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元曜量子科技无锡有限公司专利技术
元曜量子科技无锡有限公司共有1项专利
一种柔性衬底上大面积金属纳米针尖的制备方法技术
本发明属于纳米金属制备技术领域,具体涉及一种柔性衬底上大面积金属纳米针尖的制备方法。本发明首先在硅衬底表面制备得到带有微米孔洞阵列的铬薄膜,随后使用碱溶液刻蚀得到倒金字塔形硅孔洞,使用电子束热蒸发或者溅射方式在硅表面沉积金属薄膜,再利用...
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