当前温度的温度传感器(15)以及根据当前温度来调整被提供给发光元件(13)的驱动电压的发光控制部(20)。发光控制部(20)具有预先存储了基准温度的基准温度存储...

利用单个光学探测器精确测量各种大小和几何形状的待测量物体。一种光学探测器(10)包括：辐照部(20)，该辐照部利用激光辐照待测量物体；成像部(30)，该成像部接收由待测量物体反射的激光并捕获待测量物体的图像；第一驱动部(40)，该第一驱...

本发明涉及探测器单元的校正方法和记录介质。提供了用于校正探测器单元的线性膨胀以获得准确测量值的探测器单元的校正方法。首先，计算探测器偏离值作为模型。然后，探测器单元的校正方法包括：温度数据获取步骤，用于获取校准时的温度与当前测量环境的温...

本发明提供位置检测系统、位置检测方法和三维几何形状测量系统。位置检测系统(1)包括：多个距离检测设备(11)，其通过检测由预定三维空间中的物体反射的光来生成指示到物体上的多个位置的距离的距离数据；物体识别部(124)，其识别由多个距离检...

一种显微镜单元，包括：成像光学系统的主镜筒；和连接到主镜筒的照明光学系统的照明镜筒，照明光学系统具有：集光透镜，收集从光源已经辐照的光；复眼透镜，允许来自集光透镜的光穿过其透射；第一中继透镜，具有中继来自复眼透镜的光的透镜；场光阑，将来...

一种显微镜单元包括：成像光学系统的主镜筒，主镜筒被配置为能够装配有成像传感器和物镜；和照明光学系统的照明镜筒，照明镜筒连接到主镜筒并被配置为能够装配有光源，照明镜筒具有：第一镜筒，被配置为能够装配有光源；和中间镜筒，连接主镜筒和第一镜筒...

本发明提供一种表面性状测定机和表面性状判定方法。表面性状测定机具备：参数设定部(422)，其设定与工件的表面性状相关的一个以上的参数；测定部(423)，其基于扫描工件或主工件的表面所得到的位移测定数据，来计算与参数对应的测定值；判定值计...